【課題】太陽電池モジュールを測定するソーラシミュレータの被照射面内の照度分布を、高速かつ実際の照射状態に則して測定することのできる照度分布測定装置及び照度分布測定方法を提供する。
【解決手段】疑似太陽光を出射するソーラシミュレータ１と、ソーラシミュレータ１の下位に配置された、下記センサのフルスケールに合わせて調整された透過率を有し、かつ面方向の拡散が少ない遮光機能を有する透過型造影板３と、透過型造影板３の下面に位置し照度分布測定対象となる被照射面２と、透過型造影板３を透過した透過光像を被照射面２において照度分布として測定する１次元イメージセンサ４または２次元イメージセンサからなるセンサとを備えたことを特徴とする照度分布測定装置である。 （もっと読む）

【課題】
微小な欠陥を検出すること、検出した欠陥の寸法を高精度に計測することなどが求められる。
【解決手段】
光源から出射した光を、調整する照明光調整工程と、前記照明光調整工程により得られる光束を所望の照明強度分布に形成する照明強度分布制御工程と、前記照明強度分布の長手方向に対して実質的に垂直な方向に試料を変位させる試料走査工程と、照明光が照射される領域内の複数の小領域各々から出射される散乱光の光子数を計数して対応する複数の散乱光検出信号を出力する散乱光検出工程と、複数の散乱光検出信号を処理して欠陥の存在を判定する欠陥判定工程と、欠陥と判定される箇所各々について欠陥の寸法を判定する欠陥寸法判定工程と、前記欠陥と判定される箇所各々について、前記試料表面上における位置および前記欠陥の寸法を表示する表示工程と、を有することを特徴とする欠陥検査方法。 （もっと読む）

【課題】基板に取り付けられた状態の光源の全光量を明るい環境下でも測定できる全光量測定システムの提供。
【解決手段】光を正反射する反射面部１１３を内面に有し、直接光と反射光とが通過する第一開口１１１と、光源３００を配置するための第一挿入孔１１２とを有する第一筐体１０１と、第二開口１２１と、第二挿入孔１２２と、光を吸収する吸収面部１２３を内面に有する第二筐体１０２と、第一光量と、第二光量とを検出する検出手段１０３と、全光量を算出する演算手段１０４と、迷光の第一空間１１０への進入を阻止する柔軟性のある第一遮光部材１４１と、迷光の第二空間１２０への進入を阻止する柔軟性のある第二遮光部材１４２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 簡素且つ省スペースな装置構成でありながら、十分な角度分解能が得られる、光源の配光特性測定装置を提供する。
【解決手段】 光源１１の配光特性測定装置１であって、所望の角度分解能に応じて、可変アパチャー１５の開口径を変化させるか、又は移動機構１９により光源１１及び積分球１３の少なくとも一方を移動させるかする毎に、光強度検出器２１により積分球１３の射出側開口１３ｂからの射出光の強度を検出させる動作を、扇形回転アパチャー１７を中心角ずつ回転させる毎に繰り返し、得られた検出結果を用いて、光源１１の３次元配光特性を求める。 （もっと読む）

【課題】デザインの自由度の向上や大きさ寸法の低減を可能としつつ高い精度で所望の斜入射光特性を得ることのできる測光機器の受光装置を提供する。
【解決手段】受光箇所への光軸方向に対する入射光の入射角度の変化に対する感度の変化度合いを示す斜入射光特性を所定のものとすべく設計される測光機器の受光装置１０である。完全拡散面に近い拡散性能を有する拡散板１２と、その拡散板１２により拡散された入射光を受光し、その受光量に応じた電気信号を出力する受光部材（１７）と、その受光部材と拡散板１２との間に配置され、受光部材の入射面（１７ａ）における入射光の入射角度を制限する入射角度制限部材（１４）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】投光面での光量の減少を抑え、光の強度を高め、また、投光面に対する傷、埃等が付くことにより光量が減少した場合に容易にこの投光面を交換する。
【解決手段】光を投光する投光部と、光を受光する受光部と、投光部または、投光部及び受光部を収納する筐体５と、投光部により投光された光を集光して検出領域に投光するレンズ７を有し、筐体に取り付けられるアタッチメント６とを備える。 （もっと読む）

【課題】レーザビームによる処置を高い精度で処理するために、検査位置と加工位置とを往復搬送可能な処理システム。
【解決手段】共通ベース５３、検査または処理のための対象物を保持するように構成された対象物台１０１、対象物台に設けられ、少なくとも一つの開口を有する少なくとも一つの開口板、共通ベースに設けられ走査領域１３上をレーザビーム１７で走査するように構成されたレーザ機１５、共通ベースに対して対象物台を第１の位置から第２の位置に移動させ対象物台が第１の位置にあるときに対象物台と少なくとも一つの開口をレーザ機の走査領域内に配置させる変位器１０３、対象物台に設けられ少なくとも一つの開口によって与えられる受入口と取出口とを有する少なくとも一つのライトガイド、および共通ベースに対して帝位位置に設けられライドガイドの取出口から出射する光を検出するように構成された少なくとも一つの光検出器を備える。 （もっと読む）

