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Fターム[2G066AA20]の内容

放射温度計 (5,716) | 温度測定方法 (258) | その他 (22)

Fターム[2G066AA20]に分類される特許

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【課題】
非接触の多点温度計測をする技術として、NO-LIF法では、NOの反応性から、気体の温度値は数十K程度のばらつきを有するという問題点があり、また水中における蛍光染料を用いた方法では、気体中での蛍光染料の安定性、拡散性の違いからそのまま適用することは困難であった。気体の温度分布を高精度で測定することができ、非接触気体温度計測法及びその装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
温度計測対象となる気体に蛍光染料溶液を噴霧して液滴群とし、これに蛍光染料の励起波長域の波長を持つ光を照射し、蛍光染料の蛍光強度を測定し、その蛍光強度から温度を算出することを主要な特徴とする。 (もっと読む)


【課題】封止樹脂部は小型であるため熱電対による温度測定が困難である。赤外線温度計を用いても、封止樹脂内部までは温度測定できないうえ、放射係数が分からないと正確な温度を知ることができない。
【解決手段】半導体発光素子15と、半導体発光素子15の封止樹脂11と、半導体発光素子15に電力を供給する電極19,21とを備える半導体発光装置10において、封止部材11がコレステリック液晶16を含有する。コレステリック液晶16の反射色から封止部材11の内部温度が分かる。 (もっと読む)


【課題】被験者の体温に影響されることなく被験者の放射する赤外線から血中のエチルアルコールを正確に検知して酒気帯びの判定精度を高める。
【解決手段】撮像制御部38は、被験者18の赤外線放射光からのエチルアルコールの吸収波長λ1を含む第1波長帯域の受光量Vd1、第1波長帯域の近傍のエチルアルコールによる吸収率の小さな波長λ2を含む第2波長帯域の受光量Vd2、第1波長帯域の近傍のエチルアルコールによる吸収率の小さな波長λ3を含む第3波長帯域の受光量Vd3の各々を検知し、エチルアルコール検出部40は受光量Vd1、Vd2の差分ΔVdとしてエチルアルコール含有度を算出し、温度検知部42は受光量Vd2、Vd3から被験者の温度を算出し、判定部はエチルアルコール含有度を検知温度により温度補正して酒気帯び状態であるか否かを判定する。 (もっと読む)


【課題】燃焼タービンエンジンの燃焼器において材料欠陥を検出する方法、システム及び装置を提供する。
【解決手段】燃焼タービンエンジンの運転中に該燃焼タービンエンジンの燃焼システムの燃焼ダクト148における欠陥173を検出するシステムであって、燃焼ダクト148は、燃焼ガスに曝される高温側と、該高温側の反対側にある低温側とを有する。一実施形態では、システムは、燃焼ダクト148の低温側に向けられ、燃焼ダクト148の低温側に対する可視的変化を検出するよう構成された光検出器165を備える。 (もっと読む)


【課題】 本発明は、被処理体の温度を高精度に測定することができる温度測定方法、温度測定装置、熱処理装置及び熱処理方法を提供する。
【解決手段】 本発明の温度測定方法は、被測定体から放射される熱放射光から、所定領域の波長を有する当該熱放射光を選択する工程と、かかる選択工程において選択された所定領域の波長を有する熱放射光を用いて温度を算出する工程とを有する。 (もっと読む)


【課題】ダクト内の面温度分布を安価かつ簡易に計測することができ、面温度分布を常時測定することができる温度測定装置および温度測定方法を提供する。
【解決手段】流体が流れる流路の一の壁面に取り付けられ、前記流路の他の壁面から発せられ、流体を通過した光が入射する受光部2と、受光部2に入射した光を分光する分光部3と、分光部3により分光された光から、少なくとも気体に関する吸収スペクトルである実測の吸収スペクトルを取得するとともに、気体の所定温度における理論上の吸収スペクトル、および、実測の吸収スペクトルを比較し、理論上の吸収スペクトルと実測の吸収スペクトルとの誤差が最も小さくなる所定温度を求める解析部4と、が設けられていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】高い応答速度で正確な測定を行うことができる温度センサ及び温度測定方法を提供すること。
【解決手段】本発明にかかる温度センサは、励起光を出射する光源12と、前記励起光によって蛍光を発生する蛍光体15と、前記蛍光を検出して、蛍光強度に応じた蛍光信号を出力する光検出器13と、前記光検出器13からの蛍光信号に基づいて温度を算出する処理部14とを備え、前記処理部14が、前記蛍光信号が減衰中の予め設定された3以上の期間における前記蛍光信号の積分値をそれぞれ算出し、前記3以上の期間のうち同じ時間幅を有する3以上の期間における前記積分値に基づいて、第1の差分値及び第2の差分値を算出し、前記第1の差分値及び前記第2の差分値の差分比率から、蛍光寿命を算出し、予め記憶された温度と前記蛍光寿命との関係を参照して、前記蛍光寿命を温度に換算している。 (もっと読む)


