【課題】本発明は、検査ワーク１２における不良の発生箇所を予め把握する必要がなく、正確に検査ワーク１２の不良を検出することができる検査装置１、及び検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】検査ワーク１２を取り付けた固定部材１０を加振して検査ワーク１２に振動を与える加振ユニット２０と、振動している検査ワーク１２の振動を検出するレーザユニット３０とを備え、検出した振動に基づいて検査ワーク１２の不良を検出して検査する検査装置１であって、レーザユニット３０を、検査ワーク１２の表面上に予め設定した複数の測定点に対して順にレーザ光Ｌａを照射するとともに、検査ワーク１２の表面で反射した反射光Ｌｂを受光して、ドップラ効果によって測定点における振動を検出する構成とし、各測定点の位置を相互に関連付けるとともに、各測定点における振動を時系列で関連付けた測定データを出力する制御ユニット４０を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】移動物体までの距離を長く設定するのに適した構成のドップラー振動計測装置を提供すること。
【解決手段】ドップラー振動計測装置の一態様は、互いに異なる光周波数を有し光周波数の間隔が一定である複数の光を位相同期して出射する光源（１１）と、光源が出射する複数の光である光信号（Ｓ）を、移動物体（２００）を経由する測定用光信号（Ｓｍ）と、移動物体を経由しない参照用光信号（Ｓｒ）とに分岐する分岐手段（１２）と、移動物体を経由した測定用光信号と、移動物体を経由しない参照用光信号とを統合して共通の光電変換面へ導く統合手段（１３、１４、１６）と、光電変換面へ入射した光信号を電気信号へと変換する光電変換手段（１７）と、光電変換面へ入射する測定用光信号と光電変換面へ入射する参照用光信号との間のビート干渉強度を調整するための調整手段（１９）と、光電変換手段が生成する電気信号の時間変化に基づき、移動物体の振動周波数を算出する演算手段（１８）とを備える。 （もっと読む）

【課題】探知対象物の位置を正確に把握することができる探知方法およびその探知方法を行うことができる非接触音響探知システムの提供。
【解決手段】探知対象物を内部に含む被照射体の表面に音波を照射し、その表面の複数の測定個所において振動速度を測定し、得られた振動速度分布図から前記探知対象物の位置を特定する音波を用いた探知方法。 （もっと読む）

【課題】 簡便に、かつ、高精度に水中送波器の性能計測が行えるようにする。
【解決手段】 所定の検査信号を発生する発振器１１と、検査信号を増幅して水中送波器５を駆動する電力増幅器１２と、水面から所定の高さの位置の大気中に設置されて、水中送波器５が駆動されて当該水中送波器５から水中に放射された音波を放射する際の音響放射面の振動振幅を計測する振動計測装置１３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 レーザードップラ速度計とレーザー距離計の２種類のセンサが一体となった機器構成で、構造物の振動と寸法を測定して健全性の検査を実施することができる、構造物の振動及び寸法の非接触計測による測定方法及びその測定装置を提供する。
【解決手段】 構造物の振動及び寸法の非接触計測による測定方法において、測定対象構造物Ａの振動を計測するレーザードップラ速度計１Ａに前記測定対象構造物Ａの寸法を計測するレーザー距離計８を一体化させて、前記測定対象構造物Ａの振動特性とともに前記測定対象構造物Ａの寸法を計測する。 （もっと読む）

【課題】振動させたＭＥＭＳの多数の箇所に同時にレーザ光を照射して、ＭＥＭＳの多数の測定点における所定時点の振動状態を同様に測定できると共に、ＭＥＭＳに対する起振部側の影響を排除して、ＭＥＭＳ各部の振動状態を正確に把握できるＭＥＭＳ測定方法を提供する。
【解決手段】それぞれ周波数の異なる多数のレーザ光を、振動しているＭＥＭＳ８０の可動部８１と固定部８２に対し同時に照射し、ＭＥＭＳ８０の各照射位置からの反射光を干渉光として光検出部で検出し、検出信号より取出せる情報から、ＭＥＭＳ８０の各照射位置での振動状態を求め、さらに可動部８１における振動状態の固定部振動状態に対する差分を求めることから、起振部の不要な振動成分が合成された結果から可動部８１の振動成分のみを取出して、正しい可動部８１の振動特性を取得でき、ＭＥＭＳ８０の構造に基づいてあらわれる振動の特徴を確実に把握できる。 （もっと読む）

【課題】 測定対象の振動情報と高さ情報を複数点同時に計測する。
【解決手段】
光源部１１０から出射された互いに位相同期され干渉性のある参照光L_Rと測定光L_Ｍを干渉光学系１４０において分割して参照光学系１２０と測定光学系１３０に入射し、測定光L_Ｍを光分合波器１３１によりチャンネル毎に２つ以上の周波数成分を含む複数チャンネルの測定光Ｌ_ＣＨ１〜Ｌ_ＣＨｎに分離して測定面１０の複数の測定点に照射し、測定面１０で反射されて戻ってきた複数チャンネルの測定光Ｌ_ＣＨ１〜’Ｌ_ＣＨｎ’を測定L_Ｍ’として測定光学系１３０から干渉光学系１４０に戻し、参照光学系１２０と測定光学系１３０から戻ってくる参照光L_R’と測定光L_Ｍ’の干渉光L_Ｘに含まれる光スペクトルを検出部１５０で検出して信号処理部１６０において各スペクトル成分を解析し、測定面１０の複数の測定点における振動情報と高さ情報を得る。 （もっと読む）

