【課題】測定可能な膜厚の上限値を容易に変更することができる光干渉システム、基板処理装置及び計測方法を提供する。
【解決手段】光干渉システム１は、光源１０、コリメータ１２、単一の受光素子４１、チューナブルフィルタ４０及び演算装置１５を備える。コリメータ１２は、光源１０からの測定光を測定対象物の第１主面へ出射するとともに、第１主面及び第２主面からの反射光を入射する。単一の受光素子４１は、コリメータ１２からの光の強度を取得する。チューナブルフィルタ４０は、受光素子４１に入射される光の波長を掃引する。演算装置１５は、チューナブルフィルタ４０及び受光素子４１を用いて、波長に依存した強度分布であって第１主面及び第２主面からの反射光の強度分布である干渉強度分布を測定し、干渉強度分布をフーリエ変換して得られる波形に基づいて測定対象物の厚さ又は温度を計測する。 （もっと読む）

【課題】機器が密集した状態の製造ライン内であっても、測定視野が遮られない態様で測定対象物の間近に設置できるとともに、製造ラインの良否判定に必要な測定対象物の温度プロフィールを測定できること。
【解決手段】本発明の一態様にかかる走査型放射温度計１は、測定対象物の温度プロフィールを非接触で測定するものであり、受光部２と、伝送部３と、検出部４とを備える。受光部２は、小径の筒状体であり、測定対象物から放射された赤外光を温度測定点毎に分けて集光する。伝送部３は、複数の温度測定点の各々と一対一に対応する複数の光ファイバ群を束ねて収容し、温度測定点別に赤外光を伝送する。検出部４は、赤外光領域に感度を有し、伝送部３内の複数の光ファイバ群の各々と一対一に対応する複数の画素に赤外光を受光して、温度測定点毎の赤外光の強度を検出する。 （もっと読む）

【課題】従来よりもその長さを大幅に短くした導光体付きピンを提供すること。
【解決手段】単線の光ファイバ１７と、先端側に光ファイバ１７の外径よりも僅かに大径に設けられた保持孔１５と、保持孔１５から基端側まで連続してこの保持孔１５よりも大径に設けられた拡径部１６とを有する円筒状の中空軸部１２と、光ファイバ１７を拡径部１６に挿通させるとともにこの光ファイバ１７の先端部を保持孔１５に挿通保持させた状態で光ファイバ１７と中空軸部１２とを一体的に固定するために拡径部１６に基端側を余して充填される耐熱性接着剤１８とを備えた。また、拡径部１６の内面には、光ファイバ１７が受ける圧力に耐熱性接着剤１８が抵抗するように引っ掛かり加工としてねじ加工を施した。 （もっと読む）

【課題】高精度の温度測定が可能な蛍光温度計を提供する。
【解決手段】本発明の温度計測方法は、蛍光体を励起する励起ステップと、励起された蛍光体から発せられる蛍光を検出する蛍光検出ステップと、蛍光検出ステップで検出された蛍光の強度−時間信号を、時間領域信号から周波数領域信号に変換する信号変換ステップと、周波数領域信号における所定の周波数成分の変化量に基づいて被検物の温度を算出する温度算出ステップと、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】波長可変レーザを用いてガスタービン内の高温ガス温度を測定すること。
【解決手段】ガスタービン（１０）に装着された燃焼ガス測定装置であって、該測定装置が、ガスタービン（１０）内の燃焼ガス通路（３０）を通過するレーザビームを放出（１１０）する波長可変ダイオードレーザ（２２）と、１３３４ナノメートル（ｎｍ）の波長の第１のレーザビームと、１３８０ｎｍ又は１３９１ｎｍの波長の第２のレーザビームとを放出するよう波長調整（１００、１０２）される波長可変ダイオードレーザ用のコントローラ（２０）と、燃焼ガス（３０）を通過する放射線ビームの各々を検知（１００）し、波長の各々において燃焼ガスによるビームの吸収を示す吸収信号（１１２）を生成するレーザセンサ（２２）と、を備え、コントローラ（２０）が、非一時的な記憶媒体上に格納され、第１のレーザビーム及び第２のレーザビームの吸収信号の比に基づいて燃焼ガス温度を決定（１１４）するプログラムを実行する。 （もっと読む）

【課題】光ファイバにおけるスリーブの端部近傍部に応力が集中するのを抑制し、折れやクラックが発生するのを防止したフェルールプローブを提供する。
【解決手段】筒状のスリーブと、前記スリーブ内に挿通され、該スリーブから一端側が引き出されてなる光ファイバと、を備えてなるフェルールプローブである。前記スリーブの前記光ファイバが引き出された側の端部と、該端部から引き出された前記光ファイバとの間に、該光ファイバが前記端部に対して曲がるのに追従して弾性変形する弾性部材が設けられていることを特徴とするフェルールプローブ。 （もっと読む）

