【課題】部品点数が増大せず、新たな実装面積の確保も不要で、反射成分を低減できる近接センサ、及び近接センサを実装するための回路基板を提供する。
【解決手段】回路基板は、近接センサ１０が実装され、回路基板の本体４９と、回路基板の本体４９に設けられ、カバー１８に当接するカバー当接面４７と、近接センサ１０と回路基板とを導通接続させる伸縮自在なスプリングコネクタ２６と、を有する。スプリングコネクタ２６は、カバー当接面４７をカバー１８に押し当てる。 （もっと読む）

【課題】温度計測する微小領域より内径の大きな中空導波路を用いても微小領域のみの温度計測が正確に行える温度計測用中空導波路を提供する。
【解決手段】試料７の温度計測に用いられ、試料７から輻射される赤外線を伝搬させるための中空領域５を有する温度計測用中空導波路１において、試料側に位置する温度計測用中空導波路１の一端部分に、赤外線を透過しない材料で形成されたアパーチャ板６を、アパーチャ板６に形成された開口部６ａと温度計測用中空導波路１の中空領域５とが一致するように取り付けられているものである。 （もっと読む）

【課題】十分な測定精度を確保しつつ、測定作業が簡素化され、構成が簡単でコスト低減をはかることが可能な、赤外線センサを用いた温度測定装置およびその補正方法を提供する。
【解決手段】測定対象の温度をＴｂ、赤外線センサ部１の出力（該出力に対応する赤外線センサ出力測定部３による測定出力）をＶ、赤外線センサ部１の出力に関するオフセットをｃ、温度係数をｂ、赤外線センサ部１（赤外線センサ部１自体）の温度をＴｒ、温度の演算式における冪指数をαとするとき、Ｔｂ＝｛（Ｖ−ｃ）／ｂ＋Ｔｒα｝^1/αなる演算によって測定対象の温度Ｔｂを算出する。この場合、温度測定装置１０には、冪指数α、温度係数ｂ、および、オフセットｃの各定数を予め保持しておく。該各定数は、赤外線センサ部の出力の実測値と予測値との差を２乗してデータ取得回数Ｎ分の和をとった、ばらつきを表す既定の関数の値を最小とする条件を充足するものとして各算出される。 （もっと読む）

【課題】常にアナログ−デジタル変換部の性能を最大に使い切るように、増幅部が電気信号を増幅するように設定することできる計測器と計測システムを提供する。
【解決手段】受光部１１と、増幅部１２と、アナログ−デジタル変換部１３と、演算部１４と、増幅率算出部１５とを有し、受光部は、受光する光強度に応じて電気信号を生成し、増幅部は、受光部から電気信号を入力され、外部から設定可能な所定の増幅率に応じて電気信号を増幅し、アナログ−デジタル変換部は、増幅部で増幅されたアナログの電気信号をデジタル信号に変換し、演算部は、デジタル信号を入力され、デジタル信号に対して所定の信号処理を行い、増幅率算出部は、増幅部において設定するべき増幅率をデジタル信号に応じて算出し、増幅率算出部で算出された増幅率が増幅部に入力されて増幅部の増幅率として設定される構成とする。 （もっと読む）

【課題】透明基板に入射された光が途中の経路で反射されるのを極力抑えるとともに光閉じこめ効果を十分に発揮させることにより、光電変換層への光の吸収性を向上させる薄膜付基板及びそれを用いた太陽電池を提供する。
【解決手段】透明基板とシリコン化合物膜と透明導電膜とがこの順に積層されて形成される薄膜付基板であって、シリコン化合物膜の透明導電膜側が凹凸に形成された凹凸形成面を有しているとともに、前記透明導電膜の前記シリコン化合物膜と反対側の面が前記凹凸形成面に沿う形状の凹凸面を有しており、さらに、前記シリコン化合物膜には、このシリコン化合物膜の屈折率と異なる屈折率を有する透明微粒子が含まれている。 （もっと読む）

