【課題】測定可能な膜厚の上限値を容易に変更することができる光干渉システム、基板処理装置及び計測方法を提供する。
【解決手段】光干渉システム１は、光源１０、コリメータ１２、単一の受光素子４１、チューナブルフィルタ４０及び演算装置１５を備える。コリメータ１２は、光源１０からの測定光を測定対象物の第１主面へ出射するとともに、第１主面及び第２主面からの反射光を入射する。単一の受光素子４１は、コリメータ１２からの光の強度を取得する。チューナブルフィルタ４０は、受光素子４１に入射される光の波長を掃引する。演算装置１５は、チューナブルフィルタ４０及び受光素子４１を用いて、波長に依存した強度分布であって第１主面及び第２主面からの反射光の強度分布である干渉強度分布を測定し、干渉強度分布をフーリエ変換して得られる波形に基づいて測定対象物の厚さ又は温度を計測する。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能で、光のエネルギー強度により対象を識別する対象識別装置を提供する。
【解決手段】同一の半導体基板２１にそれぞれ形成され、対象から放射される複数の波長の光をそれぞれ検出する複数の検出部２を有する検出器１と、複数の波長における各エネルギー強度を記憶する記憶部５と、複数の検出部２によりそれぞれ検出された光のエネルギー強度と、記憶部５に記憶されたエネルギー強度とを比較することにより、対象を識別する処理部４とを備えることを特徴とする対象識別装置。 （もっと読む）

【課題】２色測温法に於いて画像間の較正を省略できる様に、又簡単な装置で而も簡便に温度測定を可能とした。
【解決手段】撮像素子１０を有し、溶接部２３を撮像するカメラ１１と、異なる波長をそれぞれ透過する２つの光学フィルタ１９，２０，２１，２２を少なくとも１組備え、各光学フィルタが前記カメラの光軸１５を通過する様回転可能に支持されたフィルタテーブル１４と、該フィルタテーブルを回転させるモータ１７と、前記２つの光学フィルタを透して２波長で撮像した前記撮像素子からの２色の画像信号に基づき、２色測温法により画像中の任意の点についての温度を演算する制御演算部１３とを具備する。 （もっと読む）

【課題】波長分解能を上げ、測定可能な被検体の範囲を広げた測定装置とプラズマ処理装置の提供。
【解決手段】厚さＤのウエハＷの表面を反射した光とウエハＷの裏面を反射した光とを入射光として分光する回折格子１０４と、回折格子１０４により分光された光を受光し、受光した光のパワーを検出するフォトダイオードをアレイ状に複数設けたフォトダイオードアレイ１０８と、フォトダイオードアレイ１０８に取り付けられ、入力された電圧を力に変換する圧電素子２００と、を備え、フォトダイオードアレイ１０８は、圧電素子２００により変換された力によって前記アレイ方向の各フォトダイオードの幅ｄに対してｄ／ｍ（ｍは２以上の整数）の変位まで移動したとき、前記受光した光のパワーを検出する、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡易な光学系と測定系とによって不輝炎の燃焼ガスの自発光をとらえて二次元断面の温度分布を測定できるようにする。
【解決手段】測定対象断面を碁盤目状に分割し、当該碁盤目の各段毎のマス目の並び方向中心位置におけるガスの発光強度を計測すると共に各列毎のマス目の並び方向中心位置における前記ガスの発光強度を計測し、これら発光強度に基づいて前記各段・各列毎のバンドスペクトル強度を求め、前記ガスの燃焼属性に基づいて前記測定対象断面の平均ガス温度を計算し、当該平均ガス温度と前記各段・各列毎のバンドスペクトル強度とを用いて前記碁盤目の各マス目の中心位置のガス温度を算出するようにした。 （もっと読む）

【課題】 検出手段からの出力値を適切に処理することにより、簡易にしかも迅速に被検体の温度情報を計測することができる温度情報計測方法を得ること。
【解決手段】 放射率が等しいか、又は互いの比が既知であり、かつ被検体から撮像装置内の検出手段に至る光路中までの透過率が等しいか、又は互いの比が既知の２つの波長λ１，λ２を選択する波長選択工程と、検出手段に入力する放射量と、検出手段からの出力値とから入出力特性値を求める入出力特性検出工程と、検出手段に入射される放射量に対する出力値との１次関数より、放射量が０のときの波長λ１と波長λ２について各々オフセット量Ｑcλ１，Ｑcλ２を求める算出工程と、オフセット値Ｑcλ１，Ｑcλ２と１次関数を用いて放射量Ｒλ１，Ｒλ２を求める計測工程と、放射量Ｒλ１，Ｒλ２の比を用いて該被検体の温度情報を求める温度情報計測工程とを利用して、被検体の温度情報を求めること。 （もっと読む）

