【課題】測定可能な膜厚の上限値を容易に変更することができる光干渉システム、基板処理装置及び計測方法を提供する。
【解決手段】光干渉システム１は、光源１０、コリメータ１２、単一の受光素子４１、チューナブルフィルタ４０及び演算装置１５を備える。コリメータ１２は、光源１０からの測定光を測定対象物の第１主面へ出射するとともに、第１主面及び第２主面からの反射光を入射する。単一の受光素子４１は、コリメータ１２からの光の強度を取得する。チューナブルフィルタ４０は、受光素子４１に入射される光の波長を掃引する。演算装置１５は、チューナブルフィルタ４０及び受光素子４１を用いて、波長に依存した強度分布であって第１主面及び第２主面からの反射光の強度分布である干渉強度分布を測定し、干渉強度分布をフーリエ変換して得られる波形に基づいて測定対象物の厚さ又は温度を計測する。 （もっと読む）

【課題】周囲温度の変動に対して、ロバストな赤外線センサとすることができ、精度よく温度検知を行うことができ、使い勝手がよいこと。
【解決手段】加熱コイル３の下方に配置され、トッププレート２に載置された調理容器１から放射されトッププレート２を透過した赤外線を検出する赤外線センサ４は、受光した赤外線を電流に変換し、第１の所定値以上の波長をカットする樹脂４ｃによりモールドされた受光素子４ａと、受光素子４ａが出力する電流を電圧に変換するＩＶ変換回路からなるものである。 （もっと読む）

【課題】実装形態や実装ばらつき等の要因で変化する赤外線センサの出力特性のばらつきや環境温度の測定誤差に起因する測定温度の誤差を低減して高精度に測定温度を定量すること。
【解決手段】測定対象物１０から放射される赤外線を検出する赤外線センサ部２と、この赤外線センサ部２の環境温度を測定する環境温度測定部３とを有する赤外線センサ装置１における赤外線センサ部２から得られる電気信号に基づく赤外線センサ信号の環境温度に対する変化を補正して測定温度を定量する。環境温度測定部３から得られる環境温度に、この環境温度のオフセット補正量を加算又は減算して補正環境温度を得る環境温度オフセット補正工程と、この補正環境温度に基づいて前記赤外線センサ信号を補正する信号補正工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】小型薄型でかつ簡便な素子形状を有し、外部からの熱放射（輻射）や感熱素子自体からの熱放射等の温度外乱やセンサ素子の設置場所に温度分布があったとしても、安定して被測定物の温度を検知することができるようにした赤外線センサを提供すること。
【解決手段】赤外線を受光する受光面を有し、受光した赤外線を検出して電気信号として出力するセンサ素子と、前記センサ素子からの出力を外部装置へ出力するための接続端子と、前記センサ素子と前記接続端子とを電気的に接続する接続配線と、前記受光面を開口した状態で該センサ素子を前記接続端子と前記接続配線とともに封止する封止部材とを具えた赤外線センサであって、前記封止部材は、前記センサ素子を保持する保持部と、前記受光面の周囲を取り囲んで前記保持部から延びるように形成することにより前記受光面の赤外線に対する視野範囲を制限する視野角制限部とを有し、前記受光面の外縁部が、前記視野角制限部に覆われていることを特徴とする赤外線センサ。 （もっと読む）

【課題】レーザプロセスにおいて被処理体の表面温度を的確に測定する。
【解決手段】レーザ光照射により加熱された被処理体表面から発生する放射光を検出する放射光検出部と、放射光を被処理体表面から放射光検出部に導く放射光光学系と、レーザ光で加熱された被処理体に照射する参照光を出力する参照光光源と、参照光を参照光光源から被処理体に導く参照光光学系と、参照光が被処理体で反射した反射光を検出する反射光検出部と、反射光を被処理体から反射光検出部に導く反射光光学系と、放射光検出部と反射光検出部の検出結果を受け、反射光の強度の時間的変化によって被処理体表面が溶融した時点を判定し、溶融時点において放射光を発生する被処理体表面の温度を被処理体の融点に設定し、融点を絶対値基準温度として放射光の強度を温度情報に変換して、加熱された被処理体表面の温度を判定する。 （もっと読む）

【課題】高精度の温度測定が可能な蛍光温度計を提供する。
【解決手段】本発明の温度計測方法は、蛍光体を励起する励起ステップと、励起された蛍光体から発せられる蛍光を検出する蛍光検出ステップと、蛍光検出ステップで検出された蛍光の強度−時間信号を、時間領域信号から周波数領域信号に変換する信号変換ステップと、周波数領域信号における所定の周波数成分の変化量に基づいて被検物の温度を算出する温度算出ステップと、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】熱間圧延設備のラインにおいて、特定点に基づく信頼性の高い温度情報を基礎とした品質管理を承継しつつも、鋼板の幅方向に管理範囲を拡大する。
【解決手段】第一の測定素子を有するとともに温度管理の基礎として参照される温度情報を搬送される鋼板上の特定点において測定する参照用のスポット型放射温度計５と、第一の測定素子とは異なる第二の測定素子を有するとともに搬送される鋼板の全幅に亘って管理温度情報を測定する走査型放射温度計７と、第二の測定素子と同一の測定素子を有するとともに前記特定点の温度情報を測定する補正用の放射温度計６とを用い、参照用のスポット型放射温度計５と補正用の放射温度計６との温度情報から測定温度差を求め、この測定温度差に基づいて走査型放射温度計７の管理温度情報を補正する。 （もっと読む）

