【課題】 ４００℃程度の低温域の鋼材表面温度であっても精度良く測定できる方法等を提供する。
【解決手段】 表面温度測定装置１００は、被測温鋼材Ｍに対向配置された放射温度計１を備え、被測温鋼材表面から放射された熱放射光を放射温度計で検出することにより、被測温鋼材の表面温度を測定する。表面温度測定装置は、被測温鋼材と放射温度計の検出素子との間に、１．００μｍ未満の波長の光と１．２０μｍよりも長い波長の光を遮断する光学フィルタを備える。好ましくは、被測温鋼材表面と放射温度計との間にパージ水を噴射するノズル２を備える。 （もっと読む）

歯の欠陥、脱灰、再石灰化および齲食からのレーザ誘導周波数領域赤外光熱放射測定信号と交流電流(ac)被変調ルミネセンス信号とを口内で同時に測定することができる高空間分解能動的診断機器が提供される。重点は、咬合面小窩および裂溝、平滑面、ならびに歯の間の隣接歯間領域上の、X線写真または目視検査によって通常は検出されない齲食病変および/または欠陥の検出、診断および進行中監視などの重要な問題に取り組むこの機器の能力にある。この機器はさらに、脱灰された歯の初期領域、および/または再石灰化された歯の領域、ならびに修復物の縁に沿った欠陥を検出することができる。局所点を検査するこの能力を、マルチアレイ赤外カメラを使用した標的歯の表面下の被変調画像化に拡張することができる。この機器の2つの構成が提示される。 （もっと読む）

連続鋳造機タンディッシュ（２）の場合のような、溶鋼（１）の連続的な温度測定用に開発されたシステムは、光学的プロセスを用いて連続鋳造機の速度を制御し、冷却ジャケット（３０）によって保護された光学赤外線センサ（８）で構成される。この２色センサ（８）は光ファイバ（９）および光学信号変換器（１０）に取付けられており、高い熱および光伝導率のセラミック管（１５）の内部に焦点が合わされており、これによりタンディッシュ（２）内の溶鋼（１）の正確な温度読取が可能となる。この実際的な装置により、現在使用されている方法の不都合な点が回避される。オペレータが高温に晒される時間が短縮され、メンテナンス中断時間が減少し、運転リスクが最小限に抑えられ、安全性が向上し迅速で簡易な取替えが可能になるため、スラブ品質が向上し、その結果コストを削減できる。
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【課題】従来に比べて小型で取り扱い易さに優れた温度測定装置を提供する。
【解決手段】温度測定装置１は、被測定対象物表面から放射される赤外線を受光して伝送する光ファイバと、互いに異なる分光感度特性を有し、赤外線を受光してそのエネルギー及び分光感度特性に応じた電気信号を生成する第１及び第２の光電変換素子１３，１４と、生成電気信号を基に被測定対象物の温度を算出する温度算出部と、吸熱電極２１ａと放熱電極２１ｂとを有するペルチェ素子２１と、各光電変換素子１３，１４及びペルチェ素子２１を収納，保持する収納容器３０とを備える。第１光電変換素子１３は、第２光電変換素子１４の上側に配設され、光ファイバにより伝送され収納容器３０の透過板３２を透過した赤外線を受光する。第２光電変換素子１４は、ペルチェ素子２１の吸熱電極２１ａ表面に配設され、第１光電変換素子１３を透過した赤外線を受光する。 （もっと読む）

高速ガス流３が、ランス１から浴４へ通され、遠隔の又は間隔を開けた観察地点９から前記ガス流を通して縦方向に溶融金属浴を観察するための前記ガス流３を通して遮るもののない観察通路を形成するように、火炎外被２によって凝集性に維持される、溶融金属浴４を光学的に分析するためのシステム。
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【課題】鍋の底面の温度を正確に測定し、調理性能に優れた加熱調理器を提供する。
【解決手段】鍋１１を加熱する加熱手段１３と、鍋１１の底面（以下「鍋底」という）から放射される赤外線強度を検知する赤外線センサ１４と、鍋底に対して投光する投光手段１５〜１７と、鍋底で反射した投光手段１５〜１７からの光の強度を検知する反射センサ１８〜２０と、反射センサ１８〜２０の出力から鍋底の反射率を換算し、さらにその反射率から放射率を換算する放射率換算手段２１と、この換算された放射率及び赤外線センサ１４の出力から鍋底の温度を算出する温度算出手段２２と、温度算出手段２２の出力に応じて加熱手段１３に供給する電力量を制御する制御手段２３とを備え、放射率換算手段２１は、鍋底の複数箇所の反射率から赤外線センサ１４の視野部の放射率を推定するもので、鍋底の温度を精度良く測定して、調理性能に優れた加熱調理器を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】基板処理チャンバ中の基板の温度を、正確に測定するための、プローブの較正装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るプローブ４０は、一方の端部が処理チャンバ中に挿入されている光導体４２を含む。光導体の他の端部は、二またの光ファイバ４６に結合されている。光源５４は、光ファイバの１つの支線に光学的に結合され、高温計５６は他の支線に光学的に結合されている。プローブを自己較正するために、安定した反射率の物体８０、たとえば金メッキされたウェハがチャンバ中に挿入され、光源が起動され、物体から反射した光の強度が高温計によって測定される。 （もっと読む）