【課題】 表面弾性波型振動センサの感度を、共振周波数以外の周波数領域で向上させ、かつ無線通信可能な距離を伸ばすこと。
【解決手段】 ＳＡＷ電極３を備え、片持ち梁構造となる圧電材料躯体１の形状を、検知すべき所望の周波数に応じつつ、くさび型形状とすることにより、躯体の支持部２から先端部に行くに従って躯体の厚みが変化するために、片持ち梁構造の支点と重心の距離が、直方体形状の圧電材料を用いた場合に比較して変わることによる重り効果で、外部振動が加わった際のＳＡＷ電極３の振動の強度が増大し、センサの感度を向上させ、かつ無線通信可能な距離を伸ばすことができる。 （もっと読む）

【課題】光ファイバ振動計を利用して、耐ノイズ性の良い高電圧電気機器の絶縁異常診断方法および装置を提供すること。
【解決手段】光ファイバに対して計測対象である電気機器から機械的振動が与えられることにより前記光ファイバ内での光伝送が変化することを利用して前記振動を計測する光ファイバ振動計１のセンサ部１ａを診断すべき電気機器の内部に設置し、前記電気機器の内部の絶縁低下等の異常で発生する部分放電を、前記光ファイバ振動計により振動信号として検出し、前記振動信号を蓄積してなるデータベースを用意し、前記電気機器から検出した振動信号を前記データベースと比較することにより前記電気機器における部分放電を診断する高電圧電気機器の絶縁異常診断方法、および装置。 （もっと読む）

【課題】物体の振動振幅を簡単に精度良く求める。
【解決手段】振動振幅計測装置は、物体１０にレーザ光を放射する半導体レーザ１と、半導体レーザ１の光出力を電気信号に変換するフォトダイオード２と、半導体レーザ１を駆動するレーザドライバ４と、フォトダイオード２の出力電流を電圧に変換して増幅する電流−電圧変換増幅部５と、電流−電圧変換増幅部５の出力電圧から搬送波を除去するフィルタ部６と、フィルタ部６の出力電圧に含まれる自己結合信号であるモードホップパルスの数を数える信号抽出部７と、信号抽出部７の計数結果に基づいて物体１０の振動振幅を求める振幅計測部８とを有する。 （もっと読む）

【課題】流路において露出したナノ構造体を有するセンサ素子であり、簡易に形成でき、信頼性が高く、検出が高性能で行えるセンサ素子を提供する。
【解決手段】センサ素子１は、溝部５が設けられた面を有する基板２と、溝部５内で当該溝部５の両側壁に懸架して設けられ、かつ、基板５と一体に構成されたシリコンナノワイヤ３と、を有し、シリコンナノワイヤ３は、溝部５の底面から離間している。 （もっと読む）

【課題】センサに生じる振動を振動検出器で正確に測定できるセンサの振動測定方法を提供する。
【解決手段】この振動測定方法では、ガスセンサ１の重量に対して重量比±１％以下の振動検出器１００をガスセンサ１に貼り付ける。これによりガスセンサ１が振動する際に、振動検出器１００の重さによる加速度Ｇのずれや、共振周波数のずれを最小限に抑えることができるので、ガスセンサ１の振動を正確に測定できる。また重量比±１．０％未満の小型の振動検出器を用いるため、自動車の排気管のような狭い空間内でも余裕をもって取り付けられる。更に振動検出器１００は、外筒３０の外周面におけるグロメット７５に相当する位置に貼り付ける。これにより、排気管の剛性の影響まで含んだガスセンサ１の振動状態を最も精度良く測ることができる。 （もっと読む）

【課題】エンジンへの検出器の取付け作業を省略したうえで、エンジンの振動解析を実施可能として、汎用小型エンジンのような量産エンジンの振動解析に適合したエンジンの振動解析装置を提供する。
【解決手段】エンジンの振動を検知、解析するエンジンの振動解析装置において、エンジンを着脱自在に載置するエンジンベッドと該エンジンベッドの下部を支持する複数の防振ゴムと該防振ゴムが固定される架台とをそなえ、エンジンベッドの振動加速度を検出する振動検出器と振動解析装置とを設けるとともに、振動検出器をふくむ振動検出手段は前記エンジンとは非接触で設置され、振動解析装置は、振動検出器による振動加速度の検出値が入力され、該振動加速度が予め設定された許容振動加速度と比較して該振動加速度が許容振動加速度よりも大きいときエンジンの異常振動を判定するように構成される。 （もっと読む）