【課題】波長可変レーザを用いてガスタービン内の高温ガス温度を測定すること。
【解決手段】ガスタービン（１０）に装着された燃焼ガス測定装置であって、該測定装置が、ガスタービン（１０）内の燃焼ガス通路（３０）を通過するレーザビームを放出（１１０）する波長可変ダイオードレーザ（２２）と、１３３４ナノメートル（ｎｍ）の波長の第１のレーザビームと、１３８０ｎｍ又は１３９１ｎｍの波長の第２のレーザビームとを放出するよう波長調整（１００、１０２）される波長可変ダイオードレーザ用のコントローラ（２０）と、燃焼ガス（３０）を通過する放射線ビームの各々を検知（１００）し、波長の各々において燃焼ガスによるビームの吸収を示す吸収信号（１１２）を生成するレーザセンサ（２２）と、を備え、コントローラ（２０）が、非一時的な記憶媒体上に格納され、第１のレーザビーム及び第２のレーザビームの吸収信号の比に基づいて燃焼ガス温度を決定（１１４）するプログラムを実行する。 （もっと読む）

【課題】精度の高い測定を簡便に行うことができる分光測定装置、及び分光測定方法を提供すること。
【解決手段】
本発明の一態様にかかる分光測定装置は、レーザ光源１０１と、レーザ光源１０１からの光ビームを参照用サンプル１２０に集光するレンズ１０４と、第１レンズ１０４を通過した光ビームを測定用サンプル１２１に集光する対物レンズ１０６と、光ビームの照射によって、測定用サンプル１２１、及び参照用サンプル１２０で発生した光ビームと異なる波長の光を分光する分光器１０９と、分光器１０９で分光された光を検出する検出器１１０と、参照用サンプル１２０及び測定用サンプル１２１から分光器１０９に向かう光の光路を、レーザ光源か１０１から測定用サンプル１２１に向かう光ビームの光路から分岐するビームスプリッタ１０３と、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、被処理体の温度を高精度に測定することができる温度測定方法、温度測定装置、熱処理装置及び熱処理方法を提供する。
【解決手段】 本発明の温度測定方法は、被測定体から放射される熱放射光から、所定領域の波長を有する当該熱放射光を選択する工程と、かかる選択工程において選択された所定領域の波長を有する熱放射光を用いて温度を算出する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】多次元温度データを生成するためのマルチスペクトルシステム及び方法を提供すること。
【解決手段】１つの実施形態において、システム（１０）は、ガス（８０）及び該ガス（８０）を介してタービン（１８）の内部から観測可能な表面のイメージを受け取り、該イメージを、ガス（８０）の温度を示す波長の第１の２次元強度マップと、表面の温度を示す波長の第２の２次元強度マップとに分離して、第１及び第２の２次元強度マップを示す信号を出力するよう構成されたイメージングシステム（３６）を含む。 （もっと読む）

【課題】タービン構成部品の二次元強度マップを示す信号を出力する撮像システムの提供。
【解決手段】動力または推力を提供する作動流体４６と流体連通している複数の構成部品５２、５４、５８、６０、６２、６６、７０、７２を含むタービン１８と光学的に連通している撮像システム３６で、タービン１８の動作中に少なくとも１つの構成部品５２、５４、５８、６０、６２、６６、７０、７２の広波長域画像を受け取り、広波長域画像を複数の狭波長域画像に分割し、各狭波長域画像の二次元強度マップを示す信号を出力するように構成される。 （もっと読む）

【課題】蛍光灯、電球、ＬＥＤ素子などの測定対象光源からの光の特性を、例えば、光源の色度、照度、演色性、波長、パワーなどをより簡易で、迅速に測定することのできる測光装置を提供する。
【解決手段】各光センサＳ１〜Ｓｎの分光感度特性を元に、各光センサＳ１〜Ｓｎの信号に重み付け係数を掛けて加算する演算部１０２は、測光装置の分光感度特性を、第一の組の重み付け係数を掛けて等色関数に近似した出力特性として、測定対象光源の色度を測定し、また、測光装置の分光感度特性を、第二の組の重み付け係数を掛けて演色性測定の試験色の分光放射輝度率と等色関数の積に合致させて、測定対象光源及び基準光源の色度を測定し、測定対象光源の演色性を測定する。 （もっと読む）