【課題】温度計測する微小領域より内径の大きな中空導波路を用いても微小領域のみの温度計測が正確に行える温度計測用中空導波路を提供する。
【解決手段】試料７の温度計測に用いられ、試料７から輻射される赤外線を伝搬させるための中空領域５を有する温度計測用中空導波路１において、試料側に位置する温度計測用中空導波路１の一端部分に、赤外線を透過しない材料で形成されたアパーチャ板６を、アパーチャ板６に形成された開口部６ａと温度計測用中空導波路１の中空領域５とが一致するように取り付けられているものである。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、被処理体の温度を高精度に測定することができる温度測定方法、温度測定装置、熱処理装置及び熱処理方法を提供する。
【解決手段】 本発明の温度測定方法は、被測定体から放射される熱放射光から、所定領域の波長を有する当該熱放射光を選択する工程と、かかる選択工程において選択された所定領域の波長を有する熱放射光を用いて温度を算出する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】微粉炭等の固体の燃料粒子のみならず、液体の燃料液滴の燃焼場における挙動を把握するための基礎データを得るべく粒子または液滴の形状・径と温度との同時計測システムを提供する。
【解決手段】２本のレーザー光Ｌ１，Ｌ２の交差点に形成される測定領域を通過する火炎Ｂ中の粒子Ｐでレーザー光Ｌ１，Ｌ２が遮光されることにより形成される影に基づく粒子Ｐの形状をシャドウドップラー光学系Ｉを介して撮影するとともに、粒子Ｐの形状を表す画像信号を送出する高速度カメラ５と、カセグレン光学系IIを介して得られる測定領域中の粒子Ｐによる特定波長の２種類の光強度Ｉ_λ１，Ｉ_λ２をそれぞれ表す発光信号を送出する分光器８と、前記画像信号を処理して粒子Ｐの全部が高速度カメラ５の撮像画面に取り込まれている期間である測定可能期間を検出するとともに、前記測定可能期間に対応する前記発光信号に基づき二色温度計の原理により粒子Ｐの温度を演算するパソコン６とを有する。 （もっと読む）

【課題】多次元温度データを生成するためのマルチスペクトルシステム及び方法を提供すること。
【解決手段】１つの実施形態において、システム（１０）は、ガス（８０）及び該ガス（８０）を介してタービン（１８）の内部から観測可能な表面のイメージを受け取り、該イメージを、ガス（８０）の温度を示す波長の第１の２次元強度マップと、表面の温度を示す波長の第２の２次元強度マップとに分離して、第１及び第２の２次元強度マップを示す信号を出力するよう構成されたイメージングシステム（３６）を含む。 （もっと読む）

【課題】トッププレート上の鍋の材質，底の状態，トッププレートなど機器構成部材の調理中での温度上昇の影響を受けることなく鍋温度を非接触で高精度かつ安定に応答性良く検出する。
【解決手段】鍋を戴置するトッププレートと、その下にある加熱コイルと、加熱コイルを固定する部材に設け、鍋からの赤外線を導光する導光筒と、その導光筒を通過した赤外線を検出する赤外線検出手段の出力から、トッププレート及び導光筒の温度からそれらが放射する赤外線量を算出し、それを前記赤外線検出手段の出力から減算して鍋温度を検出する鍋温度検出手段を持つ誘導加熱調理器。 （もっと読む）

【課題】タービン構成部品の二次元強度マップを示す信号を出力する撮像システムの提供。
【解決手段】動力または推力を提供する作動流体４６と流体連通している複数の構成部品５２、５４、５８、６０、６２、６６、７０、７２を含むタービン１８と光学的に連通している撮像システム３６で、タービン１８の動作中に少なくとも１つの構成部品５２、５４、５８、６０、６２、６６、７０、７２の広波長域画像を受け取り、広波長域画像を複数の狭波長域画像に分割し、各狭波長域画像の二次元強度マップを示す信号を出力するように構成される。 （もっと読む）

【課題】測定物の温度測定と同時に、測定物の所望の面の状態を分析することができる表面分析装置を実現すること。
【解決手段】表面分析装置は、スーパーコンティニューム光を放射する光源１０と、ＳＣ光を測定光と参照光とに分割する光ファイバカプラ１１と、ミラー１２と、ミラー１２を移動させる駆動装置１３と、測定光と参照光との干渉波形を測定する受光手段１４と、干渉波形から測定物の温度および表面状態を分析する干渉波形解析手段１５と、によって構成されている。干渉波形解析手段１５は、干渉波形の干渉ピーク位置の温度変化から温度を測定する手段と、干渉波形から測定物の所望の面に対応する干渉ピークを切り出し、その切り出した波形をフーリエ変換したスペクトル図を求めることで、測定物の膜質、表面状態などを測定する。 （もっと読む）

