【課題】測定可能な膜厚の上限値を容易に変更することができる光干渉システム、基板処理装置及び計測方法を提供する。
【解決手段】光干渉システム１は、光源１０、コリメータ１２、単一の受光素子４１、チューナブルフィルタ４０及び演算装置１５を備える。コリメータ１２は、光源１０からの測定光を測定対象物の第１主面へ出射するとともに、第１主面及び第２主面からの反射光を入射する。単一の受光素子４１は、コリメータ１２からの光の強度を取得する。チューナブルフィルタ４０は、受光素子４１に入射される光の波長を掃引する。演算装置１５は、チューナブルフィルタ４０及び受光素子４１を用いて、波長に依存した強度分布であって第１主面及び第２主面からの反射光の強度分布である干渉強度分布を測定し、干渉強度分布をフーリエ変換して得られる波形に基づいて測定対象物の厚さ又は温度を計測する。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能で、光のエネルギー強度により対象を識別する対象識別装置を提供する。
【解決手段】同一の半導体基板２１にそれぞれ形成され、対象から放射される複数の波長の光をそれぞれ検出する複数の検出部２を有する検出器１と、複数の波長における各エネルギー強度を記憶する記憶部５と、複数の検出部２によりそれぞれ検出された光のエネルギー強度と、記憶部５に記憶されたエネルギー強度とを比較することにより、対象を識別する処理部４とを備えることを特徴とする対象識別装置。 （もっと読む）

【課題】赤外線熱影像アレーモジュールの検証装置と検証方法の提供。
【解決手段】主に本発明の赤外線熱影像アレーモジュールの検証装置と検証方法は、熱影像モジュール規格設計、エピタキシャルと光学物性検証を含み、先ずエピタキシャルパラメーターの校正を行う。単乙型感知部品製造工程と変温光電量測定検証を行い、これによりエピタキシャルは感知部品の低温変温と変圧測定校正を完成する。焦平面アレー製造工程とその光電均一度の検証を行い、暗電流均一度テストを行う。焦平面アレーと信号読み出し集積回路の接着と研磨製造工程検証を行い、感知モジュールと信号読み出し集積回路間にインジウム接着を行い光電信号を転換する。熱影像品質統合テスト検証を行い、最適駆動と制御出力パラメーター分析と測定を調整する。熱影像アレーモジュール雛形を継続して行い、インジウム柱接合方式を利用し、焦平面感知アレーと接合し、影像感知アレーモジュール雛形を完成することができる。 （もっと読む）

【課題】トッププレート上の鍋の材質，底の状態の影響を受けることなく鍋温度を非接触で高精度かつ安定に応答性良く検出する。
【解決手段】鍋を戴置するトッププレートと、その下にある加熱コイルと、加熱コイルを固定する部材に設け、鍋からの赤外線を導光する導光筒と、その赤外線を検出する赤外線検出手段と、同導光筒を通しトッププレートに概垂直な赤外線平行光線束を投光する赤外線投光手段と、赤外線投光手段が投光し、鍋で反射される赤外線光線を受光する受光手段とを備え、受光手段の出力で赤外線検出手段の出力を補正して鍋温度を検出する鍋温度検出手段を持つ誘導加熱調理器。 （もっと読む）

【課題】周囲温度の変動に対して、ロバストな赤外線センサとすることができ、精度よく温度検知を行うことができ、使い勝手がよいこと。
【解決手段】加熱コイル３の下方に配置され、トッププレート２に載置された調理容器１から放射されトッププレート２を透過した赤外線を検出する赤外線センサ４は、受光した赤外線を電流に変換し、第１の所定値以上の波長をカットする樹脂４ｃによりモールドされた受光素子４ａと、受光素子４ａが出力する電流を電圧に変換するＩＶ変換回路からなるものである。 （もっと読む）

【課題】２色測温法に於いて画像間の較正を省略できる様に、又簡単な装置で而も簡便に温度測定を可能とした。
【解決手段】撮像素子１０を有し、溶接部２３を撮像するカメラ１１と、異なる波長をそれぞれ透過する２つの光学フィルタ１９，２０，２１，２２を少なくとも１組備え、各光学フィルタが前記カメラの光軸１５を通過する様回転可能に支持されたフィルタテーブル１４と、該フィルタテーブルを回転させるモータ１７と、前記２つの光学フィルタを透して２波長で撮像した前記撮像素子からの２色の画像信号に基づき、２色測温法により画像中の任意の点についての温度を演算する制御演算部１３とを具備する。 （もっと読む）