少なくとも１つの波長選択光検出器１０、レンズ２０及び開口３０を有する光センサ１が、提案される。この波長選択光検出器は、前記光センサに当たる予め規定されている波長の範囲内の光の検出を可能にする。このレンズは、光をこの光検出器に投射し、前記開口は、前記光センサの視野を規定する。光検出器１０、レンズ２０及び開口３０は、テレセントリック配置において配される。有利には、このことは、前記開口に入射する光の方向にかかわらず、光が、予め規定されている角度の範囲内で前記波長選択光検出器に当たるのを可能にし、従って、前記波長選択光検出器の角度依存の応答を取り除く。
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【課題】光の光量の損失を増大させることなく、光学系から射出される光の光量を計測できる光量計測装置、照明光学系、投影光学系、露光装置及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】光量計測装置４０は、露光光ＥＬの光路に配置されたレンズ２９，３４で発生した散乱光をモニタするためのモニタ部４１，４２と、レンズ２９，３４の側面から出力した散乱光をモニタ部４１，４２に導くための光ファイバ４３，４４とを備えている。これらモニタ部４１，４２からは、それらの光電素子４１ａ，４２ａで受光された散乱光の光量に相当する電気信号が制御装置１８にそれぞれ出力される。制御装置１８は、各モニタ部４１，４２から入力した電気信号に応じて、照明光学系１３及び投影光学系１６から射出された露光光ＥＬの光量の変動量をそれぞれ算出する。 （もっと読む）

【課題】極めて危険度の高い薄暮時等で逆光線を受けた場合に車両ライトを点灯させるオートライトシステムに用いられる日照センサを提供する。
【解決手段】日照センサ２１は、光の照度を検知するセンサ本体２１ａと、センサ本体２１ａに対してその受光部正面を含む所定入射角範囲からの光のみを入射させる入射光規制部２１ｂと、を備える。入射光規制部２１ｂは、入射光規制部２１ｂで反射した光のセンサ本体２１ａへの入射を阻止する反射光入射阻止手段が設けられている。 （もっと読む）

【課題】簡素な構造でありながら、より高い自由度をもって、しかもより高い精度での感度調整を可能とする光センサを提供する
【解決手段】不透明な円盤状の板材から形成された遮光板４０を自由回転可能に軸支する。そしてこの遮光板４０に、その回転軸４１を中心とした回転方向についての１８０度を超える領域にわたってその幅が連続的に変化する態様で、同遮光板４０を貫通する透光用のスリット４２を設ける。また、遮光板４０の回転軸４１を外装フィルタ５０の回転の中心に対して偏倚して設け、遮光板４０の回転半径よりも外装フィルタ５０の回転半径を大きく設定するとともに、遮光板４０の外周面には外歯ギア４３を、外装フィルタ５０の内周面には内歯ギア５３をそれぞれ形成している。それら外歯ギア４３と内歯ギア５３との噛合に基づき遮光板４０を外装フィルタ５０の回転に追従させて回転させることで受光素子２０に入射される光量を調整する。 （もっと読む）

【課題】自発光パネルの輝度検査の容易化および簡略化を図ること。
【解決手段】自発光素子が設けられた自発光パネル１０１と、所定輝度以上の輝度を有する光を透過させる光透過率調整フィルタ１０２と、を保持部１０３によって対向させた状態で保持し、光透過率調整フィルタ１０２を介して、自発光パネル１０１の輝度を測定するようにした。これによって、輝度検査に際しては、光透過率調整フィルタ１０２を透過する光の有無を判別することで、当該自発光パネル１０１が、光透過率調整フィルタ１０２によって規定される所定輝度以上の輝度を有しているか否かを検査することができる。 （もっと読む）

【課題】 弱い照明光であっても照度を正確にモニタすることができる光源装置を提供する。
【解決手段】 光の透過強度を調節し得るＮＤフィルタ４と、このＮＤフィルタ４と撮像素子との光路に挿脱可能に配置され、ＮＤフィルタ４を透過した光を遮断するシャッタ１と、ＮＤフィルタ４を透過した光を検出する照度センサ３と、この照度センサ３の出力に基づいてＮＤフィルタ４を動かしてＮＤフィルタ４を透過する光の透過強度を制御する照度制御装置８とを備えている光源装置において、照度センサ３へ光を導く全反射プリズム９をシャッタ１に設けた。 （もっと読む）

【課題】正面方向の放射光が凹部に反射して起こる受光素子の信号レベルの増加を無くすることができ、以って、視野角の半値角において、感知器の視野角特性が受光素子の本来の視野角特性よりも狭くならない炎感知器を得ること。
【解決手段】椀状部の内側に凹部を有し、該凹部に開口部が形成された本体と、該本体内に設けられ、該開口部を介して火災による炎から発生する赤外線を検出する素子を備えてなる炎感知器において、前記凹部を、中央に形成された前記開口部の周囲に形成された底壁と、該底壁と前記椀状部を連結する側壁により構成し、該底壁と側壁のなす角度を９０°以下とし、かつ、該底壁の長さを側壁の長さ以上としたことを特徴とする。 （もっと読む）