【課題】信号対雑音比が改善され構造が単純な光センサーを提供する。
【解決手段】光熱変換体と焦電体とが熱結合される。光熱変換体には周期構造が形成される。周期構造においては、単位構造が周期的に配列される。単位構造の一部のみが負の誘電率を持つ物質で占められる。焦電体の電気的性質は、熱より変化する。 （もっと読む）

【課題】検出部からシリコン基板に放射による熱伝導を抑制する赤外線検出素子を提供する。
【解決手段】第１基板２と、表面３４ａ及び表面３４ａの反対側に第１基板２を向く裏面３４ｂを有し、一端が第１基板２に固定される梁３５によって保持された支持部３４と、支持部３４の表面３４ａに位置し赤外線を検出する検出部４と、を有し、裏面３４ｂにはＰｔ、Ａｌ、ＡｌＯｘ、Ｎｉ、Ｗ、Ｍｏ、Ｆｅのいずれか１つを含む光放射低減膜２２を備える。 （もっと読む）

【課題】 測定対象物の温度をより高精度に測定可能な赤外線センサ装置を提供すること。
【解決手段】 測定対象物Ｓから放射された赤外線を検出する第１の感熱素子と測定対象物Ｓから放射された赤外線が遮光されてこの赤外線を検出しない第２の感熱素子とを有する赤外線センサ本体１０と、第１の感熱素子および第２の感熱素子からの電気信号を入力可能であると共に赤外線センサ本体１０の温度を制御可能なセンサ温度制御部１１とを備え、センサ温度制御部１１が、少なくとも第１の感熱素子からの電気信号に基づいて測定対象物Ｓの温度を求めると共に、第２の感熱素子からの電気信号に基づいて赤外線センサ本体１０の温度を制御する。 （もっと読む）

【課題】各々の光出射部の光量が異なり、かつ微弱な光量を安定して得ることができる複数の光出射部を備えた光量安定化光源装置を提供すること。
【解決手段】ＬＥＤ２６Ｇから出射された光束をピンホール２８で絞り、光源部１６で積分し、更に出射ポート３２、及び拡散透過部材４４を介して分岐光出射部１８内で更に積分する。ＬＥＤ２６Ｇの光量は受光センサ３０でモニタされているので、安定した光量が得られる。分岐光出射部１８に形成した複数の発光窓４６Ｂ〜発光窓４６Ｅの内側に透過率の異なる第１の光量減衰フィルター４８〜第４の光量減衰フィルター５４が貼り付けられており、発光窓４６Ａから出射される光の光量に対して、各発光窓４６Ｂから出射される光の光量が略１／１０づつ異なるように設定されている。これにより、各々発光窓において、各々の光量が異なり、かつ微弱な光量を安定して得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 赤外線撮像装置の適用しうる様々な画像補正方式、検知器の諸元に対応可能な共通の補正手段を赤外線撮像装置に備える。
【解決手段】 赤外線撮像装置の製品検査時に、赤外線撮像装置の適用する画像補正方式及び検知器の諸元に従い、画素毎の信号処理回路に入力する検知器からの撮像画像輝度値、及び信号処理回路から出力する撮像輝度値の組合せをルックアップテーブル値として求めてルックアップテーブルに格納する。赤外線撮像装置の運用時に、輝度変換部において、ルックアップテーブルに格納されたルックアップテーブル値を参照することで、赤外線撮像装置の適用する画像補正方式及び検知器の諸元に見合った輝度変換を行う。 （もっと読む）

【課題】焦電素子の数を増やさなくても、移動体の移動状況を検知できるようにする。
【解決手段】焦電型赤外線センサ装置は、焦電素子１の前方に、複眼の眼毎に赤外線の透過量が異なる複眼レンズ２を設け、この複眼レンズ２を透過した赤外線の強度により複眼レンズ２のうちどの眼を透過したかを判別すると共に、時系列の判別結果に応じて移動体の移動状況を検出する。複眼レンズ２の左側領域内の各眼Ｒ１〜Ｒ６には、透過減衰シート５が貼り付けられている。この場合、複眼レンズ２の右側領域内における各眼Ｒ７〜Ｒ１２の赤外線透過率を略１００％とすると、左側領域内における各眼Ｒ１〜Ｒ６の赤外線透過率は略８０％となっている。 （もっと読む）

【課題】高い製造歩留りで作成できる高感度ボロメータ型ＴＨｚ波検出器の提供。
【解決手段】基板に形成された読出回路に接続される電気配線を含む支持部により、前記電気配線に接続されるボロメータ薄膜を含む温度検出部が、前記基板から浮いた状態で支持される熱分離構造を有するボロメータ型ＴＨｚ波検出器であって、前記基板上の前記温度検出部に対向する位置にＴＨｚ波を反射する反射膜が形成され、前記温度検出部の表面、裏面あるいは内部に前記ＴＨｚ波を吸収する吸収膜が形成され、前記反射膜と前記吸収膜とで光学的共振構造が形成され、前記反射膜上にＴＨｚ波に対して透明な誘電体が形成され、前記誘電体の上面と前記温度検出部の下面との間隔（エアギャップ）が８μｍ未満となるように、前記誘電体の膜厚が設定されている。 （もっと読む）

