【課題】半導体ウェーハのエッジ部の破壊強度の評価において、測定結果のバラツキを低減して、精度の良い評価を実施できる方法及び装置を提供することを目的とする。
【解決手段】半導体ウェーハのエッジ部の破壊強度を評価する方法であって、前記評価する半導体ウェーハの所定の結晶方位に対応するエッジ部に荷重を付与して、前記半導体ウェーハのエッジ部の破壊強度を評価することを特徴とする半導体ウェーハの評価方法及び半導体ウェーハの評価装置。 （もっと読む）

【課題】 幅の広い面状体である被試験体を無張力で捩じり（捩回）の繰り返し試験ができる面状体の捩回試験装置を提供する。
【解決手段】 面状体をしている被試験体を捩回させる面状体の捩回試験装置であり、固定クランプを揺動クランプ側に移動できるようにしておくとともに、揺動クランプに連結される面板に二つのローラを回転可能に軸支して面板から張力負担紐を二つのローラの間を通して下延させて固定クランプに連結する一方、固定クランプからも張力負担紐を延出させてその端に錘を吊り下げておき、揺動クランプの揺動に基づく両クランプ点間の左右方向の短縮と伸長に対応して被試験体に負荷される引張力と圧縮力とを面板の揺動と錘による張力負担紐の両側への引っ張りで吸収する。 （もっと読む）

【課題】 貫通穴を形成するためにシリコン表面に塗布されたレジスト密着強度を、パターンニング後でかつエッチング処理前に、精度良く測定できるレジスト密着強度評価パターン付きウエハ及びレジスト密着強度試験方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 ウエハ面内にレジスト密着強度を評価するレジスト密着強度評価パターン１０５を予め形成し、レジスト密着強度評価パターン１０５の外周部に、周囲のレジストと切り離すための隔離部１０６を設けて、レジスト密着強度評価パターン１０５を孤立パターンとしている。 （もっと読む）

【課題】 試験片の表面に導体の薄膜パターンを形成するような手間をかけず、破損の瞬間を正確に捉えることができる材料試験装置を提供する。
【解決手段】 試験片２の所定部位に荷重を負荷しながら、負荷した荷重の荷重値Ｗ及び変位量を測定することにより、試験片２の強度試験を行う材料試験装置１であって、試験片２の一端面から試験片２の内部に光Ｌを入射させる光源部２１と、試験片２の他端面から出射してきた光Ｔの強度Ｐを検出する光検出器２２とを備え、光検出器２２で検出された光強度に基づいて、試験片２の破断時を捉えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 従来特許の方法ではシリコンウェーハの破壊強度の評価が極めて困難になり、評価法の改善が求められてきた。
【解決手段】 半導体ウェーハの衝撃強度を評価するための装置であって、少なくとも、打撃物質と、該打撃物質を任意の所望の高さから落下させるための落下手段と、半導体ウェーハである試料を、ウェーハの径方向が前記打撃物質の落下方向と等しくなるように支持する押さえ手段とを具備し、前記押さえ手段により前記試料を、ウェーハの径方向が前記打撃物質の落下方向と等しくなるように支持した状態で、前記落下手段により前記打撃物質を前記所望の高さから前記試料のエッジ部に向けて落下させることができるものであることを特徴とする半導体ウェーハ評価装置。 （もっと読む）

