【課題】バルキネスの点から見て改善した新規な検出デバイスを提供する。
【解決手段】
熱撮像マイクロ電子デバイスであって、
−支持体(200)と、
−前記支持体上に形成される電子コンポーネントを相互接続するための複数の金属レベル(M₁、…、M₅、M₆)と、
−前記支持体上に形成され、各々が放射エネルギーを吸収し、且つ前記吸収した放射エネルギーに応じて1つ以上の電気信号を供給できる膜(210)を含む熱検出器アレイ、及び前記膜からの電気信号を読み出す、前記支持体に集積される読み出し手段と、
を備え、
前記検出器の少なくとも数個は、前記膜に対向して形成される少なくとも1つの積分キャパシタ(C_I)を有する積分器を備えた読み出し手段を有し、
前記キャパシタは、前記複数の相互接続金属レベル(M₁、…、M₅、M₆)の所与の相互接続金属レベルにおいて作成される少なくとも1つの上側プレート(244)有することを特徴とする、熱撮像マイクロ電子デバイス。 （もっと読む）

【課題】信号の読み出し時のノイズを可及的に少なくすることを可能にする。
【解決手段】半導体基板上に形成され、入射赤外線を検出する赤外線検出画素１２_１１であって、赤外線検出画素は入射赤外線を吸収して熱に変換する赤外線吸収膜と、この赤外線吸収膜によって変換された熱を電気信号に変換する第１熱電変換素子１４と、を有する熱電変換部を備えている赤外線検出画素１２_１１と、第１熱電変換素子の一端が接続され赤外線検出画素からの電気信号を読み出すための信号線１８_１と、信号線から読み出された電気信号を増幅する増幅器３１_１と、第２熱電変換素子１４を有し、第２熱電変換素子の一端が信号線に接続されて第１熱電変換素子と直列に接続される参照画素１１_１と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 温度センサにおいて、測定対象物との密着度が不足した状態でも正確に測温可能であると共に、測定対象物に対する設置状態の変化も検知すること。
【解決手段】 測定対象物に取り付けられて該測定対象物の温度を測定する温度センサ１であって、測定対象物から放射される赤外線を受光して測定対象物の温度を検出する第１のセンサ素子２と、測定対象物に接触状態とされると共に測定対象物から放射される赤外線を遮光する熱伝導部３を介して測定対象物から伝わる熱から測定対象物の温度を検出する第２のセンサ素子４と、第１のセンサ素子２と第２のセンサ素子４とを収納すると共に測定対象物に取り付けられる筐体５と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】安価に製造することができる赤外線検出器及び当該赤外線検出器を組み込んだデバイス製造装置の提供。
【解決手段】赤外線を透過する窓材と、感熱抵抗体が梁によって基板から浮いた状態で支持されてなる赤外線検出素子と、前記赤外線検出素子を気密状態で封止可能な密封容器と、前記赤外線検出素子と外部回路とを接続するための端子と、前記密封容器の内外を繋ぐ、閉じられていない排気管と、を少なくとも備える赤外線検出器であって、前記赤外線検出器は、デバイス製造装置のチャンバ内の、試料を望む位置に配置され、前記試料から放射され、入射光学系により集光された赤外線を検出して当該試料の表面温度を測定するために使用され、前記チャンバが真空引きされる際に、前記排気管を介して前記密封容器内も真空引きされる。 （もっと読む）

【課題】信号の読み出し時のノイズを可及的に少なくすることのできる赤外線固体撮像素子を提供することを可能にする。
【解決手段】入射赤外線を検出する複数の赤外線検出画素がマトリクス状に配列された有感度画素領域と、複数の参照画素が設けられる参照画素領域と、を備えている。各赤外線検出画素は前記入射赤外線を吸収して熱に変換する赤外線吸収膜と、この赤外線吸収膜によって変換された熱を電気信号に変換する第１熱電変換素子と、を有する熱電変換部を有し、各参照画素は、第２熱電変換素子を有し、参照画素のそれぞれの一端が共通の参照電位線に接続され、赤外線検出画素からの信号線を介して読み出された信号電位と、参照電位線からの参照電位との差を増幅して出力する。 （もっと読む）

【課題】熱画像センサからの熱画像データに係るトレンドグラフをリアルタイムに表示する。
【解決手段】複数の画素で監視エリア内から放射された赤外線量を検知し、この検知した赤外線量を熱画像データとして出力する熱画像センサ１０と、熱画像データに基づき設定された監視エリア内における検知エリアの範囲情報を示すエリア範囲情報と、当該検知エリア内の温度変化をグラフ描画する際に用いる設定情報の選択に関する表示設定情報と、選択された設定情報で演算した検知エリア内における温度変化の演算値を示す演算値情報とに基づき、熱画像センサから逐次入力する熱画像データのトレンドグラフ表示するトレンドグラフ表示装置２０とで構成される。 （もっと読む）

