【課題】調節可能なマルチモードの光照射野結像システムを提供する。
【解決手段】光学的なモジュール１０５は、物体１５０の光学的な像１７０を形成する。光学的な像は、光学的なモジュール像平面１２５に形成される。光学的なモジュールは、開口１１７及び開口面１１５を有するが、単一のレンズ素子と共同で配置された開口絞りによって表される。より複雑な光学的なモジュールにおいては、開口及び開口面は、光学的なモジュール内の光学的な素子のいずれのものとも共同で配置される必要はない。不均質なフィルターモジュール１１０は、光照射野結像システムの開口面に位置決めされると共にマルチモードの性能を提供する。フィルターモジュールを結像システムに対して相対的に移動させることができると共に、このようにマルチモードの性能の調節を可能にする。 （もっと読む）