【課題】視野角制限体を一体で配置した赤外線センサにおいて、視野角制限体の存在による測定誤差の発生を防止した赤外線センサを提供することにある。
【解決手段】所定の視野角以外からの光が入射しないように視野角制限を行う視野角制限部と、前記視野角制限部の上流側の開口部に設けられ、該開口部から入射する光のうち赤外線のみを下流側に透過する光学フィルタと、前記視野角制限部下流側に接続され、前記光学フィルタを透過した赤外線を光電変換して電気信号として出力する光電変換部を有する赤外線センサ素子とを備えた赤外線センサであって、前記赤外線センサは、前記赤外線センサ素子の温度を測定する温度センサを前記視野角制限部と前記赤外線センサ素子と熱的に一体構成にして樹脂封止していることを特徴とする赤外線センサである。 （もっと読む）

【課題】 赤外線撮像装置の適用しうる様々な画像補正方式、検知器の諸元に対応可能な共通の補正手段を赤外線撮像装置に備える。
【解決手段】 赤外線撮像装置の製品検査時に、赤外線撮像装置の適用する画像補正方式及び検知器の諸元に従い、画素毎の信号処理回路に入力する検知器からの撮像画像輝度値、及び信号処理回路から出力する撮像輝度値の組合せをルックアップテーブル値として求めてルックアップテーブルに格納する。赤外線撮像装置の運用時に、輝度変換部において、ルックアップテーブルに格納されたルックアップテーブル値を参照することで、赤外線撮像装置の適用する画像補正方式及び検知器の諸元に見合った輝度変換を行う。 （もっと読む）

【課題】加工コストの削減を図ることのできる赤外線センサモジュールを得る。
【解決手段】多角形状の光学素子５の外周側面５ｃに光学素子５の角部Ｃの上部隅部が露出するように封止材１３を塗布して当該光学素子５を導電性ケース６に接合した。そして、光学素子５の複数の角部Ｃのうち少なくとも１つの角部Ｃの露出部Ｍと導電性ケース６の天壁６１とに亘って導電性接着剤１５を塗布するようにした。 （もっと読む）

【課題】被験者の体温に影響されることなく被験者の放射する赤外線から血中のエチルアルコールを正確に検知して酒気帯びの判定精度を高める。
【解決手段】撮像制御部３８は、被験者１８の赤外線放射光からのエチルアルコールの吸収波長λ１を含む第１波長帯域の受光量Ｖｄ１、第１波長帯域の近傍のエチルアルコールによる吸収率の小さな波長λ２を含む第２波長帯域の受光量Ｖｄ２、第１波長帯域の近傍のエチルアルコールによる吸収率の小さな波長λ３を含む第３波長帯域の受光量Ｖｄ３の各々を検知し、エチルアルコール検出部４０は受光量Ｖｄ１、Ｖｄ２の差分ΔＶｄとしてエチルアルコール含有度を算出し、温度検知部４２は受光量Ｖｄ２、Ｖｄ３から被験者の温度を算出し、判定部はエチルアルコール含有度を検知温度により温度補正して酒気帯び状態であるか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】ガラス溶解炉の状態を監視する。
【解決手段】一連の制御パラメータに従ってガラス溶解炉を運転する。ガラス溶解炉にガラスバッチを供給し溶融ガラスに溶解する。ガラスバッチを溶解する間に、ガラスバッチの一部及び泡沫を含む表層が溶融ガラスの表面に形成される。ガラス溶解炉の内部の複数のサーモグラムを取得する。サーモグラムを分析することにより、表層に熱力学的不安定性が存在するか否かを判定する。次に、一連の制御パラメータを調整することにより、存在すると判定された表層の熱力学的不安定性を低減させる。 （もっと読む）

【課題】 検出手段からの出力値を適切に処理することにより、簡易にしかも迅速に被検体の温度情報を計測することができる温度情報計測方法を得ること。
【解決手段】 放射率が等しいか、又は互いの比が既知であり、かつ被検体から撮像装置内の検出手段に至る光路中までの透過率が等しいか、又は互いの比が既知の２つの波長λ１，λ２を選択する波長選択工程と、検出手段に入力する放射量と、検出手段からの出力値とから入出力特性値を求める入出力特性検出工程と、検出手段に入射される放射量に対する出力値との１次関数より、放射量が０のときの波長λ１と波長λ２について各々オフセット量Ｑcλ１，Ｑcλ２を求める算出工程と、オフセット値Ｑcλ１，Ｑcλ２と１次関数を用いて放射量Ｒλ１，Ｒλ２を求める計測工程と、放射量Ｒλ１，Ｒλ２の比を用いて該被検体の温度情報を求める温度情報計測工程とを利用して、被検体の温度情報を求めること。 （もっと読む）

【課題】赤外線を透過する透過部の表層に異物が付着しても、検知誤差の発生を防止して高精度に検知し得る温度検知装置を提供する。
【解決手段】本発明は、被検知体から放射される赤外線を透過部材５３を通して受光素子５４で受光し、当該被検知体の表面温度を検知する温度検知装置５０におけるものである。前記透過部材５３を、当該透過部材５３に付着する付着物と同じ屈折率の材料で構成した。 （もっと読む）