【課題】赤外線吸収層の赤外線吸収率を増加させて、熱型赤外線センサの検出感度を向上させる。
【解決手段】本発明による熱型赤外線センサは、赤外線受光部１１と、回路基板１上の空洞部を介して保持され、入射する赤外線を熱変換して得た熱を赤外線受光部１１に伝達する赤外線吸収膜とを具備する。赤外吸収膜における赤外線入射面と、入射面の裏面である空洞部側の透過面とに、赤外線吸収膜の膜厚より大きく、膜厚の１０倍以下の幅の凸部又は凹部が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 温度センサにおいて、回路基板上の電子部品から離間して実装されても高精度に該電子部品の温度測定が可能にすること。
【解決手段】 回路基板上の電子部品から離間して回路基板上に実装され電子部品の温度を測定する温度センサ１であって、チップ状の基体３と、該基体３の表面にサーミスタ薄膜４で別々に形成された基準部５及び検出部６と、基体３に形成され基準部５及び検出部６にそれぞれ接続された複数の電極９と、を備え、基準部５が、遮光膜７で覆われ、検出部６が、回路基板上に実装された状態で電子部品から放射される赤外線を透明部材８を介して検出可能とされている。 （もっと読む）

【課題】作業対象物のどの部品が異常な温度であるかを表示することで、肉眼だけではわかりにくい異常部品を知らせる作業支援装置を提供することである。
【解決手段】ヘッドマウントディスプレイを用いた作業支援装置７であって、可視光線を撮像する可視光線撮像部４と、赤外線を撮像する赤外線撮像部５と、異常を報知する報知部１と、赤外線撮像部で取得した赤外線像から温度分布画像を生成する温度分布画像生成部６１と、可視光線撮像部で取得した可視光線像から部品を検出する部品検出部６２と、各部品の適正温度を記憶する適正温度データベース６２と、温度分布画像と可視光線像から検出された部品と各部品の適正温度とに基づき温度が異常である部品を検知する温度異常検知部６４と、温度が異常である部品を検知した結果から報知する情報を生成する報知情報生成部６５とを備えた構成とする。 （もっと読む）

【課題】スタンドアロンの状態で所望の熱画像データのみを取得するとともに、センサ本体に熱画像データを保存する熱画像センサを提供する。
【解決手段】監視エリア内の赤外線量を赤外線検知部１１で検知し、この検知した赤外線量に基づく赤外線検知情報と記憶部１３に記憶される異常識別用閾値とを比較して監視エリア内において異常が発生したか否かを判別し、異常が発生したと判別すると、このときの赤外線検知情報と画像処理情報とに基づき作成された熱画像データを記憶部１３の熱画像データ保存領域１３ａに保存する。 （もっと読む）

【課題】 建築物等の被覆層の欠陥の検出を簡単、正確、且つ効率的に得られる方法の開発が望まれていて、特に空港の滑走路、誘導路等の欠陥の検出が空港管理上と旅客運搬の安全のために望まれている。
【解決手段】 被覆層表面を赤外画像撮影装置で撮影する際に、覆装体を用いて前記被覆層表面上方の少なくとも一部を覆う被覆異常検出方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】容易に実施でき、かつ費用のかからない産業化可能な製造方法を用いて、良好な感度を有し、信号対雑音比の点で最適化された機能的なボロメータ検出器を実現する。
【解決手段】固着点によって基板に固定された断熱アームを用いて基板の上方に浮かされた膜（１）を装備したボロメータ検出器を製造するため設計された方法である。膜（１）は、少なくとも半導体性酸化鉄を含む塩基を備えた熱に敏感な薄層（９）を有する。この方法は、半導体性酸化鉄の薄層（９）の一部の鉄原子の酸化の程度を変更するために半導体性酸化鉄の薄層（９）の局所還元及び／又は酸化の工程を少なくとも含む。 （もっと読む）

方法は、１つ以上の検出器に関連する平均電流に基づき信号電流を決定する段階を含む。該方法は、前記信号電流に基づきストリップ電圧を決定する段階も含む。該方法は、さらに、前記ストリップ電圧でストリップ抵抗をバイアスする段階を含む。前記ストリップ抵抗のバイアスによりストリップ電流が生じる。該方法は、付加的に、検出器電圧で検出器アレイをバイアスする段階を含む。前記検出器アレイのバイアスにより検出器電流が生じる。該方法は、前記ストリップ電流と検出器電流とに基づき、シーンから入射する放射のレベルを決定する段階も含む。
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【課題】簡便な構成を用いて、検出精度を充分に確保でき、部品点数を削減でき、製造工程を簡便にすることができる赤外線センサを提供する。
【解決手段】赤外線を透過する材料からなる第１基板１と、信号処理回路を有し前記第１基板１に対向配置される第２基板２と、を備え、前記第１基板１は、前記第２基板２側を向く表面に形成された凹部１１と、前記凹部１１の底面から離間して配設された感熱膜１２と、前記感熱膜１２の外周に複数形成されるとともに該感熱膜１２の面方向に沿って延び、前記感熱膜１２と前記凹部１１の開口縁とを連結する梁部１３と、を備え、前記第２基板２は、前記第１基板１側を向く表面に形成されるとともに前記感熱膜１２に対向配置される反射膜２１を備え、前記第１基板１と前記第２基板２との間には、前記感熱膜１２と前記反射膜２１との間の距離Ｄを検出対象の波長λに対してλ／４に設定するスペーサ３が配置されている。 （もっと読む）