【課題】鋼板の板厚方向および鋼板面内の材質均一性を向上させる操業管理が可能な鋼板の材質保証設備を提供する。
【解決手段】仕上圧延機と仕上圧延機の下流側の鋼板搬送ライン上に設置された加速冷却装置とを備えた鋼板製造ラインにおいて、鋼板温度を計測する温度計測手段と計測された鋼板温度を解析する温度実績解析手段とを備え、前記温度計測手段は、鋼板搬送ラインの上面側上方で、仕上圧延機の前面および加速冷却装置の前後面のそれぞれの位置に設置されるスポット型放射温度計および走査型放射温度計と、前記鋼板搬送ラインの下面側で、前記上面側のスポット型放射温度計に対応する位置に設置される光ファイバー放射温度計と、前記走査型放射温度計の走査方向に対応する位置でライン幅方向に任意の間隔で複数台設置される光ファイバー放射温度計とからなり、前記温度実績解析手段は、前記各温度計測手段で計測された鋼板温度から鋼板全体の温度分布を求める手段からなることを特徴とする鋼板の材質保証設備。 （もっと読む）

【課題】ダクト内の面温度分布を安価かつ簡易に計測することができ、面温度分布を常時測定することができる温度測定装置および温度測定方法を提供する。
【解決手段】流体が流れる流路の一の壁面に取り付けられ、前記流路の他の壁面から発せられ、流体を通過した光が入射する受光部２と、受光部２に入射した光を分光する分光部３と、分光部３により分光された光から、少なくとも気体に関する吸収スペクトルである実測の吸収スペクトルを取得するとともに、気体の所定温度における理論上の吸収スペクトル、および、実測の吸収スペクトルを比較し、理論上の吸収スペクトルと実測の吸収スペクトルとの誤差が最も小さくなる所定温度を求める解析部４と、が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】改良型の多波長温度計を提供する。
【解決手段】熱測定システム（１０）は、光収集デバイス（２２）と、光収集デバイス（２２）と通信する検出システム（４０、１４０、２４０、３４０）とを含む。検出システム（４０、１４０、２４０、３４０）は、気体（８０）からの光（９４）強度を検出するように構成されている。本発明は、特定の実施形態の観点から記載されており、明示的に述べられているものを除き、均等形態、代替形態、及び変更形態が可能でありかつ添付の特許請求の範囲の範囲内にあることが確認されている。 （もっと読む）

【課題】被覆に覆われた光ファイバを用いた場合でも、光ファイバのフェルールからの突出、及び被覆の光ファイバ端面からの突出をいずれも防止し、光強度の低下を防ぐことで正確且つ安定した温度計測を維持できるフェルールプローブを提供すること。
【解決手段】本発明におけるフェルールプローブは、外周面が被覆５２で覆われている光ファイバ５と、光ファイバ５の端部を少なくとも一端部６３で囲んで保持するフェルール６と、上記一端部６３の端面６３ａと対向する位置に設けられ光ファイバ５及び被覆５２の上記端面６３ａからの突出を防止する突出防止部８とを有するという構成を採用する。 （もっと読む）

【課題】光照射時に基板から放射される光の強度波形を計測することができる熱処理装置を提供する。
【解決手段】フラッシュランプからの光照射によって昇温した基板から放射された光は石英プローブ１８に入射してフォトダイオード２１に導かれる。フォトダイオード２１は、入射した光の強度に応じた光電流を発生させる。その電流は電流電圧変換回路２２によって電圧信号に変換される。電流電圧変換回路２２から出力された電圧信号は、増幅回路２３によって増幅された後、高速Ａ／Ｄコンバータ２４によってデジタル信号に変換される。ワンチップマイコン２５は、高速Ａ／Ｄコンバータ２４から出力されたデジタル信号のレベルを一定の間隔で所定時間サンプリングを繰り返して、そのサンプリングしたデータを順次メモリに記憶することにより、放射光強度の時間波形を取得する。 （もっと読む）

【課題】気体を光学的に検出するためのデバイスを提供する。
【解決手段】流体を光学的に検出するためのデバイスは、そのおのおのがセンサー端と反対側の結合端を備えているいくつかの光学ファイバーを備えている。センサー端のおのおのは光学センサーを備え、センサーは、それで検出される流体の濃度に依存する反射特性を有している。デバイスは、光源と検出器と光学本体を備えている。光学ファイバーの結合端は、互いに距離を置いて光学本体に連結されている。光源と検出器は、光が光源から光学本体を介して伝導され、光学ファイバーの結合端に結合され、また、光学センサーによって反射され、光学ファイバーの結合端から射出される光が、光学本体を介して伝導され、検出器によって受光されるように、光学本体上に配置されている。光学ファイバーの結合端の間の距離は、各結合端からの射出される光が別々に検出され得るものである。
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