【課題】等色関数に近似した分光感度を持つ測色手段によって色度図座標を介さずに、最近接の黒体放射色温度に基づく色温度及び黒体放射軌跡からの乖離量を検出可能な色温度成分分析装置を提供する。
【解決手段】光を測定して色温度情報を出力する色温度成分分析装置を、等色関数と近似した少なくとも３色の分光感度を有し光量に応じた測光信号を出力する測色手段と、測色手段が出力する測光信号を用いてプランク黒体放射式に基づいた黒体放射エネルギ２色比色温度値を色の組み合わせを異ならせて複数求める２色比色温度出力手段と、２色比色温度出力手段が異なった色の組み合わせに基づいてそれぞれ算出した複数の黒体放射エネルギ２色比色温度値の平均値である平均黒体放射色温度値を色温度情報として出力する色温度情報出力手段と、２色比色温度出力手段が求めた黒体放射エネルギ２色比色温度値と平均黒体放射色温度値との差分である黒体放射分布からの乖離量を出力する乖離量情報出力手段とを備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】赤外線センサ装置の出力の個体差ばらつきを簡易に補正し、赤外線エネルギー量から測定温度を簡易かつ高精度に定量することが可能な赤外線センサ信号の補正方法及び温度測定方法並びに温度測定装置を提供すること。
【解決手段】赤外線センサ装置から得られる赤外線センサ信号に赤外線センサ装置固有の補正係数Ａを乗算する第１補正工程を有し、補正係数Ａは、赤外線センサ装置を用いて所定のセンサ温度Ｔ_AMBXにおいて所定の温度Ｔ_OBJXの対象物を測定したときに得られる信号Ｓ_IRXを所定の値にするための係数である。 （もっと読む）

【課題】赤外線センサ信号の環境温度に対する変化を補正して、高精度に測定温度を定量することが可能な赤外線センサ信号の補正方法及び温度測定方法並びに温度測定装置を提供すること。
【解決手段】赤外線センサ装置から得られる赤外線センサ信号に、環境温度Ｔ_AMBに基づいたオフセット補正量を加算又は減算する第１補正工程を有し、オフセット補正量がＴ_AMBの３次及び／又は２次の項を含む関数で表される。また、第１補正工程の後に、環境温度Ｔ_AMBに基づいた補正係数Ｂを乗算する第２補正工程を有する。 （もっと読む）

【課題】波長可変レーザを用いてガスタービン内の高温ガス温度を測定すること。
【解決手段】ガスタービン（１０）に装着された燃焼ガス測定装置であって、該測定装置が、ガスタービン（１０）内の燃焼ガス通路（３０）を通過するレーザビームを放出（１１０）する波長可変ダイオードレーザ（２２）と、１３３４ナノメートル（ｎｍ）の波長の第１のレーザビームと、１３８０ｎｍ又は１３９１ｎｍの波長の第２のレーザビームとを放出するよう波長調整（１００、１０２）される波長可変ダイオードレーザ用のコントローラ（２０）と、燃焼ガス（３０）を通過する放射線ビームの各々を検知（１００）し、波長の各々において燃焼ガスによるビームの吸収を示す吸収信号（１１２）を生成するレーザセンサ（２２）と、を備え、コントローラ（２０）が、非一時的な記憶媒体上に格納され、第１のレーザビーム及び第２のレーザビームの吸収信号の比に基づいて燃焼ガス温度を決定（１１４）するプログラムを実行する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、被処理体の温度を高精度に測定することができる温度測定方法、温度測定装置、熱処理装置及び熱処理方法を提供する。
【解決手段】 本発明の温度測定方法は、被測定体から放射される熱放射光から、所定領域の波長を有する当該熱放射光を選択する工程と、かかる選択工程において選択された所定領域の波長を有する熱放射光を用いて温度を算出する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】スチールワイヤ焼鈍時の低温領域においても正確に温度を測定して、よってスチールワイヤの接合部を適切に温度調節することができるスチールワイヤの焼鈍方法を提供する。
【解決手段】スチールワイヤＷ１、Ｗ２の接合部ｂを焼鈍する方法であって、スチールワイヤＷ１、Ｗ２の接合部ｂの温度を測定しつつ加熱する。この接合部ｂから放射される光エネルギーをこの接合部に向けて設けた受光素子、例えばフォトダイオード６で受光し、このフォトダイオード６から出力した信号を対数変換し、この対数変換された信号に基づいて決定した温度によりスチールワイヤＷ１、Ｗ２の接合部ｂの加熱温度を調節する。 （もっと読む）