【課題】紫外線情報を日常生活の中で適切かつ容易に活用できる紫外線測定装置を提供する。
【解決手段】ＵＶ−Ａ領域に感度をもつ第1紫外線センサ部１６とＵＶ−Ｂ領域に感度をもつ第２紫外線センサ部１８の測定情報を制御部４０で処理する。第１紫外線センサ部の測定情報から第２紫外線センサ部の測定情報を減算してＵＶ−Ａ情報を求める。第1紫外線センサ部にガラスカバー３４、第２紫外線センサ部に石英カバー３８をしてそれぞれＵＶ−Ａ情報およびＵＶ−Ｂ情報を出力する。ＵＶ−Ｂ情報が絶対的または相対的に小さい時ガラス越し測定と判断して補正し戸外での測定値を推定する。太陽電池出力により紫外線センサ部への直射光入射の有無を判定する。紫外線センサ部と可視光センサ部は天に向け、表示部は顔に向ける。化粧用コンパクト１の鏡を反射型ＬＥＤ表示とし、コンパクトを開いた時自動的に短時間だけ紫外線情報を表示する。 （もっと読む）

【課題】安価に製造することができる赤外線検出器及び当該赤外線検出器を組み込んだデバイス製造装置の提供。
【解決手段】赤外線を透過する窓材と、感熱抵抗体が梁によって基板から浮いた状態で支持されてなる赤外線検出素子と、前記赤外線検出素子を気密状態で封止可能な密封容器と、前記赤外線検出素子と外部回路とを接続するための端子と、前記密封容器の内外を繋ぐ、閉じられていない排気管と、を少なくとも備える赤外線検出器であって、前記赤外線検出器は、デバイス製造装置のチャンバ内の、試料を望む位置に配置され、前記試料から放射され、入射光学系により集光された赤外線を検出して当該試料の表面温度を測定するために使用され、前記チャンバが真空引きされる際に、前記排気管を介して前記密封容器内も真空引きされる。 （もっと読む）

【課題】 基本的に大気中において簡便に真空紫外光の強度を測定することができ、さらに、局所的な放電や、網状電極などの外部電極の影による測定バラツキを低減させることができるエキシマランプ用照度測定装置の提供。
【解決手段】 真空紫外光を検知する受光センサーとハウジングとからなり、ハウジングには、受光センサーの受光面に対向する位置にその一面が外部に開口した状態に導光路空間と、不活性ガスが導入されるガス導入口、およびこれから導光路空間に伸びるガス流路とが設けられ、さらに、不活性ガスが、導光路空間において受光センサーの受光面を含む面に沿って流通された後、導光路空間の開口から外部に排出されるガス流通機構が備えられ、受光センサーの受光面を含む面の垂直方向からの平面視において、導光路空間の開口の面積が、受光センサーの受光面の面積よりも大きいことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】紫外線センサにおいて、より高い感度を得られるとともに、より高い波長選択性を得られるようにする。
【解決手段】（Ｎｉ，Ｚｎ）Ｏ層２と、（Ｎｉ，Ｚｎ）Ｏ層２の一方主面の一部を覆うように、スパッタリング法により形成されるたとえばＺｎＯを含む酸化物半導体からなる薄膜材料層４とを含む積層体５を備え、さらに、（Ｎｉ，Ｚｎ）Ｏ層２と薄膜材料層４との接合部６の少なくとも一部を露出させた状態で積層体５の外表面上に形成され、かつ（Ｎｉ，Ｚｎ）Ｏ層２に電気的に接続される、第１の端子電極７と、上記接合部６の少なくとも一部を露出させた状態で積層体５の外表面上に形成され、かつ（Ｎｉ，Ｚｎ）Ｏ層２および薄膜材料層４の双方に電気的に接続される、第２の端子電極８と、第１の端子電極７に電気的に接続されながら、（Ｎｉ，Ｚｎ）Ｏ層２内に形成される、内部電極９とを備える。 （もっと読む）

【課題】光センサ自体に大気を利用して不活性ガスを生成する機構を設け、生成された不活性ガスによって紫外光検出器と紫外線光源との間の空間を不活性ガス雰囲気にして、正確に紫外光を測定できる光センサを提供する。
【解決手段】ケーシング２０内に配置された紫外光検出器２３によって紫外光を検出し、ケーシングは内部空間Ｋを有し先端部には内部空間を外部に開放する開口２１が形成されており、内部空間の開口と対向する位置に紫外光検出器が配置されており、ケーシングは、外気を吸気する外気吸気口２４と、内部空間に向けてガスを噴出する噴出口２５を有し、外気吸気口と噴出口との間にガス流通路２６が設けられ、ガス流通路に外気吸気口からガスを吸気し噴出口からガスを噴出するためのポンプ２７、および、ガス流通路内を流れるガスから酸素を取り除き不活性ガスを発生させる不活性ガス発生手段２９が設けられている。 （もっと読む）