プロセス中の温度を測定するための方法及び装置が提供される。一実施形態において、チャンバ本体と、チャンバ本体を取り囲むチャンバ蓋と、基板サポートアセンブリを含む、エッチングプロセス中の基板温度を測定するための装置が提供される。基板サポートアセンブリの基板サポート面には、複数の窓が形成される。基板サポートアセンブリを介して信号発生器が窓に光学的に結合される。センサが基板サポートの上方に位置し、少なくとも1つの窓を通して信号発生器から伝播されたエネルギーを受信するために配置されており、センサは透過率の計量値を検出するために構成される。
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【課題】内燃機関の筒内の温度を燐光観測に基づいて精度良く測定する技術及びこれによって測定した筒内の温度を用いて内燃機関を制御する技術を提供する。
【解決手段】燃料を溶媒として燐光体を分散させた燐光体溶液を収容するとともに、排気によって燐光体溶液を霧化させ、燃料を蒸発させて燐光体粒子を分離する機能を有する蒸発装置11を備え、蒸発装置11から供給される燐光体を吸気通路2に流入させることで気筒4内に燐光体を均一に分散供給し、点火プラグ4と一体に構成された紫外光発生装置によって点火プラグ4の気筒内の部分から筒内の燐光体に紫外光を照射し、筒内の燐光体から発せられる燐光を点火プラグ4に内蔵された光ファイバによって点火プラグ4の気筒内の部分から取り込んで燐光観測部に導き、燐光観測部において燐光の特定の2波長の強度を測定し、2波長の強度比に基づいて燐光体の温度を算出し、筒内温度を測定する。 (もっと読む)


【課題】簡便かつ高精度に、障害物の輻射率、温度の少なくとも1つの物理量を検出する。
【解決手段】遠赤外線撮像装置は、障害物からの遠赤外線に応じた画像を生成する遠赤外線イメージセンサ20と、遠赤外線イメージセンサ20を時間的に異なる温度に制御する温度制御装置22と、温度制御装置22により異なる温度に制御された各々の状態で、遠赤外線イメージセンサ20により生成された画像の出力に基づいて前記障害物の輻射率、温度の少なくとも1つを検出する画像処理部30と、を備えている。 (もっと読む)


熱処理中に基板の温度を測定するための方法及び装置を提供する。一実施形態において、熱処理中に基板の温度を測定するための装置は、排気可能なチャンバと、チャンバ内の基板を加熱するための基板ヒータと、基板ヒータによる基板の加熱中に基板を透過したエネルギーを受け取るためのセンサとを含み、センサは、透過率を表す数的指標を検出するように構成されている。別の実施形態において、基板の温度を測定するための方法は、チャンバ内の基板を加熱し、加熱しながら基板の透過率における変化を検出し、透過率の変化に基づいて基板の温度を求めることを含む。
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本発明は、対象物に対して1μm未満の分解能での温度及び/又は温度分布の測定方法、及び当該方法を実行するためのデバイス、より具体的には上記方法を実行するための顕微鏡に関する。
上記方法は、対象物上の基質層に取り込まれた分子温度計を塗布するステップと、上記分子温度計を上記顕微鏡の光源で光励起するステップと、及び上記顕微鏡の2つの光検出器で上記分子温度計からの発光を測定するステップと、を含む。第1の波長での第1の強度は、上記第1の検出器によって測定され、第2の波長での第2の強度は、上記第2の検出器によって測定され、上記強度比率が計算され、調整された曲線で温度を決定するために利用される。上記顕微鏡は、共焦点顕微鏡又は誘導放出制御顕微鏡(STED)である (もっと読む)


