【課題】ＩＣチップの発熱に起因した赤外線センサチップの面内でのＳ／Ｎ比のばらつきを抑制することが可能な赤外線センサを提供する。
【解決手段】赤外線センサは、赤外線センサチップ１００と、ＩＣチップ２００と、パッケージ３００とを備える。パッケージ３００は、赤外線センサチップ１００が一面側に実装されＩＣチップ２００が他面側に実装されるベース基板部３０１と、ベース基板部３０１の上記一面側でベース基板部３０１から突設され赤外線センサチップ１００を囲む第１壁部３０２と、ベース基板部３０１の上記他面側でベース基板部３０１から突設されＩＣチップ２００を囲む第２壁部３０３とを備える。赤外線センサは、赤外線センサチップ１００とＩＣチップ２００とが、ベース基板部３０１を介して対向している。 （もっと読む）

【課題】ＵＶチューブの性能の劣化に応じてアノード電極とカソード電極の間に印加する電圧の大きさを調節することができる火炎センサを提供する。
【解決手段】向かい合う面電極を備えたＵＶチューブを用いた火炎センサにおいて、向かい合う面電極のうち一方が少なくとも１枚のアノード電極であり、もう一方が第１カソード電極及び第２カソード電極の２枚のカソード電極であるようにしたので、炎検出に使用するアノード電極を放電が開始される電圧の測定にも兼用して使用することができるので、部品点数も少なくて済み、簡単な構成で火炎センサの小型化を実現しつつ、性能の劣化や故障まで検出し、適当な電圧に調整することができる。 （もっと読む）

【課題】 赤外線撮像装置の適用しうる様々な画像補正方式、検知器の諸元に対応可能な共通の補正手段を赤外線撮像装置に備える。
【解決手段】 赤外線撮像装置の製品検査時に、赤外線撮像装置の適用する画像補正方式及び検知器の諸元に従い、画素毎の信号処理回路に入力する検知器からの撮像画像輝度値、及び信号処理回路から出力する撮像輝度値の組合せをルックアップテーブル値として求めてルックアップテーブルに格納する。赤外線撮像装置の運用時に、輝度変換部において、ルックアップテーブルに格納されたルックアップテーブル値を参照することで、赤外線撮像装置の適用する画像補正方式及び検知器の諸元に見合った輝度変換を行う。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で故障を特定可能な光検出装置を提供する。
【解決手段】上方照度センサは、車両上方から入射する光の照度である上方照度を検出する。前方照度センサは、車両前方から入射する光の照度である前方照度を検出する。ライトＥＣＵでは、上方照度または前方照度の一方が飽和していると判断され（Ｓ２０１：ＮＯ、または、Ｓ２０４：ＮＯ）、上方照度または前方照度の他方が基準値以下であると判断された場合（Ｓ２０２：ＮＯ、または、Ｓ２０５：ＮＯ）、上方照度センサまたは前方照度センサにショート故障が生じていると特定する（Ｓ２０３、または、Ｓ２０６）。これにより、簡素な構成により故障が生じていることを特定することができる。 （もっと読む）

【課題】光起電力（ＰＶ）発電システム（１０）を提供すること。
【解決手段】本システムは、複数のＰＶセル（２８）と、複数のセンサ（９６）と、複数のセンサに通信可能に結合された処理デバイス（２６）とを備える少なくとも１つのＰＶモジュール（２０）を含む。処理デバイスは、複数のＰＶセルのそれぞれの電力出力を決定するように、複数のセンサからデータを受信するように、決定された電力出力と受信データとに少なくとも部分的に基づいて、複数のセンサ内の故障センサを識別するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】赤外線センサにおけるＭＯＳトランジスタのしきい値のばらつきを小さくすることが可能な赤外線センサの製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板１の一表面側にシリコン酸化膜３１とシリコン窒化膜３２との積層膜を形成してから、シリコン窒化膜３２のうち熱型赤外線検出部３の形成予定領域Ａ１に対応する部分を残してＭＯＳトランジスタ４の形成予定領域Ａ２に対応する部分をドライエッチングにより除去する。その後、半導体基板１の一表面側に第１のイオン注入を行ってウェル領域４１を形成してから、ＭＯＳトランジスタ４のしきい値電圧を制御するための第２のイオン注入を行う。ウェル領域を形成する工程では、シリコン酸化膜３１のうちＭＯＳトランジスタ４の形成予定領域Ａ２に形成されている部分（シリコン酸化膜５１）の一部をウェットエッチングにより除去してから、シリコン酸化膜３１をマスクとして第１のイオン注入を行う。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成で、紫外線検知管の自己放電等による故障を早期に検出することができる火炎検出装置を提供する。
【解決手段】 紫外線検知管２０を含む回路が低インピーダンス状態の時に、炎検出回路３０から所定期間連続して第一炎検出信号ＦＳが出力されると、紫外線検知管２０を含む回路を高インピーダンス状態に切替える。その後、診断回路５０から所定期間連続して第二炎検出信号ＲＳが出力されないと、紫外線検知管２０が異常であることを報知する。 （もっと読む）