【課題】 セラミックス製のリング部材の強度を簡便に確認することができ、このリング部材の量産時の全数検査にも対応することができるリング部材の強度確認装置および強度確認方法を提供する。
【解決手段】 強度確認装置は、セラミックス製のリング部材Ｗを内周面Ｗａで嵌め込み状態に装着可能な被装着部５、および被装着部５に装着されたリング部材Ｗを支持する支持部６を有し、被装着部５に装着されたリング部材Ｗの内周面Ｗａに対向して開口し同内周面Ｗａに油圧を与える油路１８が形成された油圧力負荷座１を有する。さらに、強度確認装置は、被装着部５に装着されたリング部材Ｗを覆い、油圧力負荷座１に開閉自在に設けられる蓋２と、油圧力負荷座１の油路１８に配管接続されて定められた油圧をリング部材Ｗの内周面Ｗａに供給可能な油圧供給源３とを有する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で被検体に加える荷重を変動可能な荷重変動機構及びこれを用いた砥石結合度試験装置を提供する。
【解決手段】昇降可能な錘支持体１０と、鉛直方向にそれぞれ離間し、それぞれ鉛直下方向への移動が規制されて前記錘支持体に支持される複数の錘２２〜２９と、を備える。錘の下方に配置される被検体１０１に向けて錘支持体１０が降下し、最も下位に位置する錘２２が直接或いは間接的に被検体１０１に接触して最も下位に位置する錘２２の荷重を被検体１０１に加え、更に錘支持体１０が降下し、下方から順に離間していた錘２２〜２９同士が接触して被検体１０１に加えられる荷重が大きくなる。 （もっと読む）

【課題】被試験体に作用する危害の大きさや状況等を高精度に把握することができ、しかも、取り扱いに便利な落下試験装置を提供する。
【解決手段】正面視略門形の基礎フレーム１と、この基礎フレーム１の左右一対の支柱３間に水平に横架される上下方向の位置調整が可能な吊持フレーム１０と、この吊持フレーム１０の略中央部に装着されてレバー２１のＯＮ操作により磁力を発生させるＯＮ／ＯＦＦ機能付き磁石２０と、被試験体である半導体ウェーハＷを収納するウェーハ収納容器３０と、このウェーハ収納容器３０に装着されてＯＮ操作されたＯＮ／ＯＦＦ機能付き磁石２０に吸着される磁性プレート４０とを備える。専用の落下試験装置を使用するので、落下試験の内容や条件の画一化を図ることができる。したがって、半導体ウェーハＷに加わる危害の大きさや状況を高精度に把握、評価して後の開発に寄与することができる。 （もっと読む）

【課題】円板状の発電セルに均一な荷重を付加することにより、中央部分の曲げ強度だけでなく、周縁部の曲げ強度も評価して、曲げ強度の低い発電セルを排除することができる発電セルの曲げ強度験方法および曲げ強度試験装置を提供する。
【解決手段】平板状の発電セル１の曲げ強度を評価する方法であって、円筒面２ａを有する凸状治具２と円筒面３ａを有する凹状治具３との間に発電セル１を配置し、凸状治具２の円筒面２ａと凹状治具３の円筒面３ａとを近接させて湾曲させることにより、発電セル１全体の曲げ強度を評価することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】シート状焼結体の材料曲げ強度を行うに際して、グリーンシートからの切り出し時における欠け等の発生を防止して、当該ロットの材料曲げ強度を高い精度で評価することが可能になるシート状焼結体の材料曲げ強度測定用試験片の製作方法を提供する。
【解決手段】シート状焼結体の材料曲げ強度を測定するに際して、その試験片を製作するための方法であって、上記シート状焼結体の素材となるグリーンシート１に、先端に円形の切断刃２ｂが形成された円筒状の金型２を押し付け、当該金型２をその軸線Ｃ廻りに回転させて円板状のグリーンシート１ａを切り出した後に、得られた円板状のグリーンシート１ａを焼結して上記試験片３を得ることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ウェーハを試験片として切り出すことなく、ウェーハ自体の機械的強度を精度よく測定するために好適な装置および方法の提供。
【解決手段】所定の間隔を置いて平行に配置されたライン状凸曲面部を有する一対の支持部材と、該支持部材間の上方位置に、支持部材と平行に配置されたライン状凸曲面部を有する押圧部材とを具え、前記支持部材および前記押圧部材の少なくともシリコンウェーハと接触する前記凸曲面部の表面における算術平均粗さRaが0.4〜3.0μmの範囲であり、前記支持部材に載置したシリコンウェーハの真上から前記押圧部材をシリコンウェーハ面との平行状態を維持しながら降下させてシリコンウェーハを押圧し、押圧部材を包む方向にシリコンウェーハを曲げ変形させることによりシリコンウェーハの機械的強度を測定することを特徴とする、シリコンウェーハの機械的強度測定装置。 （もっと読む）