【課題】 小型・広視野角・高出力の焦電型赤外線センサを提供する。
【解決手段】 シールドケース８に装着された赤外線透過フィルター７と表面電極２ａ、２ｂが対向する領域の少なくとも一部分に、赤外線が反射する反射膜９を少なくとも１箇所以上設け、赤外線透過フィルター７と表面電極２ａ、２ｂを極近で配置する。 （もっと読む）

【課題】 熱型光検出器の検出感度を向上させること。
【解決手段】 熱型光検出器は、基板１０と、基板に対して空洞部１０２を介して支持される支持部材２１５と、記支持部材上に形成されている熱検出素子２２０と、熱検出素子２２０および支持部材２１５上において、熱検出素子２２０に接して形成されている第１光吸収層２７０と、第１光吸収層上において第１光吸収層に接して形成され、かつ、第１光吸収層よりも高い屈折率を有する第２光吸収層２７２と、支持部材２１５の表面と第２光吸収層２７２の上面との間で第１波長が共振し、第１光吸収層２７０と第２光吸収層２７２とが接する界面ＲＬと第２光吸収層２７２の上面との間で前記第１波長とは異なる第２波長が共振する。 （もっと読む）

【課題】 熱型光検出器の検出感度を向上させること。
【解決手段】 熱型光検出器は、基板１０と、基板に対して空洞部１０２を介して支持される支持部材２１５と、支持部材に支持される熱検出素子２３０と、熱検出素子と接続部ＣＮによって接続され、平面視で接続部よりも広い面積を有し、かつ熱検出素子２３０上に形成されている集熱部ＦＬを備える熱伝達部材２６０と、熱伝達部材２６０と熱検出素子２３０との間において、熱伝達部材２６０に接して形成されている、第１光吸収層２７０と、熱伝達部材２６０上において、熱伝達部材２６０と接して形成されている第２光吸収層２７２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】赤外線吸収膜の帯電を防止した、赤外線検出感度の高い赤外線センサおよび赤外線センサアレイを提供する。
【解決手段】赤外線を検出する赤外線センサ１００において、凹部２を有する基板１と、基板１に接続された支持脚４で凹部２の上に支持され、検知素子６を含む温度検知部３と、温度検知部３の上に載置され、赤外線吸収金属膜１２を含む赤外線吸収部７であって、基板１の表面に平行な傘部１７と傘部１７を温度検知部３に接合する接合部１４とを含む赤外線吸収部７とを含み、傘部１７の赤外線吸収金属膜１２と、接合部１４の赤外線吸収金属膜１２とが、電気的に絶縁されているか、または赤外線吸収金属膜１２は、少なくとも接合部１４の、温度検知部３の表面に接合された部分には設けない。 （もっと読む）

【課題】高強度の高エネルギー放射光の束の断面におけるパラメータの空間分解測定方法を提供する。
【解決手段】本発明は、高エネルギー、高強度放射光のビーム束の断面全体にわたって測定データを空間的に取得する方法および装置に関する。高強度のビーム束の断面内で、検出器の飽和または劣化による測定精度の低下を発生させることなく、高空間分解測定データを取得する放射光測定の新しい可能性を見出すという目的は、本発明によれば、ビーム束（２）の全断面（２１）が遮蔽要素（３）上に結像され、断面（２１）が、少なくとも１つの開口部（３１）の移動を通じて、断面積が小さく、強度が弱い部分ビーム束（２２）へと連続的に分離され、開口部（３１）を通過する部分ビーム束（２２）の測定値が、時間的および空間的に開口部（３１）の位置に関連付けられるように取得され、記憶されることにより達成される。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶ光以外の波長を有した露光光を容易に評価する露光量評価方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一つの実施形態によれば、フォトマスクが、露光光のうちＥＵＶ光よりも長い波長を有した長波長光を反射し且つ前記ＥＵＶ光を吸収する長波長光反射膜を有している。また、フォトマスクは、前記長波長光反射膜の上層側に配置されるとともに前記ＥＵＶ光および前記長波長光を吸収する吸収膜を用いて形成されたマスクパターンを有している。そして、フォトマスクと、レジストが塗布された露光対象の基板と、をＥＵＶ露光装置内にセットする。前記フォトマスクに対し前記マスクパターン側から前記露光光を照射するとともに、前記フォトマスクで反射された露光光を前記基板に照射する。そして、前記基板に照射された露光光の露光量に基づいて、前記基板に照射された長波長光の光量分布を測定する。 （もっと読む）