【課題】赤外線センサチップの水分を低減することが可能な赤外線センサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板１の上記一表面側に、サーモパイル３０ａが埋設された薄膜構造部たる熱型赤外線検出部３が形成されるとともに、半導体基板１の上記一表面側において熱型赤外線検出部３の一部の直下に空洞部１１が形成された赤外線センサチップ１００と、赤外線センサチップ１００が収納されたパッケージ１０３とを備え、熱型赤外線検出部３においてＳｉＯ_２系材料により形成された部位の露出表面がＣＨ_３基を含む有機材料により疎水化処理されている。 （もっと読む）

【課題】赤外線センサのチップの収量を増やすことが可能で、且つ、多数の赤外線センサを形成したシリコンウェハから個々の赤外線センサに分離する際のパーティクルの発生を抑制できる赤外線センサの製造方法を提供する。
【解決手段】保護膜６０を形成する前に積層構造部の一部を構成する複数の絶縁膜（第１のシリコン酸化膜３１とシリコン窒化膜３２とで構成される第１の絶縁膜、第２の絶縁膜５１、第３の絶縁膜５２、第４の絶縁膜５３、第５の絶縁膜５０）それぞれをパターニングする複数の絶縁膜パターニング工程では、シリコンウェハ１０においてダイシングレーンＤＬ内で当該ダイシングレーンＤＬに対応する格子状部に沿った所定の格子状領域を含む部位に対応する部分が開口されたマスク層を形成し、マスク層をマスクとして絶縁膜をウェットエッチングするようにしてシリコンウェハ１０の格子状領域が露出したときの撥水にてエッチングの終点検出を行う。 （もっと読む）

【課題】受光セルとして半導体受光素子を用いた火炎検出装置であって、半導体受光素子の逆接続を防止すると共に、半導体受光素子の短絡故障を検出する機能を備えた簡易な構成の火炎検出装置を提供する。
【解決手段】火炎が発する可視光を検知する半導体受光素子と、ケーブルを介して上記半導体受光素子にその駆動電圧を供給すると共に上記ケーブルを介して上記半導体受光素子による火炎検知信号を検出して火炎の有無を判定する検出装置本体とを具備したものであって、特に前記半導体受光素子と前記ケーブルとの間に逆接続防止用ダイオードを直列に介挿すると共に、前記検出装置本体に前記火炎の有無を判定する第１の閾値に加えて、前記半導体受光素子の短絡および逆接続をそれぞれ判定する第２および第３の閾値を設定したことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】作動試験を簡易に行なうことができると共に装置の小型化が可能な熱源検知装置を得る。
【解決手段】赤外線を検出する焦電素子３と、焦電素子３に入射する赤外線を断続させるチョッパ７と、チョッパ７及び焦電素子３を収納すると共に赤外線入射窓１１を有する筐体１３とを備えた熱源検知装置１において、筐体１３内に熱源検知装置１の作動確認に使用する模擬熱源１５を設けると共に、チョッパ７における焦電素子３に対向する面を赤外線が反射する反射面とし、模擬熱源１５が発する赤外線が焦電素子３に断続的に入射するように構成されていることを特徴とする熱源検知装置。 （もっと読む）

【課題】投光用ファイバの透過光量を簡易な構成によってモニタできるファイバセンサを提供すること。
【解決手段】ファイバセンサ１は、投光素子１３と、投光素子からの光を導き、被検出物Ｗに向けて光を投光する投光用ファイバ２１と、被検出物からの光を受け取る受光用ファイバ２３と、受光用ファイバからの光を受光する受光素子１８と、受光素子の受光量に基づいて被検出物を検出する検出手段１１とを備える。さらに、投光用ファイバの先端に配置され、導かれた光の一部を投光用ファイバに向けて反射し、反射しない残りの光を透過する反射手段２２と、投光素子と投光用ファイバとの間に配置され、反射手段２２によって反射された光を反射するビームスプリッタ１５と、ビームスプリッタによって反射された光を受光可能に配置されるモニタ用受光素子１６と、モニタ用受光素子の受光量に基づいて投光素子からの投光量を制御する投光量制御手段１１とを備える。 （もっと読む）

【課題】 赤外線センサーの窓材の汚れによる赤外線センサーの出力異常を未然に検出して安定して被加熱物の温度測定ができる赤外線センサーを提供する。
【解決手段】 赤外線透過窓材６を取り付けた赤外線光路を有するハウジング２と、受光面を前記赤外線透過窓材６に向けてハウジング２内に設けられた所定数の互いに受光赤外線波長領域の異なる赤外線受光素子１０と、赤外線照射面を前記赤外線透過窓材に向けてハウジング２内に設けられた赤外線光源１２とを有する赤外線センサー１００。 （もっと読む）

