【課題】燃焼タービンエンジンの燃焼器において材料欠陥を検出する方法、システム及び装置を提供する。
【解決手段】燃焼タービンエンジンの運転中に該燃焼タービンエンジンの燃焼システムの燃焼ダクト１４８における欠陥１７３を検出するシステムであって、燃焼ダクト１４８は、燃焼ガスに曝される高温側と、該高温側の反対側にある低温側とを有する。一実施形態では、システムは、燃焼ダクト１４８の低温側に向けられ、燃焼ダクト１４８の低温側に対する可視的変化を検出するよう構成された光検出器１６５を備える。 （もっと読む）

【課題】電極が本来意図していない方向に湾曲することに起因して、感度がばらつくのを抑制することが可能なセンサ装置を提供する。
【解決手段】このサーモセンサ１００（センサ装置）は、熱膨張率の異なる複数の層を有し、一方端側が絶縁膜２３に支持されているカンチレバー電極２４と、カンチレバー電極２４に対向するように配置される下部電極２２とを含み、カンチレバー電極２４から延びる方向であるＸ方向と交差するＹ方向を軸にして、カンチレバー電極２４が下部電極２２と離間する方向に湾曲することによって熱を測定することにより電子を供給する電荷供給部２８を備え、カンチレバー電極２４の表面上には、カンチレバー電極２４がＹ方向とは異なる方向を軸にして湾曲するのを抑制するための湾曲抑制部材２７が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 従来の振動型赤外線センサは、梁の長さ方向に対して垂直に変位する振動を利用していたために共振周波数やＱ値の変化は必ずしも大きくなかった。従って、センサの高感度化が難しい課題があった。
【解決手段】 本発明は、ねじり振動を赤外線センサに新しく導入し、赤外線吸収による温度上昇が生み出す振動子の変形が、共振周波数などを変化させる力学系を利用することによって、ねじり振動を利用することを特徴とする赤外線センサを実現したものである。 （もっと読む）

【課題】電源を接続せず、非接触の状態で、周期的にかつ自己補対的に配置された導電膜間の接触の有無を検知すること、また、小型で簡便な構成で安定して化学物質の検量するセンサ、あるいは、応力、温度などを検出するセンサを得ることは、困難であった。
【解決手段】 表面に互いに近接または接触した複数の導電膜を前記導電膜のない領域と前記導電膜がある領域とが同面積になるように周期的に形成した絶縁性の基板に、導電膜の設置周期に近い波長を有する光を照射し、その光の透過量または反射量を測定することにより、非接触で導電膜間の接触の有無を検知する。 （もっと読む）

【課題】バイメタル長に相当する変位部の長さを長くすることを可能にして、変位部の感度を高める。
【解決手段】変位部をなす周回部４は、スパイラル状をなす。また、周回部４は、基板１の面と平行な仮想軸Ｊの回りに１つの周回方向に１周より多く周回する。周回部４は、薄膜で構成され順次機械的に接続された４つの円弧状部４−１〜４−４を含む。各円弧状部４−１〜４−４は、外周側のＳｉＮ膜及びこれに積層された内周側のＡｌ膜で構成される。 （もっと読む）

【課題】変位部に固定した部材が変位するときに、前記部材の傾きの変化を低減する。
【解決手段】基板１に支持された被支持部２は、基板１側から可動電極部７にかけて順次接続された、第１の変位部４の個別変位部４−１，４−２、熱分離部５、第２の変位部６の個別変位部６−１，６−２を有する。個別変位部４−１，６−２は、基板１とは反対側に湾曲し、下側のＳｉＮ膜と上側のＡｌ膜との２重膜からなる。個別変位部４−２，６−１は、基板１側に湾曲し、下側のＡｌ膜と上側のＳｉＮ膜との２重膜からなる。入射赤外線量が変化しても、可動電極部７は常に基板１と平行のままである。 （もっと読む）