【課題】多相流燃焼システム用の多重検出システムを提供する。
【解決手段】光を送る段階と、光を第１の波長（４０）に調整する段階と、第２の位置において光を受ける段階と、第１の周期の間に光を第１の波長（４０）から第２の波長（４２）まで変化させる段階と、第１の周期の間に第１の吸収線（３２）と第１の非吸収ベースライン信号（３４）とを測定する段階と、光を第３の波長（４４）に切り替える段階と、第２の周期にわたって光を第３の波長（４４）から第４の波長（４６）まで変化させる段階と、第２の周期の間に第２の吸収線（３６）と第２の非吸収ベースライン信号（３５）とを測定する段階とを含む。波長可変光源からの光は、第１の位置から送られ、第２の位置において受けられる、第１の位置と第２の位置との間で、エミッション生成物を通過する。第１の波長はエミッション生成物の第１の吸収線に対応し、第３の波長は第１及び第２の波長とは異なる。 （もっと読む）

【課題】容易に溶接部の温度を検出する温度計の良否を判定し、また容易に温度計の視野位置を確認できる放射温度計の光軸位置決め装置および方法を提供することにある。
【解決手段】放射温度計の視野面積よりも小さい発熱面積を有する発熱体２０と、発熱体２０を所定の位置に移動させ、かつその位置を計測できる発熱体移動機構部２１とを備え、放射温度計による発熱体２０の温度計測と、発熱体移動機構部２１による発熱体２０の位置計測により、前記放射温度計の光軸を定量的に確認およびまたは調整する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、複雑なハード構成を必要とせず、非接触により高精度で温度を計測できる温度計測方法及装置及びそのような温度計測方法を用いた半導体熱処理装置を提供することを課題とする。
【解決手段】半導体ウェハ３の温度を非接触で計測するため、半導体ウェハ３からの放射光を測定し、放射光の測定結果に基づいて実効放射率を未知変数として推定しながら半導体ウェハ３の温度を演算する。実行放射率の推定及び温度の演算は、拡張カルマンフィルタを用いて行う。 （もっと読む）

【課題】 パイロメータを正確に校正する。
【解決手段】 本発明の熱処理チャンバのための温度プローブの校正のための装置は、強度が安定した光源を有し、この光源がファイバ光ガイドの第１の端部に光学的に結合して校正中はファイバ光ガイドの第２の端部を通して光を発することを特徴とする。ファイバ光ガイドを温度プローブの入力端に調心するために、調心機構が用いられる。この調心機構は第１の調心構造体を有し、これはチャンバ内の対応する第１の調心部に係合する。 （もっと読む）

【課題】 被測温鋼材表面と放射温度計との間に存在する外乱水による熱放射光の散乱等に起因した測温誤差を抑制する。
【解決手段】 被測温鋼材Ｍ表面から放射された熱放射光を被測温鋼材Ｍに対向配置した放射温度計で検出することにより、被測温鋼材Ｍの表面温度を測定する方法であって、前記放射温度計で検出される熱放射光の光路が通る領域における光路安定領域Ｓ１と光路不安定領域Ｓ２との界面と前記放射温度計の光軸との交点Ｐを基準とした被測温鋼材Ｍエッジ部Ｅの最小の拡がり角θを７５°以上に設定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 生体ファントムや電気絶縁部材、或いは、その模擬体などとして使用される観測対象物内部の温度分布を非侵襲で観測することができる観測方法、及び、装置、並びに、これによる温度分布の観測に好適な観測対象物を提供することをその目的とする。
【解決手段】 ３次元の形状を付与された観測対象物であって、透光性のマトリクスに感温液晶を内包する微小カプセルを分散させた観測対象物にスリット光を照射し、感温液晶から放射される反射光、乃至、散乱光の観測を行う。 （もっと読む）

基板処理装置は、基板を処理する処理炉以外の場所で処理前および処理後の少なくとも一方の基板表面の放射率を測定する放射率測定部材（２１、２２、２３）と、測定結果を保存する記憶部１１とを備えている。 （もっと読む）

本発明は光ファイバーを利用した、溶融物の冷却曲線及び（または）溶融サンプルの加熱曲線に関する。そこにおいて、少なくとも部分的に自由表面を有する光ファイバーの浸漬端は耐熱性のサンプル受容チャンバーによる空間で囲まれており、それによって、浸漬端が溶融物内に浸漬される状態で、光ファイバーが溶融物内に浸漬されたときに、サンプル受容チャンバー内にサンプルが溜まるように構成されており、その後にサンプルを含んだサンプル受容チャンバー及び光ファイバーが溶融金属から引き抜かれ、サンプルの冷却曲線及び（または）、サンプルの事前の凝固の後の、加熱中の温度特性が光ファイバーによって得られる信号への参照とともに測定され、測定装置に転送される。本発明はさらに、対応する装置及びそれの使用方法に関する。
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【課題】 光ファイバ部を曲げ易くして適用範囲を広げ、使いやすいものとする。
【解決手段】 光ファイバ部１０の大部分を銀ハライド系光ファイバ４２で構成し、その先端に、屈折率のマッチングのための接着剤４３を用いてカルコゲナイド系光ファイバ４１を接合し、少なくとも銀ハライド系光ファイバ４２の部分を、紫外線不透過性で、かつ機械的な強度がある程度大きい保護管４４で覆って、銀ハライド系光ファイバ４２が紫外線に当たって劣化したり曲がり過ぎて透過損失が増えたりすることがないようにする。 （もっと読む）