【課題】製造コストを削減するとともに、検出精度を充分に確保できる赤外線センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板１の表面に形成された凹部２と、前記凹部２の底面に形成された反射膜３と、前記反射膜３の前記底面側とは反対側に、該反射膜３から離間して配設された感熱膜４と、前記感熱膜４の外周に複数形成されるとともに該感熱膜４の面方向に沿って延び、前記感熱膜４と前記凹部２の開口縁とを連結する梁部５と、を備え、前記感熱膜４と前記反射膜３との間の距離Ｄが、検出対象の波長λに対してλ／４に設定されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】赤外線センサチップに発生する熱応力や残留応力を小さくし、赤外線センサチップが割れてしまったり、その測定能力等に悪影響が現れたりするのを防ぐとともに、赤外線センサチップの周囲を容易に真空に維持することができ、測定精度や感度を所望のものに無理なくすることができる熱型赤外線センサを提供する。
【解決手段】赤外線を検知する赤外線センサチップ１の周囲を真空にした熱型赤外線センサ１００であって、複数のリードピンＰが設けられた平板状のステム２と、前記ステム２の面板部に接合され、前記赤外線センサチップ１と前記リードピンＰとを電気的に接続するための中継配線３１が設けられた回路基板３と、を備えており、前記赤外線センサチップ１は平板状のものであり、前記回路基板３に接合されており、前記回路基板３の熱膨張率は、前記回路基板３の熱膨張率と前記赤外線センサチップ１の熱膨張率の差の絶対値が、前記ステム２の熱膨張率と前記赤外線センサチップ１の熱膨張率の差の絶対値よりも小さくなるような値にした。 （もっと読む）

【課題】自体の温度変動に起因する赤外線センサ特有の温度精度劣化を低減することで、温度検知精度を向上させ、炊飯性能を向上した炊飯器を提供することを目的とする。
【解決手段】炊飯器本体２に装備した鍋３を加熱する加熱手段６と、前記炊飯器本体を覆う蓋４と、前記鍋３から放射される赤外線を検知する赤外線センサ１０と、前記赤外線センサ１０により検知した前記鍋の温度情報に応じて前記加熱手段６の加熱量を制御する制御手段と、前記赤外線センサの周囲温度を調節する温度調節手段１２とを具備し、この温度調節装置によって所定温度に温度調節することで、センサ自体の温度変動を抑えて、過渡的、定常的な温度変化による赤外線センサの温度精度劣化を低減した。 （もっと読む）

放射電磁エネルギーを検出するための光検出器が、光子トラップ（205, 305, 405, 605）内において少なくとも部分的に配置された少なくとも１つのボロメータナノワイヤ（100）を備える。該少なくとも１つのナノワイヤ（100）は、少なくともある黒く染められた表面（110）を有する。該黒く染められた表面は、遠赤外線光から可視光までの範囲に及ぶ放射電磁エネルギーを吸収するよう構成されている。
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本発明は、各基本検出微小部位が、関心対象の放射を感知する隔膜（２）を備えた微小検出器を含み、各基本検出微小部位が、基板（１）と、該放射を透過させる窓として使用される上部壁（５）と、側壁（４）とによって形成されるマイクロキャビティまたはマイクロカプセル内に設けられる複数の基本検出微小部位からなる電磁放射検出器であって、隔膜（２）が、導電層（１７）を含む少なくとも２つの支持アーム（６）によって基板（１）の上方に懸垂され、アーム（６）の端部が、側壁（４）内に固定される電磁放射検出器に関する。
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【課題】抵抗型イメージングボロメータ１４０を具備した赤外線放射検出用デバイスを提供する。
【解決手段】本発明によれば、このデバイスは、ボロメータ１４０の電気抵抗の基準値に対するボロメータ１４０の電気抵抗のドリフトを測定する測定手段１６，３８；１６，２４，３８；１６，１４０；１６，２４と、ドリフトの影響を補正する補正手段３４又は抵抗のドリフトを補正する補正手段とを具備する。ボロメータ１４０の電気抵抗の基準値は、ボロメータ１４０の所定の動作条件に対応する。 （もっと読む）