【課題】超音波領域まで音圧計測が可能で高感度な光超音波マイクロフォンを提供する。
【解決手段】本発明の光超音波マイクロフォンは、開口部４から音波を取り込み伝搬させる音響導波路６と、音響導波路６の壁面の少なくとも一部を形成する光音響伝搬媒質２と、ＬＤＶヘッド８により構成され、音響導波路６を進行する音波を光音響伝搬媒質２に取り込み、光音響伝搬媒質２内に音波の進行による屈折率変化を高効率で発生させ、ＬＤＶヘッド８により光変調として取り出すことにより、極めて広帯域な光超音波マイクロフォンを構成する。 （もっと読む）

【課題】より容易、迅速かつ効率的な物体の非接触式振動測定を可能にする方法および装置を提供することである。同時に、物体の振動測定の精度の向上も意図される。
【解決手段】ホルダ５に取り付けられた少なくとも１台のレーザ干渉計６ａ，６ｂ，６ｃを物体８上の前記測定点９を測定するための測定位置Ｍ１に移動させ、物体上の測定点に向かって前記レーザ干渉計から測定ビーム７ａ，７ｂ，７ｃ及び物体から散乱反射された前記測定ビームから振動データを算定し、この振動データを評価して、測定点の評価された振動データとして出力する。物体上の少なくとも１つの任意に前設定された既知の測定点を用いたレーザ干渉計の位置の較正が少なくとも１度行われ、任意の測定位置Ｍ１，Ｍ２における物体に対するレーザ干渉計の相対位置を算定するための変換関係が前記較正に基づいて作成される。 （もっと読む）

【課題】非接触計測条件が悪い箇所においても、的確にレーザーが反射する面を設定することができる構造物の振動特性の非接触計測システムを提供する。
【解決手段】構造物の振動特性の非接触計測システムにおいて、レーザー光を利用した構造物の振動特性の非接触計測装置１に、ペイント弾を着弾させ再帰性反射塗料を付着させることによる非接触計測対象面の形成装置６を具備する。 （もっと読む）

【課題】流体音と振動音とに分離することにより振動・騒音対策の効果的かつ迅速な実施や、静音化製品の開発期間の短縮を可能とすること。
【解決手段】音源分離装置１００は、流体の圧力変動に起因して発生する流体音と固体の振動に起因して発生する振動音が混在した音圧を検出する音圧検出手段と、固体の振動を検出する振動検出手段２と、音圧検出手段で得られた音圧と振動検出手段２で得られた振動とを用いて、前記音圧検出手段で検出された音圧を流体音成分と振動音成分とに分離して出力する音源分離手段３とを備える。 （もっと読む）

【課題】雑音を抑制した干渉型光ファイバセンサシステムを提供。
【解決手段】物理量を検知するセンシングファイバ14aおよびリファレンスファイバ14bを有する干渉計と、干渉計からの干渉光から物理量に対応する測定信号を検出するPGC復調器59とを含む干渉型光ファイバセンサシステムにおいて、干渉光に含まれる雑音信号を低減するための雑音低減信号46aを干渉計に印加する雑音シフト信号発生器46を含み、PGC復調器59は、雑音低減信号46aにより雑音が低減された測定信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物までの距離の相違による集光角度の変化を抑制する。
【解決手段】干渉光学系２から出射されたレーザ光は、集光光学系３で、測定対象物１００の測定対象面上に集光される。そして、測定対象物１００の表面で反射した反射光は集光光学系３を通って干渉光学系２に戻され、干渉光学系２において反射光と参照光との干渉が観測される。ここで、測定に先立って、移動制御部９は、距離センサ８を用いて、測定対象物１００の測定対象面までの距離を測定すると共に、距離センサ８で測定される距離より求まる集光光学系３と測定対象物１００の測定対象面との間の距離が、集光光学系３の固定の焦点距離に一致するように、移動ステージ７を用いて集光光学系３を光軸方向に移動する。 （もっと読む）

【課題】熱膨張による測定誤差の発生を効果的に抑制する。
【解決手段】位置関係が変動すると測定精度に対して比較的大きな悪影響を与えることになる光学部品を、インバーやスーパーインバーなどの低熱膨張合金を用いて製作した定盤１００に搭載し、光学部品を搭載した定盤１００を、他の各部を収容、搭載した基体２００に組み付ける。ここで、定盤１００は、基体２００の上面に設けられた窪み２０１に収めた形態で、-ｙ方向の端部の二カ所を二つの定盤固定ネジ１０１で基体２００にネジ止めし、ｙ方向の端部を、二つの押さえ板固定ネジ１０３で基体２００に取り付けた基体押さえ板１０２で、当該押さえ板１０２と基体２００の間に上下から挟み込むことにより基体２００に組み付ける。窪み２０１は、定盤１００の大きさよりも少し大きく形成し、定盤１００の端部側面が基体２００と接しないようにする。 （もっと読む）