【課題】タービン構成部品の二次元強度マップを示す信号を出力する撮像システムの提供。
【解決手段】動力または推力を提供する作動流体４６と流体連通している複数の構成部品５２、５４、５８、６０、６２、６６、７０、７２を含むタービン１８と光学的に連通している撮像システム３６で、タービン１８の動作中に少なくとも１つの構成部品５２、５４、５８、６０、６２、６６、７０、７２の広波長域画像を受け取り、広波長域画像を複数の狭波長域画像に分割し、各狭波長域画像の二次元強度マップを示す信号を出力するように構成される。 （もっと読む）

【課題】調理物の温度を精度良く測定することが可能であると共に、安全に赤外線センサーが設けられた電気炊飯器を提供すること。
【解決手段】電気炊飯器Ｓにおいて、本体１と、該本体に着脱自在に収納される内鍋２と、該内鍋を加熱する加熱手段３と、該加熱手段を制御する制御手段１３と、内鍋の上部開口を開閉自在に覆う上蓋５と、該上蓋に設けられ内鍋内部の調理物の温度を検知する赤外線センサー部２０を有し、赤外線センサー部は、サーモパイルと、該サーモパイルの温度を検知するサーミスタと、サーモパイルとサーミスタを内部に配置するプローブ部を有し、プローブ部は、非導電性の材料からなる第１のプローブと、サーモパイルの温度を検知する視野を形成する第２のプローブから構成され、第２のプローブは、第１のプローブより熱伝導率の大きい材料で構成する。 （もっと読む）

【課題】光学系と、良好に熱を伝導するフレーム形式の支持体を用いて引っ張る形で固定した膜上に熱電対を備えたチップとを有し、この支持体が垂直又はほぼ垂直な壁を有する、筐体内の赤外線温度センサーに関する。小さいチップサイズで高い温度分解能、高い面利用率及び速い応答速度を有する、モノリシックシリコン微細加工技術によるサーモパイル式赤外線センサーを提示する。
【解決手段】センサー構造が、センサーセル毎の少数の長い熱電対から構成され、これらの熱電対が、吸収層５の上の温接点９を熱電対の冷接点８と互いに接続する接続ブリッジ６上に配置されていることと、膜３が、一つ以上の接続ブリッジ６によって吊るされていることと、膜３が、長い熱電対の両側に幅の狭いスリットを有し、これらのスリットが、中央の領域４と支持体２の両方から接続ブリッジ６を分離していることと、少なくとも中央の領域４が吸収層５によって覆われている。 （もっと読む）

【課題】接触式センサを省略し、赤外線センサの使用だけで被加熱物の温度および天板の温度を精度良く計測できる誘導加熱調理器を提供する。
【解決手段】誘導加熱調理器は、被加熱物１を支持するための天板２と、被加熱物１を誘導加熱するためのコイル３と、被加熱物１から放射されて天板２を透過した赤外線および、天板２自体から放射される赤外線を受光するための赤外線センサ４，５と、天板２と赤外線センサ４の間に設置され、第１波長域の赤外線を選択的に透過させる波長選択フィルタ４１と、天板２と赤外線センサ５の間に設置され、第１波長域とは異なる第２波長域の赤外線を選択的に透過させる波長選択フィルタ５１と、赤外線センサ４の出力と赤外線センサ５の出力との差分を出力する差分処理回路７と、赤外線センサ４または赤外線センサ５の出力に基づいて、被加熱物および天板のいずれか一方の温度を算出するとともに、差分処理回路７の出力に基づいて、被加熱物および天板の他方の温度を算出するための温度算出手段８とを備える。 （もっと読む）

【課題】改良型の多波長温度計を提供する。
【解決手段】熱測定システム（１０）は、光収集デバイス（２２）と、光収集デバイス（２２）と通信する検出システム（４０、１４０、２４０、３４０）とを含む。検出システム（４０、１４０、２４０、３４０）は、気体（８０）からの光（９４）強度を検出するように構成されている。本発明は、特定の実施形態の観点から記載されており、明示的に述べられているものを除き、均等形態、代替形態、及び変更形態が可能でありかつ添付の特許請求の範囲の範囲内にあることが確認されている。 （もっと読む）

【課題】ワークピースの熱処理のための方法およびシステムを提供する。
【解決手段】１つの方法は、ワークピースの第１の表面から熱的に放射される放射の現在の強度を測定することと、現在の強度および第１の表面の少なくとも１つの先の熱特性に応答して、第１の表面の現在の温度を識別することと、を含む。ワークピースは半導体ウェハを含み、第１および第２の表面はそれぞれウェハの装置および基板側を含む、ことが望ましい。装置側の現在の温度は、装置側が、例えばウェハの熱伝導時間より短い持続時間を有する照射フラッシュによって照射されている間に識別されることが望ましい。装置側温度は、先の装置側温度に応答して識別してもよく、先の装置側温度とは異なる基板側の先の温度およびウェハの温度履歴に応答して識別してもよい。 （もっと読む）