【課題】赤外線強度検出手段の耐久性を低下させるおそれが少ない状態で、赤外線強度検出手段にて検出対象となる赤外線を精度よく検出して、被加熱物の材質の違いにかかわらず被加熱物の温度を精度よく検出することが可能となる加熱調理器を提供する。
【解決手段】被加熱物Ｎに接当して温度検知用被加熱体１５が設けられ、赤外線強度検出手段１３が赤外線の強度を検出するように設けられ、演算手段が、赤外線強度検出手段１３にて検出される赤外線強度から被加熱物Ｎの温度を演算するように構成されており、温度検知用被加熱体１５と赤外線強度検出手段１３とを支持する支持部材１６が設けられ、支持部材１６が内筒部材１９と外筒部材２０とを備え、内筒部材１９の内部に赤外線強度検出手段１３を備え、内筒部材１９の上端部と温度検知用被加熱体１５との間に通風用の開放部Ｓ３を形成している。 （もっと読む）

【課題】赤外線強度検出手段の耐久性を低下させるおそれが少ない状態で、赤外線強度検出手段にて検出対象となる赤外線を精度よく検出して、被加熱物の材質の違いにかかわらず被加熱物の温度を精度よく検出することが可能となる加熱調理器を提供する。
【解決手段】被加熱物Ｎに接当される温度検知用被加熱体１５が設けられ、赤外線強度検出手段１３が、温度検知用被加熱体１５から放射される赤外線の強度を検出するように設けられ、演算手段が、赤外線強度検出手段１３にて検出される赤外線強度から被加熱物Ｎの温度を演算するように構成されており、温度検知用被加熱体１５と赤外線強度検出手段１３とを支持する支持部材１６が筒状部１８を備え、筒状部１８の内部に赤外線強度検出手段１３を橋架して備えて、冷却風を筒状部１８の内部を通して通風させる通風式の冷却手段２６が設けられている。 （もっと読む）

【課題】測定物の温度測定と同時に、測定物の所望の面の状態を分析することができる表面分析装置を実現すること。
【解決手段】表面分析装置は、スーパーコンティニューム光を放射する光源１０と、ＳＣ光を測定光と参照光とに分割する光ファイバカプラ１１と、ミラー１２と、ミラー１２を移動させる駆動装置１３と、測定光と参照光との干渉波形を測定する受光手段１４と、干渉波形から測定物の温度および表面状態を分析する干渉波形解析手段１５と、によって構成されている。干渉波形解析手段１５は、干渉波形の干渉ピーク位置の温度変化から温度を測定する手段と、干渉波形から測定物の所望の面に対応する干渉ピークを切り出し、その切り出した波形をフーリエ変換したスペクトル図を求めることで、測定物の膜質、表面状態などを測定する。 （もっと読む）

体組織を特性化する方法であって、この方法は、ａ）超音波を身体の組織内に透過させて、体組織を３℃未満だけ加熱するステップと、ｂ）超音波透過中、超音波透過後、または両方で、１つ以上の位置で１回以上、組織の温度を測定するステップと、ｃ）温度測定を利用して、超音波の吸収の差異、超音波透過後の組織の冷却速度の差異、または両方に基づいて体組織の少なくとも１つの特性を決定するステップとを含む。 （もっと読む）

本発明は、制御すべき領域を画定する壁（８）の開口（２）内に取り付けられるように構成された温度制御装置（１）において、開口（２）内に適合するように構成された１つのフレーム（４）であって、上記開口上に取り付けられための手段と、開口（２）において壁が密閉されることを保証する密閉手段とを有するフレーム（４）と、１つのフレーム（４）内に収容されるとともに、赤外線を受信し、且つ該赤外線を電気信号に変換するように構成されたヒートセンサ（５）と、フレーム内に収容され、監視すべき領域からヒートセンサ（５）に向けて送られる赤外線をフォーカスするために、フレームに強固に連結される光学システム（６）とを備える、温度制御装置（１）に関する。また、本発明は、開口と、チャンバに設置される少なくとも１つの上記のような温度制御装置とを備える、チャンバに関する。さらに、本発明は、上記のような温度制御装置を、監視すべき領域を画定する壁の開口内に取り付けるための方法に関する。 （もっと読む）

【課題】改良型の多波長温度計を提供する。
【解決手段】熱測定システム（１０）は、光収集デバイス（２２）と、光収集デバイス（２２）と通信する検出システム（４０、１４０、２４０、３４０）とを含む。検出システム（４０、１４０、２４０、３４０）は、気体（８０）からの光（９４）強度を検出するように構成されている。本発明は、特定の実施形態の観点から記載されており、明示的に述べられているものを除き、均等形態、代替形態、及び変更形態が可能でありかつ添付の特許請求の範囲の範囲内にあることが確認されている。 （もっと読む）

【課題】温度補正を精度よく高速に行える小型の赤外線センサを提供する。
【解決手段】本発明に係る赤外線センサは、温度センサ素子と、外部からの赤外線を受光する量子型の赤外線センサ素子と、前記赤外線センサ素子と前記温度センサ素子とを包み込む樹脂パッケージと、赤外線を前記赤外線センサ素子の受光面に導くように前記樹脂パッケージに設けられた開口部分とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）