【課題】設置時等の誤配線、接続状態、非安全の制御機器の設定やプログラムの状況を容易に、かつ、簡便に確認（チェック）し得る多光軸光電センサを提供する。
【解決手段】本多光軸光電センサは、出力確認モードを備える。この出力確認モード時には、複数の光軸の入遮光状態に拘わらずＯＳＳＤ１，２により動作不許可を出力させ、かつ、多光軸光電センサに関する情報に拘わらず外部入力４４，４４から入力された信号に応じて外部出力４３から所定の信号を出力させる。 （もっと読む）

【課題】危険領域を分かり易くして、危険領域への侵入を未然に防止することのできる多光軸光電センサを提供する。
【解決手段】一列に配列される光軸列の列上で前記光軸１０に干渉しない位置に配列される複数の表示要素３１ａからなる第１表示部３１と、前記一列に配列される光軸列の列外で前記光軸１０に干渉しない位置に配列される複数の表示要素３２ａからなる第２表示部３２とを備え、前記光軸列を示すために前記第１状態のときに前記第１表示部３１の前記複数の表示要素３１ａを点灯し、診断手段により故障と診断されたときに前記第２表示部３２の前記複数の表示要素３２ａに予め定められた点灯パターンにより診断内容を表示させる。 （もっと読む）

【課題】赤外線熱影像アレーモジュールの提供。
【解決手段】主に本発明の赤外線熱影像アレーモジュールの検証は、熱影像モジュール規格設計、エピタキシャルと光学物性検証を含み、先ずエピタキシャルパラメーターの校正を行う。単乙型感知部品製造工程と変温光電量測定検証を行い、これによりエピタキシャルは感知部品の低温変温と変圧測定校正を完成する。焦平面アレー製造工程とその光電均一度の検証を行い、暗電流均一度テストを行う。焦平面アレーと信号読み出し集積回路の接着と研磨製造工程検証を行い、感知モジュールと信号読み出し集積回路間にインジウム接着を行い光電信号を転換する。熱影像品質統合テスト検証を行い、最適駆動と制御出力パラメーター分析と測定を調整する。熱影像アレーモジュール雛形を継続して行い、インジウム柱接合方式を利用し、焦平面感知アレーと接合し、影像感知アレーモジュール雛形を完成することができる。 （もっと読む）

【課題】照度を検出する光検出センサの断線状況を、コストアップを招来することなく、的確に検出する。
【解決手段】照度を検出し、照度の違いに応じた検出値を出力する照度検出手段１４と、照度検出手段１４から出力される検出値が属する複数のモード選択領域、各モード選択領域に関連付けた運転モードからなるデータを記憶すると共に、照度検出手段１４が断線した際の検出値が属する断線領域を、その旨を報知する異常モードに関連付けて記憶する記憶手段１７と、照度検出手段１４から入力される検出値に基づいて、記憶手段１７に記憶したデータを参照し、属するモード選択領域を特定し、特定したモード選択領域から決定される運転モードに切り替え、照度検出手段１４から入力される検出値に基づいて、記憶手段１７に記憶したデータテーブルを参照し、断線領域に属すると判断することにより、異常モードを実行させる制御手段１８とを備えた構成とする。 （もっと読む）

【課題】 気体中から入射する光の検出を前提とする光量検出器を用いて、液体中から入射する光を検出する光量検出器を較正できる露光装置の提供。
【解決手段】 照明光学系の光路上における、光源からの光量を検出する第１検出器と、基板ステージに配置され照明光学系および投影光学系を介して光源からの光量を検出する第２検出器と、複数の露光条件の各々に関して、投影光学系と第２検出器との間隙に気体を満たした第１状態で第２検出器により検出された第１光量と、上記第１光量の検出と同期して第１検出器により検出された第２光量と、上記間隙に液体を満たした第２状態で第２検出器により検出された第３光量と、上記第３光量の検出と同期して第１検出器により検出された第４光量とに基づいて、第１状態で第２検出器により検出される光量と第２状態で第２検出器により検出される光量との間の変換係数を求める演算器と、を有する露光装置とする。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成からなり、重量の小さな作業性の良い光センサの検査冶具を提供する。
【解決手段】高所に設置された光センサが作動するかどうかを検査するための光センサ検査冶具１０は、長尺棒１２と、長尺棒１２の一端に接続された収容部１１とを備え、収容部１１は、光センサを出入りさせるための入口部１４と、入口部１４を開閉させる一対の板材１６とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は赤外線撮像装置を提供する。
【解決手段】被測体からの赤外線放射を受光する光学システムと、光学システムが受光した赤外線放射を電気信号に変換する赤外線検知部と、赤外線検知部で生成された電気信号を赤外線画像に変換する信号処理・制御部とを含む。本発明によれば、多くの先端技術と機能を一つの赤外線撮像装置に組み込むことができ、体積が小さく、重量が軽く、操作が簡単で、そのうえ多機能、拡張性がよいなどの特性が実現される。 （もっと読む）