センサに関連する電子回路を含む、赤外線検出ピクセルのための単層を有する熱センサ構造。電子回路は小さい範囲に置かれ、そのため、ピクセル用電子回路が無い層と比べても、ピクセルが配置される範囲に対しての電子回路の影響は少ない。その層は、シリコンに対してのアクセス・ビアがあるため、基板に対しての付着が構造的に制限され、それにより基板に対して熱的に隔離される。更に、これは、単層の下の基板からシリコンが除去されて形成されたピットにより隔離される。熱センサは、多数のピクセルを含むアレイを有することができ、ピクセルおよび電子回路のための単層を有する。

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【課題】分光学的な設計によって赤外線吸収率を高めるとともに、熱による応力によるセンサの変形を防止できる２層構造のボロメータ型赤外線センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のボロメータ型赤外線センサは、前記検出回路基板上部の反射金属層を含む下部層と、前記下部層上に存在し赤外線を共鳴吸収する空胴と、前記空胴上に存在し前記ピクセルの中央部を横切る切断部が形成された吸収透過層と前記吸収透過層の上、下部面を覆うボロメータ層が存在するサンドウィッチ構造の上部層と、前記ピクセルのエッジに位置し前記上部層を支持するとともに電極としての機能を果たすアンカーを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

赤外撮像カメラは、外部の場面からの赤外エネルギを収集するための集束光学系と、赤外エネルギを検出するように配置された非冷却非遮蔽検出器とを含む。カメラの温度応答の近似とともに内部温度を感知することにより、検出器で受けた赤外エネルギがカメラの視野内の対象のための温度測定として使用することを可能にする時間変動較正を与える。 （もっと読む）

本発明の赤外線検出装置は、支持フレーム（３２；１３０）に固定された共振器要素（３６；７２；９６；１２０）を有する。支持フレーム（３２；１３０）は、装置が受ける赤外線を吸収するよう構成される。共振器要素（３６；７２；９６；１２０）は、温度で変動する共振特性、例えば、共振周波数を有する。本発明の赤外線検出装置は、複数の検出要素（７０）を有し、各検出要素は、支持フレームに固定された共振器要素（７２）を有する。熱検出器を配列した装置も提供される。
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