【課題】異なる距離にある対象物を同時に撮像する。
【解決手段】所定波長の第１の赤外パルスレーザ光を生成し、監視領域内へ照射する第１のレーザ照射器１２Ａと、第１の赤外パルスレーザ光の反射光を第１の検知素子１３１で逐次受光し、光電変換して電気信号を出力する第１の赤外線検知器１３と、この電気信号から第１の赤外線反射画像用信号を生成する第１の信号処理器１５Ａと、第１の赤外パルスレーザ光と異なる波長の第２の赤外パルスレーザ光を生成し、監視領域内へ照射するレーザ照射器１２Ｂと、第２の赤外パルスレーザ光の反射光を第２の検知素子１４１で逐次受光し、光電変換して電気信号を出力する第２の赤外線検知器１４と、この電気信号から第２の赤外線反射画像用信号を生成する第２の信号処理器１５Ｂを備え、第１の検知素子１３１と第２の検知素子１４１が外表面上に市松状で配置された赤外線撮像装置。 （もっと読む）

【課題】紫外光検出器が配置されているケーシング内の酸素を確実に取り除き、オゾンの発生を防止すると共に、紫外光を正確に測定でき、エキシマランプ等の紫外線光源の点灯状態を正確に測定できる光センサの提供。
【解決手段】ケーシングは、内部に紫外光を検出する紫外光検出器２３が配置され紫外光が通過する貫通孔２１４を有する第１のケーシング２１と、紫外光が通過する貫通孔２２３を有する第２のケーシング２２からなり、第１のケーシング２１と第２のケーシング２２は、それぞれのケーシングの貫通孔が重なるように位置しており、第１のケーシング２１と第２のケーシング２２の間であって、それぞれのケーシングの貫通孔に対向する位置に紫外光を透過する窓材３が配置され、前記窓材３と第１のケーシング２１の間には、シール部材４１が配置されており、第１のケーシング２１内には、酸素除去剤５が配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】受光量の変動要因を簡易な構成によって判別できるファイバセンサを提供すること。
【解決手段】ファイバセンサ１は、モニタ用受光素子１４の受光量Ｐ１と第１基準受光量Ｐｔｈ１との比較を行う第１比較演算手段３１と、検出手段３０による被検出物Ｗの非検出時における受光素子１８の受光量Ｐ２と第２基準受光量Ｐｔｈ２との比較を行う第２比較演算手段３２とを備える。ファイバセンサ１のファイバ異常判別手段３３は、モニタ用受光素子１４の受光量Ｐ１が第１基準受光量Ｐｔｈ１以上であり、受光素子１８の受光量Ｐ２が第２基準受光量Ｐｔｈ２を下回った場合、投光用ファイバ２１および受光用ファイバ２２のうちの少なくとも１つに関連するファイバ異常を判別する。報知手段４１は、ファイバ異常判別手段３３の判別結果を外部へ報知する。 （もっと読む）

【課題】遮光部の色に影響されずに照度を検出することのできる照度センサ用光案内機構を提供することを課題とする。
【解決手段】照度センサ１２は採光窓１１から入射した光による照度を検出する。遮光部１３は、採光窓１１と照度センサ１２との間に設けられ、採光窓１１から入射した光以外の光を遮断する。遮光部１３は、照度センサ１２の受光面１２ａに垂直な方向に対して傾斜した内面１３ａを有する。内面１３ａの傾斜方向は内面１３ａが照度センサ１２に対向する方向である。 （もっと読む）