複雑三次元サブミクロン電子デバイスの熱挙動特性を明らかにするシステム及び方法。前記システムにより、レーザを使った表面温度走査は、CCDカメラを使ったアプローチで置換及び/又は補完される。CCDカメラは、集積回路から反射する光エネルギについて複数箇所を記録して静温度測定を得る。前記システムは、活性化させたデバイスの二次元表面温度場をサブミクロン分解能で非侵襲的に測定するのに使用される。CWレーザは、活性デバイスの表面上の単一の箇所を照明し、光検出器は、反射した光エネルギを記録して過渡温度測定を得る。測定された二次元温度場は、計算機による超高速逆解法のための入力として、複雑三次元デバイスの熱挙動特性を明らかにするのに使用される。前記システムは、測定結果と計算結果を組み合わせて複雑三次元電子デバイスの特性を明らかにする当該システムの能力を評価するのに公知のデバイスの形状特性を抽出する。
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ヒドロキシル(OH)大気光から中間圏界面領域内の温度を導出するために、OH発光の3本のラインの強度および基本位置の強度が、地上赤外分光計を用いて夜間に測定され、調和解析の形でのスペクトル解析を用いておよびローレンツ分布とドップラ分布の組合せの形で実施されるフォークト関数を使った適合化を用いて、測定されたOH強度上に重畳された白色雑音を除去することにより、雑音を含んだOHスペクトルを平滑化する。統計上の特徴的変数を用いることによって、および2つの方法、調和解析関数またはフォークト関数、のうちの1つを選択することによって、得られた平滑化済みスペクトルの原初スペクトルに対する適合化の質についての決定が下され、これにより温度が正確に決定される。
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ウェハ温度測定および温度測定装置の較正のための方法および装置が、半導体ウェハの層の吸収を決定すること基づいている。吸収は、ウェハに光を向かわせ、入射光が衝突するウェハの下側から反射された光を測定することによって決定される。較正ウェハと測定装置は、ウェハ表面に対し所定の角度で反射された光を測定し、その他の光は測定しないように、配置構成されている。測定は、ウェハの中または上にあるパターンの像におけるコントラストの度合いを評価することに基づく。他の測定は、反射光または透過光に基づく温度決定と並んで、ウェハ内の光路長の決定を利用しても良い。
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【課題】分析セル内に流入したガスの流れを均一にすることのできるガス分析用セルと、該セルを備えた内燃機関内の温度と排気管内のガス濃度の校正装置を提供する。
【解決手段】ガス分析用セル1は、ガスを収容する中空部12を備えたセル本体11と、セル本体11に開設され、中空部12に連通するガスの流入孔18aおよびガスの流出孔18bと、中空部12内の温度を計測する温度センサ13,13,…と、中空部12内の温度を調整する加温部16と、流入孔18aが中空部12に臨む箇所に設けられてガスの流れを調整する整流部17とを具備してなる。この整流部17は、複数枚の面材17a,17b,17cを面同士を当接させて形成されている。各面材には、断面がハニカム状で、その延設方向が面材の厚さ方向に対して所定の角度方向の通気孔が複数開設されている。 (もっと読む)


【課題】低温プロセスにおいてもウエハ温度をその場で精度良く温度測定することができる非接触方式のウエハ温度測定装置を提供する。
【解決手段】このウエハ温度測定装置は、温度測定対象であるウエハに照射された光の反射光に基づいてウエハ温度を測定する装置であって、波長が400nm以下のP偏光成分を含む光を発生してウエハ100に照射する光源部110と、ウエハによって反射された光を受光して、少なくとも、反射光に含まれる波長が400nm以下のP偏光成分の強度を検出する受光部130と、該受光部によって検出された波長が400nm以下のP偏光成分の強度に基づいて、温度測定対象の温度を算出する信号処理部150とを含む。 (もっと読む)


歯の欠陥、脱灰、再石灰化および齲食からのレーザ誘導周波数領域赤外光熱放射測定信号と交流電流(ac)被変調ルミネセンス信号とを口内で同時に測定することができる高空間分解能動的診断機器が提供される。重点は、咬合面小窩および裂溝、平滑面、ならびに歯の間の隣接歯間領域上の、X線写真または目視検査によって通常は検出されない齲食病変および/または欠陥の検出、診断および進行中監視などの重要な問題に取り組むこの機器の能力にある。この機器はさらに、脱灰された歯の初期領域、および/または再石灰化された歯の領域、ならびに修復物の縁に沿った欠陥を検出することができる。局所点を検査するこの能力を、マルチアレイ赤外カメラを使用した標的歯の表面下の被変調画像化に拡張することができる。この機器の2つの構成が提示される。 (もっと読む)


【課題】
構造物内部の鉄筋や鉄骨等の金属体を一様に加熱し、浮き、剥離の位置又は鉄筋や鉄骨等の金属体の腐食状態等について高い精度で検査することができるコンクリート構造物の非破壊検査装置及び非破壊検査方法の提供。
【解決手段】
コンクリート構造物10内の鉄筋や鉄骨等の金属体12,12を加熱する加熱機と、コンクリート構造物表面の温度を測定し、それを画像化することによりコンクリート構造物10の状態を検知できるサーモグラフィ装置とを備えたコンクリート構造物の非破壊検査装置11において、加熱機は、渦電流により金属体12を加熱する誘導加熱コイル16と、誘導加熱コイル16に高周波交流電流を供給するインバータ装置17とを有し、誘導加熱コイル16を移動手段20によりコンクリート構造物表面に沿って移動させるようにした。 (もっと読む)


サンプル(21)の温度を測定する方法であって、プロービング光ビーム(12,22,32)をサンプルに当て、プロービング光ビームの少なくとも2つの部分ビームが、サンプル中の少なくとも2つの互いに異なる深さレベルから後方散乱し又は反射することによりサンプル内部の互いに異なる長さの経路を通り、後方散乱又は反射した部分ビームを分析ユニットに戻し、基準光ビームとして一方のビームを用いる干渉デバイスにより干渉モデルを作成し、作成した干渉モデルを評価ユニットで評価し、反射又は後方散乱した部分ビームの信号強度を光路長に対して求めてサンプルの温度シフト及び温度を信号強度の温度シフトから求めることを特徴とする。
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