【課題】割れやすい測定対象物の小型化及び薄型化を進めた場合であっても、測定対象物の破壊強度を高精度に測定することができる破壊強度測定装置を得る。
【解決手段】測定対象物１３を載置するステージ２を、測定対象物１３に対して荷重を印加する荷重印加装置（昇降装置）３３と、荷重印加装置３３に連結されており、測定対象物１３を押圧する押圧子１４と、測定対象物１３が破壊したときの測定対象物１３の変化を検知するセンサー１２と、センサー１２が測定対象物１３が破壊したときの変化を検知したときの押圧子１４により印加されていた荷重を測定する荷重検出部３２とを有し、センサー１２が測定対象物１３自体の変化を検知するセンサーであり、荷重印加装置３３と押圧子１４との間に弾性体（バネ）２１，２２が挿入されている、破壊強度測定装置１。 （もっと読む）

【課題】ハニカム構造体が保証強度を満たしているかどうかを簡易的かつ適切に検査することができるハニカム構造体の強度検査方法及び強度検査装置を提供すること。
【解決手段】流路方向に垂直な断面が多角形のセル形状を形成するように配置された多数のセル壁に囲まれた多数のセルと、外周側面を覆う筒状のスキン層とを有するハニカム構造体の強度検査方法は、ハニカム構造体のスキン層の外表面に対して、加圧された流体を介して検査圧力を負荷する圧力負荷工程と、ハニカム構造体の状態を確認し、ハニカム構造体が保証圧力Ｐ０に耐え得る保証強度を満たしているか否かを判定する判定工程とを有する。圧力負荷工程では、ハニカム構造体のスキン層の外表面上での軸方向における検査圧力分布Ｘのピークｓが２つ以上となり、かつ、ピークｓ間の谷部ｔ２における検査圧力が保証圧力Ｐ０以上となるように、ハニカム構造体に対して検査圧力を負荷する。 （もっと読む）

【課題】装置として適切な設置が可能であるとともに、方法としても合理的にタイルの接着個所にせん断力を作用させることが可能であって、試験精度の向上およびタイルのせん断接着強度そのものを的確に試験することができるタイルのせん断接着強度試験装置および試験方法を提供する。
【解決手段】試験対象タイルＴａの表面Ｘに固着される加力アタッチメント５と、試験対象タイル以外の、２以上のタイルＴｂにそれぞれ固着される反力受けアタッチメント６，７と、これら反力受けアタッチメント間に設けられ、これら反力受けアタッチメントを一体化するための連結治具８と、いずれかの反力受けアタッチメントと加力アタッチメントとの間に設けられ、試験対象タイルにその表面に沿った力を入力するために、反力受けアタッチメントに反力をとって加力アタッチメントに加力する加力手段９とを備えた。 （もっと読む）

【課題】熱間における耐火物の弾性率測定方法及びこれを利用した耐火物の選定方法において、耐火物の熱間における弾性率の精度を従来よりもさらに向上させ、耐火物を実炉に適用する際に、より適切な耐火物を選定可能とする。
【解決手段】試料としての耐火物を圧縮することにより耐火物の弾性率を測定する耐火物の弾性率測定方法において、８００℃から１４００℃の温度範囲の中から選択された温度で、かつ、試料を圧縮する際の歪速度が１．０×１０^−６から１．０×１０^−２［−／秒］の範囲の中から選択された歪速度で、耐火物の弾性率を測定する。また、このようにして測定された弾性率を用いて、実炉で適用する耐火物として選定する。 （もっと読む）