【課題】製造が容易で且つ再現性の高い構造を備えた量子ドット赤外線光検出器を提供することである。
【解決手段】半導体基板と、前記半導体基板の上に形成された、導電性の半導体からなる第１の電極層と、前記第１の電極層の上に形成された前記第１の光電変換層と、前記第１の光電変換層の上に形成された、導電性の半導体からなる第２の電極層と、前記第２の電極層の上に形成された、第２の光電変換層と、前記第２の光電変換層の上に形成された、導電性の半導体からなる第３の電極層からなる赤外線を電気信号に変換する光半導体装置において、前記第１の光電変換層が、前記半導体基板の主面に投影した形状が、第１の方向に長軸を有する第１の量子ドットから成り、前記第２の光電変換層が、前記主面に投影した形状が、前記第１の方向にに交差する第の２の方向に長軸を有する第２の量子ドットから成ること。 （もっと読む）

【課題】パッケージ内の気密性を十分に保つことができ、光学レンズおよび赤外線入射フィルタの低コスト化を実現することができる赤外線センサを提供する。
【解決手段】センサチップを収納した状態でステムと固着され、センサチップと対向する位置に窓部を有するキャップと、窓部を塞ぐようキャップ内に配置されたフレネルレンズと、フレネルレンズを窓部側に押し付けるようキャップ内側に嵌入して配置され、中央部には検知対象物からの赤外線を通過させる貫通孔が形成されたインナーと、インナーの貫通孔を塞いでインナーに接着された赤外線入射フィルタとを有する。 （もっと読む）

【課題】周辺光検知機能を備えた表示装置を提供する。
【解決手段】本表示装置は、照明源と、該照明源によって提供された光を変調するための表示変調器と、光レベルを検出する光センサー配列体と、該光センサー配列体から受信した信号を処理するためのプロセッサーとを備え、該光センサー配列体は、互いに離れた位置にある複数の光センサーを備え、該各光センサーは周辺光に曝され、該プロセッサーは、１つ以上の光センサーの位置における該周辺光の局所的遮断を見つけるために該複数の光センサーの信号を処理し、該周辺光のレベルの推定値を求めるよう設定されている。 （もっと読む）

【課題】赤外線検出部とキャップレンズとを備えた赤外線センサにおいて、検知エリア以外から入射する赤外線が不正に赤外線検出部に入射することを防止して誤検知の発生を防止する。
【解決手段】赤外線センサ１は、２つの焦電素子２ａ、２ｂを内部に有する赤外線検出部３と、２つのレンズ部６ａ、６ｂを有するキャップレンズ５と、キャップレンズ５の筒状部５ａの内周面を覆うように挿入されたスリーブ状の赤外線反射防止部材７とを備える。各検知エリアＡ、Ｂから出射してレンズ部６ａ、６ｂによって集光された赤外線Ｒａ、Ｒｂは、筒状部５ａ内を通過して各焦電素子２ａ、２ｂに入射することによってそれぞれ検知エリアＡ、Ｂにおける対象物の存在として検出される。検知エリア以外からキャップレンズ５内に入射する赤外線Ｒｒは、赤外線反射防止部材７によって反射を防止され赤外線検出部３に到達せず、従って、誤って対象物を検出することが防止される。 （もっと読む）

１実施例において、システムは、第１冷ノイズ源、第１放射計受信器、及び第１検出器を含む。第１冷ノイズ源は、第１搬送波周波数帯を有する第１熱放射信号を発生する。第１熱放射信号は、第１情報信号を搬送する。第１冷ノイズ源は又、第１アンテナを通り前記第１熱放射信号を送信する。第１放射計受信器は、第２アンテナを通る前記第１熱放射信号を受信し、第１検出器は、第１熱放射信号から第１情報信号を抽出する。
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本発明は、マイクロリソグラフィー投影露光装置用の照明システムに関するものであって、その場合に照明システムが、射出瞳面（１２１）を照明するための、波長領域≦１００ｎｍ、特にＥＵＶ波長領域内の光を放出する、光源、および射出瞳面（１２１）内で少なくとも１つの第１の照明（２２）を第２の照明（２４）へ変化させることができる素子と光を検出するための少なくとも１つの検出器（１０６．１、１０６．２）を有し、その場合に、照明システムが、検出器（１０６．１、１０６．２）の少なくとも１つの光強度信号を記録して、少なくとも記録した光強度信号に従って制御信号（１６６）を提供する装置（１６４）を有しており、前記制御信号によって、マイクロリソグラフィー投影露光装置の像面（２２１）内で感光性の物体のスキャン速度を調節することができることを特徴としている。 （もっと読む）