【課題】振動測定時における温度補償を行いつつ、小型化することを実現したＦＢＧ振動センサを提供することを目的とする。
【解決手段】ＦＢＧ振動センサ１は、振動体Ｗに固定端２ｂ側が固定される板バネ２を備えている。板バネ２の自由端２ｃ側には錘４が設けられており、振動体Ｗの振動に同期して板バネ２が弾性変形する。また、板バネ２の上部表面２ａ上には、ＦＢＧ５が形成された光ファイバ３が固定されている。光ファイバ３は、ＦＢＧ５を間に挟む一対の接着剤７ａ、７ｂによって板バネ２に固定されており、ＦＢＧ５にはプリテンションＦが作用している。振動体Ｗの振動は、板バネ２の弾性変形に応じてＦＢＧ５に生じるひずみに基づいて測定される。また、板バネ２は、光ファイバ３の熱膨張係数と同一の熱膨張係数を有しており、ＦＢＧ５に作用するプリテンションＦが一定に保たれる。 （もっと読む）

【課題】超音波音圧の絶対値を表わす測定が行え、その超音波音圧測定値を表示することのできる超音波音圧測定装置を提供することにある。
【解決手段】音圧検出プローブと、電圧測定手段と、パソコンと、温度センサーと、制御器と、を備え、パソコンは、超音波振動の周波数情報の所望の範囲における音圧検出プローブの周波数感度のパラメータ表と、プローブの先端の温度の所望の範囲における音圧検出プローブの温度感度のパラメータ表と、および電圧値・パスカル値変換表とを予めメモリに記憶しておき、複数のパラメータ表を用いて、入力された超音波音圧の電圧値に対して、補正と変換の計算処理を行うことにより、音圧測定時の音圧プローブの周波数感度や、温度感度に起因した誤差の生じない絶対値単位の超音波音圧測定値を得て正確に出力し、表示するように構成とした。 （もっと読む）

【課題】 膜厚測定装置において，膜厚の厚みに関わらず膜厚を測定することが可能とする。
【解決手段】 交流電源３からの電力の供給によって励振するピエゾ素子４が支持部２に取り付けられている。ピエゾ素子４には，測定部６を有するカンチレバー５の一端部が固定される。カンチレバー５内には，ピエゾ抵抗素子７とヒータ８が内蔵されている。ピエゾ素子４を励振させ，測定部６表面に形成される膜の膜厚の増大によって変化するカンチレバー５の共振周波数を信号処理装置１１によって観測する。記憶装置１３には，カンチレバー５に形成される膜の膜厚とカンチレバー５の共振周波数との関係のデータが予め記憶されており，このデータと観測した共振周波数とを演算装置１４によって比較照合することで，測定部６の膜厚や膜厚形成レートを測定できる。 （もっと読む）