【課題】改良型の多波長温度計を提供する。
【解決手段】熱測定システム（１０）は、光収集デバイス（２２）と、光収集デバイス（２２）と通信する検出システム（４０、１４０、２４０、３４０）とを含む。検出システム（４０、１４０、２４０、３４０）は、気体（８０）からの光（９４）強度を検出するように構成されている。本発明は、特定の実施形態の観点から記載されており、明示的に述べられているものを除き、均等形態、代替形態、及び変更形態が可能でありかつ添付の特許請求の範囲の範囲内にあることが確認されている。 （もっと読む）

【課題】センサの呼びかけ信号の提供。
【解決手段】本発明は、ホログラフィックセンサを外からの物理的影響に暴露して、該センサがこの物理的影響を感知すること、及び、画像の変化を観察することを含むことを特徴とする感知方法に関する。 （もっと読む）

【課題】マルチバンド撮影画像から、撮影時の光源の種類を簡易かつ高精度に推定する。
【解決手段】Ｓ５０１でマルチバンド撮影画像の全画素値を色温度空間へ射影し、Ｓ５０２で該射影結果に基づく色温度を推定する。次にＳ５０３で、Ｓ５０２で推定された色温度に基づいて、マルチバンド撮影画像の全画素値を波形空間へ射影する。そしてＳ５０４で、該射影結果に基づく波形を推定する。このように推定された色温度と波形により、マルチバンド撮影時の光源が推定される。 （もっと読む）

【課題】被測温材が水冷中でその表面温度が２００℃程度の低温域であっても、精度良く測温可能な表面温度測定方法等を提供する。
【解決手段】本発明は、水冷中の被測温材Ｍの表面から放射された熱放射光を該被測温材の表面に対向配置した放射温度計１で検出することにより、該被測温材の表面温度を測定する方法であって、放射温度計で検出する熱放射光の波長を１．６０〜１．８０μｍとすることを特徴とする。放射温度計から被測温材の表面に向けてエアーを噴射することにより、被測温材の表面と放射温度計との間にエアー柱を形成し、このエアー柱を介して被測温材の表面から放射された熱放射光を放射温度計で検出する。 （もっと読む）

【課題】光学センサを備えた改善されたシステム及び方法を提供すること。
【解決手段】本発明の特定の実施形態は、燃焼制御用の光学センサを提供するシステム及び方法を含むことができる。本発明の例示的な実施形態によれば、ガスタービン燃焼器（１０２）に関連する燃焼パラメータを制御するための方法が提供される。本方法は、燃焼器（１０２）内の火炎領域（１０６）に隣接して少なくとも１つの光路を設ける段階と、少なくとも１つの光路内で火炎領域（１０６）からの発光の少なくとも一部を検出する段階と、検出された発光に少なくとも部分的に基づいて燃焼パラメータの少なくとも１つを制御する段階とを含むことができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、イメージセンサに関するものであり、より詳細には、特定帯域の波長を有する赤外線及び可視光の有無による出力電圧値の変化を利用して現在の照度、被写体との近接度及び被写体の色温度を測定することができる照度、近接度及び色温度の測定が可能なイメージセンサに関するものである。
【解決手段】本発明による照度、近接度及び色温度の測定が可能なイメージセンサは、、撮像画素を備えた第１センシング部の周辺に別個の第２センシング部を設けて、第１センシング部と別個に動作するように構成することで、電力消費をを低減しつつ、現在の照度、被写体との近接度及び被写体の色温度を容易に測定することができる。 （もっと読む）

【課題】半導体基板の温度の計測精度を向上することができる温度計測装置および温度分布計測システムを提供する。
【解決手段】Ｓｉ、ＳｉＣ、ＧａＮ、ＧａＡｓ、ＩｎＰなどの半導体基板３３の温度を計測する温度計測装置１００において、広帯域光源３１と、広帯域光源３１から出射した光を半導体基板３３に集光する集光光学系３２と、半導体基板３３からの散乱光を受光し、集光する受光光学系３４と、受光光学系３４により集光した光を分光し、光スペクトルを測定する分光計３５と、分光計３５で測定された光スペクトルに基づいて半導体基板３３の温度を演算計測する温度演算手段３６とを含んで構成する。温度演算手段３６は、分光計３５で測定された光スペクトルを波長で微分することによって、波長と散乱光の強度変化率に基づく吸収波長を演算し、この吸収波長に基づいて半導体基板３３の温度を演算計測するようにする。 （もっと読む）