【課題】振動電極板が対向電極板に固着して振動電極板の振動が妨げられる現象を効果的に軽減することのできる音響センサを提供する。
【解決手段】音圧に感応する振動電極板２４が対向電極板２５に対向し、静電容量型の音響センサを構成する。対向電極板２５には、振動を通過させるための音響孔３１が開口し、また振動電極板２４と対向する面には複数の突起３６が突設している。振動電極板２４の柔軟性が高くて対向電極板２５に局所スティックしやすい領域では、突起３６どうしの間隔を小さくしている。また、振動電極板２４の柔軟性が低くて対向電極板２５に局所スティックしにくい領域では、突起３６どうしの間隔を大きくしている。 （もっと読む）

【課題】 入力効率を向上させて、感度を上げることができる振動波検出装置を提供する。
【解決手段】 音波に応じて振動する板状のダイヤフラム２に結合され、それぞれが異なる特定の周波数に共振する複数の共振ビーム５を有するセンサ本体１を周辺支持部１１で支持し、センサ本体１上にダイヤフラム２の一方面と他方面とを音響的に分離するためのキャップ２を備え、ダイヤフラム２の一方面に加わる音圧と他方面に加わる音圧との差圧を大きくして感度を向上させる。 （もっと読む）