【課題】焦電型の赤外線検出素子及びこれを用いた赤外線検出装置において、画素として用いる赤外線検出素子の受光面積を小さく、膜厚を薄くしても、ノイズの影響を低減化することを目的とする。
【解決手段】基板１１と、支持電気絶縁層１２と、第１の電極１４と、焦電層１５と、第２の電極１６と、を備える。焦電層１５は、受光面積が１×１０^２μｍ^２以上１×１０^４μｍ^２以下であり、膜厚が０．８μｍ以上１０μｍ以下であり、且つ、Ｐｂ（Ｚｒ_ｘＴｉ_１−ｘ）Ｏ_３（但し０．５７＜ｘ＜０．９３とする）で表される化合物を主成分とする。圧電ノイズを抑え、十分な焦電特性が得られ、高い感度の検出が可能となる。 （もっと読む）

【課題】 アームの強度を高め、アームから熱の散逸を低減し、あるいはアーム上の配線の断線も防止できる熱型光検出器を提供すること。
【解決手段】 熱型光検出器１０Ａ〜１０Ｄは、検出素子３０と、検出素子を支持する支持部材４０，１００，２００，３３０とを有する。支持部材は、検出素子を搭載する搭載部材５０とそれに連結されたアーム６０と、配線層８０とを含む。アームは、搭載部材かに連結されたアーム基端部６２と、アーム基端部に連結されたアーム本体部６４とを含む。アーム本体部はアーム基端部から第１延在方向に延び、アーム基端部は搭載部から第１延在方向に延びる。アーム本体部は第１幅に形成され、アーム基端部は第１幅よりも広い第２幅に形成される。第２幅のアーム基端部及び第１幅のアーム本体部が延びる第１，第２延在方向は交差している。 （もっと読む）

【課題】センサ部から電荷転送素子部への熱拡散を最小限に抑える。
【解決手段】焦電センサのセンサ部１０Ｂと電荷転送素子部２０とを、それらの間にシリコン犠牲層１６を挟み込んで一体とした状態で、センサ部１０Ｂを画素単位でパターニング加工し、センサ部１０Ｂの電極層１３と電荷転送素子部２０の入力電極２２とを接続する引き出し電極３０等を形成したのち、最終工程でシリコン犠牲層１６を除去して、センサ部１０Ｂと電荷転送素子部２０との間に空隙層を形成して熱的に分離する。 （もっと読む）

【課題】より高い精度でジェスチャ動作を認識する。
【解決手段】第１，第２の一次元センサの検出軸について、予め定められた直線的なジェスチャ動作の方向である水平方向及び垂直方向に対して異なるようにして配置する。第１，第２の一次元センサ手段からの信号については、正規化を行った上で、位相平面上に写像することで信号軌跡を形成し、さらに、信号軌跡についての相関係数を求める。信号軌跡から求められる相関係数の正／負は、検出した動きが水平方向の動きと素直方向の動きの何れであるかに対応する。そこで、相関係数の正／負に基づき、水平方向の動きと垂直方向の動きとを弁別するようにして判定する。 （もっと読む）

【課題】デュアル素子の焦電型赤外線センサを用いる非接触入力装置において、同一コマンドを小さな動作で容易に連続入力できるようにする。
【解決手段】デュアル素子の焦電型赤外線センサ１からの信号により正極性信号または負極性信号のどちらかの信号の検出に基づいて、移動方向を決定する。移動方向を決定した信号の入力から所定時間以内に、その信号と同極性の信号を検出したとき、移動方向と同一方向とするので、同一のコマンドを小さな動きで連続入力することができる。 （もっと読む）