Fターム[2G064BC11]の内容
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音波センサ、音波センサアレイ及び超音波撮像装置
【課題】 光検出方式を用いた音波センサであって、従来にない全く新規な検出原理の音波センサを提供する。
【解決手段】 音波センサ10は、音波によって変位するメンブレン11と、光を伝播させるための第1の導波路16aと、第1の導波路16aを伝播した光が結合しうる光共振器15と、光結合部15から結合した光が伝播する第2の導波路16bとにより構成される。メンブレン11が音波を受信することにより変位すると、第1の導波路16aと光共振器15との光結合係数、あるいは第2の導波路16bと光共振器15との光結合係数の少なくとも一方が変化し、それに応じた光信号を出力する。
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