【課題】試験体の土台として使用される台座部材を下部ロッド上に安定配置し得、より信頼性の高い試験結果が得られると共に、予備試験における台座部材の位置調整を容易且つ確実に行うことができ、試験担当者の負担軽減を図り得る圧縮試験装置を提供する。
【解決手段】下部ロッド２上に載置され且つ試験体５が上面に配置される台座部材４の下面に、前記下部ロッド２の上端部が嵌入され且つ下部ロッド２に対し同芯状に前記台座部材４を載置可能とするための下部ロッド嵌入凹部４Ａａを形成する。 （もっと読む）

【課題】信頼性が高く、安全に運用可能なセラミックス部品の適用方法を提供する。
【解決手段】セラミックス材料からなるセラミックス部品を加工した後、加工による残留応力を熱処理により低下させる熱処理工程（１１１）と、所定温度においてセラミックス部品に一定荷重を負荷する予荷重負荷を与えることにより、高応力部でのクリープ変形を進める予荷重負荷工程（１１２）と、予荷重負荷工程（１１２）の後、セラミックス部品が設計強度を有するか否かを調べる保証試験工程（１１５）とを具備したセラミックス部品の適用方法。 （もっと読む）

【課題】トンネル内壁面等に施工される耐火被覆材層等の劣化度を明確に判定することができると共に、現場において比較的簡単な測定治具を用いて簡易に短時間に劣化度を判定することができる被覆材層の劣化評価方法を提供する。
【解決手段】耐火被覆材層２に表面から所定深さまでドリル等により下孔１０を穿設し、この下孔１０に吊りフック１１の雄ねじ１１ａをねじ込み、引き抜き荷重計１２のフック１３をフック１１ｂに接続して引き抜き、引抜荷重すなわち耐火被覆材層２の引抜強度を計測する。圧縮強度と比べて被覆材層の劣化の度合いに応じて大きな差がある引抜強度と劣化度の関係を予め実験等で求めておき、引き抜き荷重計１２の計測値と劣化度を比較照合し、耐火被覆材層２の劣化度を判定する。トンネル内等の小規模火災による被災においては、火災温度と引抜強度の関係を用い、火災温度を判定する。 （もっと読む）

【課題】三点曲げ法による曲げ弾性率の測定において、測定系の誤差を小さくし精度よく曲げ弾性率の測定を行うことが可能な弾性率測定方法を提供する。
【解決手段】同一の材料で作られた、長さが等しく幅が異なる供試体Ｘ，Ｙのそれぞれに対し、当該供試体の中央部に加える応力の変化量ΔＰに対する該中央部の変位量ΔＷ_１，ΔＷ_２を測定する。これらの測定値と、２つの前記支持体の間隔Ｓ、供試体Ｘ，Ｙの厚さｈ_１，ｈ_２、供試体Ｘ，Ｙの幅ｂ_１，ｂ_２、及び供試体Ｘ，Ｙの幅の比１：Ａとから各供試体の曲げ弾性率Ｅを算出する。 （もっと読む）

【課題】接着強度測定のための別途のサンプル製造工程を経らないで製造工程で作られた実際製品で簡単な工程のみを経て直接的に接着強度を測定するための試験片製造方法を提供する。
【解決手段】耐エッチング性テープを上部層の中央部の直四角形形状を除いた残りの部分に付着して、第１パターニングを実施する段階と、耐エッチング性テープを除いた部分の上部層をエッチングする段階と、第１パターニングのための耐エッチング性テープを剥がして、耐エッチング性テープを下部層の中央部に梯形が見合わせる形状と両方梯形の上端部からそれぞれ下部層の一方角まで棒模様に長くつながる形状とを除いた部分に付着して、第２パターニングを実施する段階と、耐エッチング性テープを除いた部分の下部層をエッチングする段階を含んで、試験片を製造する。 （もっと読む）