【課題】応答速度および構造安定性の向上を図ることが可能であり、且つ、感度の向上を図ることが可能な赤外線センサを提供する。
【解決手段】熱型赤外線検出部３は、空洞部１１の周部に形成された支持部３ｄと、空洞部１１を覆う第１の薄膜構造部３ａとを備える。第１の薄膜構造部３ａは、空洞部１１の周方向に沿って並設され支持部３ｄに支持された複数の第２の薄膜構造部３ａａと、互いに対向する第２の薄膜構造部３ａａ同士を連結する連結片とを有し、各第２の薄膜構造部３ａａごとに第２の薄膜構造部３ａａと支持部３ｄとに跨ってサーモパイル３０ａが設けられ、全てのサーモパイル３０ａが直列接続の接続関係で電気的に接続されている。サーモパイル３０ａにおける熱電対の２種類の熱電要素がｐ形ポリシリコン層３５とｎ形ポリシリコン層３４とであり、ｐ形ポリシリコン層３５とｎ形ポリシリコン層３４とが互いに異なる面上に形成されている。 （もっと読む）

【課題】赤外線センサ感度を低下させることなく、熱容量を低減し、信頼性が高く低コストとすることができる赤外線センサ素子を提供することである。
【解決手段】実施形態の赤外線検出素子によれば、感熱吸収体層に上部が広がった形状の貫通孔を形成することにより、感熱ユニットの熱容量を低減し、赤外線吸収量の低下を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】光の左右比が飽和することが抑制された光センサを提供する。
【解決手段】半導体基板に複数の受光素子が形成され、受光素子の形成面上に、透光膜を介して遮光膜が形成され、遮光膜に、受光素子それぞれに対応して透光用の開口部が形成されている。上記形成面に沿う仮想直線に対して線対称となるように、一対の受光素子が半導体基板に形成され、これら一対の受光素子に対応する一対の開口部が、仮想直線に対して線対称となるように遮光膜に形成されており、一対の受光素子それぞれは、仮想直線の一方から他方に向って、中央がへこんだ凹形状を成し、その横幅が、一端から他端に向うにしたがって太くなっている。そして、形成面に交差する光によって、形成面に投影した、一対の開口部それぞれの少なくとも一部が、対応する受光素子、及び、その受光素子の両端を結ぶ線によって囲まれた領域に位置する。 （もっと読む）

【課題】基板に取り付けられた状態の光源の全光量を明るい環境下でも測定できる全光量測定システムの提供。
【解決手段】光を正反射する反射面部１１３を内面に有し、直接光と反射光とが通過する第一開口１１１と、光源３００を配置するための第一挿入孔１１２とを有する第一筐体１０１と、第二開口１２１と、第二挿入孔１２２と、光を吸収する吸収面部１２３を内面に有する第二筐体１０２と、第一光量と、第二光量とを検出する検出手段１０３と、全光量を算出する演算手段１０４と、迷光の第一空間１１０への進入を阻止する柔軟性のある第一遮光部材１４１と、迷光の第二空間１２０への進入を阻止する柔軟性のある第二遮光部材１４２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 温度に基づいて焦電体材料の分極量が変化する検出原理に鑑み、キャパシターを還元ガスから保護し、しかも焦電型検出素子から熱が散逸することを抑制して高い検出特性を実現できる焦電型検出器、焦電型検出装置及び電子機器を提供すること。
【解決手段】 焦電型検出器２００は、温度に基づいて分極量が変化するキャパシター２３０と、キャパシターを還元ガスから保護する第１還元ガスバリア膜２４０とを含む焦電型検出素子２２０と、焦電型検出素子を搭載した支持部材２１０と、支持部材の一部を支持して焦電型検出素子を熱分離する支持部１０２とを有する。支持部材は、キャパシターが搭載される搭載部材２１０Ａと、搭載部材に連結されたアーム部材２１０Ｂとを含み、第１還元ガスバリア膜２４０は、搭載部材２１０Ａの第１外周縁Ｐ１と、キャパシター２３０の第２外周縁Ｐ２との間に第３外周縁Ｐ３を有する孤立パターンで形成されている。 （もっと読む）

【課題】デザインの自由度の向上や大きさ寸法の低減を可能としつつ高い精度で所望の斜入射光特性を得ることのできる測光機器の受光装置を提供する。
【解決手段】受光箇所への光軸方向に対する入射光の入射角度の変化に対する感度の変化度合いを示す斜入射光特性を所定のものとすべく設計される測光機器の受光装置１０である。完全拡散面に近い拡散性能を有する拡散板１２と、その拡散板１２により拡散された入射光を受光し、その受光量に応じた電気信号を出力する受光部材（１７）と、その受光部材と拡散板１２との間に配置され、受光部材の入射面（１７ａ）における入射光の入射角度を制限する入射角度制限部材（１４）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】
支持脚によって支えられた赤外線吸収膜を持つ赤外線センサ素子の赤外線吸収膜を薄膜化した際に、赤外線吸収膜の支持脚間に発生するクラックを防止することを目的とする。
【解決手段】
少なくとも二以上の支持脚のある赤外線吸収膜において、支持脚間にスリットを設けることで、犠牲層除去工程で赤外線吸収膜の支持脚間に発生する応力は緩和されクラックの発生は抑制されるため、赤外線吸収膜を薄膜化することが可能となり、より高感度の赤外線センサ素子を提供することができる。 （もっと読む）