説明

Fターム[2G066BA55]の内容

放射温度計 (5,716) | 検出器の構成要素 (1,786) | 検出器の製造方法 (158)

Fターム[2G066BA55]に分類される特許

1 - 20 / 158


【課題】量子井戸型の温度センサにおいて、高い障壁高さを実現できる量子障壁層と量子井戸層とを、フェルミ準位の上昇およびトンネル効果が生じにくい膜厚を持って形成する。
【解決手段】この量子井戸型温度センサは、基体の表面上に量子井戸構造体を備え、量子井戸構造体は、基体に隣接して形成された第1電極層と、第1電極層上に形成されたサーミスタ層と、サーミスタ層上に形成された第2電極層とを有している。サーミスタ層は、量子井戸層を少なくとも一層含み、複数の量子障壁層を有するとともに、第1電極層、サーミスタ層、第2電極層の積層方向に沿って量子井戸層と量子障壁層とが交互に配置されてなる。
そして、量子井戸層および量子障壁層は、これらの層により形成される量子井戸の障壁高さが0.34eVより大きい材料からなり、第1電極層の結晶格子に対する格子不整合率が、それぞれ、4%以下および0.9%以下の材料からなる。 (もっと読む)


【課題】焦電型光検出器の検出出力を高めること。
【解決手段】焦電型光検出器は、基板10と、基板上に支持される支持部材215と、支持部材に接して形成されている焦電型光検出素子251と、を有する。焦電型光検出素子251は、支持部材側に設けられる第1電極234と、第1電極と対向して設けられ、平面視における面積が、第1電極より小さい第2電極236と、第1電極234と第2電極236との間に設けられる焦電体232と、を含むキャパシター230を有する。焦電型光検出素子251はさらに、キャパシター上に形成されている光吸収層270を含む。平面視における光吸収層の面積を受光部面積Aaとし、平面視における第2電極の面積をキャパシター面積Acとし、Aa/Acは、2.0<Aa/Ac<49.0を満足する。 (もっと読む)


【課題】赤外線サーマルディテクタ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】赤外線サーマルディテクタ10は、基板20と、検知部30と、サーマルレッグ50とを含む。検知部30は、基板20から離隔され、入射される赤外線光を、局部的な表面プラズモン共鳴を介して吸収し、吸収された赤外線による温度変化によって、抵抗値が変わるように設けられサーマルレッグ50は、検知部30からの信号を基板20に伝達する。 (もっと読む)


【課題】変形させることが可能であり、しかも感度の高い焦電型赤外線センサを提供する。
【解決手段】ポリイミドやポリエチレンテレフタラート等の高分子材料から成る可撓性のある基板41Bとフッ化ビニリデン(VDF)オリゴマーから成る層43Bを設け、VDFオリゴマー層43Bの上下にAlの蒸着膜等から成る可撓性のある電極44B及び42Bを設ける。これら各構成要素の可撓性により、本発明の焦電型赤外線センサは全体として可撓性を有する。また、基板41Bの周囲にアクチュエータ46を複数配置する。これらアクチュエータ46による押圧力を調整することにより、曲率の異なる所望の形状に変形させることが可能である。また、従来の焦電型赤外線センサで用いられているSi等の基板よりも、高分子材料から成る基板の方が熱容量及び熱伝導率が低いため、センサの感度を高めることができる。 (もっと読む)


【課題】犠牲膜をエッチングして形成された空隙を備えるセンサーにおいて、犠牲膜のみをエッチングして空隙を形成する方法を提供する。
【解決手段】基板2上に絶縁膜14を形成する絶縁膜形成工程と、絶縁膜14に凹部15を形成する凹部形成工程と、凹部15に酸化シリコンからなる犠牲膜を形成する犠牲膜形成工程と、犠牲膜上に支持部23を形成する支持部形成工程と、支持部23上に赤外線検出部4を形成する検出部形成工程と、エッチング液を用いて犠牲膜をエッチングして空隙16を形成するエッチング工程と、を有し、絶縁膜はエッチング液に対して耐食性を有する。 (もっと読む)


【課題】赤外線検出部が配置された支持部が凹部と対向する場所に位置し、支持部が凹部の底に張り付くのを防止できる赤外線検出素子を提供する。
【解決手段】基板2と、基板2上に設置され空隙17を囲む凹部15を備えた絶縁膜14と、一端が基板2に固定される梁22によって保持され空隙17と対向する場所に位置する支持部23と、支持部23上に設置され赤外線を検出する赤外線検出部4と、を備え、凹部15はポリシリコンを含む撥水膜16に覆われ、梁22及び支持部23は窒化シリコンまたは炭窒化シリコンを含む。 (もっと読む)


【課題】部材費および組立加工費が小さく安価でありながら、かつ、金属ステムを用いた従来構造と同程度の環境温度変化への出力変動耐性を有する赤外線温度センサを提供する。
【解決手段】積層基板1上に金属板2が実装され、センサチップ3およびASIC4は金属板2上に搭載される。センサチップおよびASICは、金属板2上にかぶせられた金属キャップ5にて覆われる。金属板2には開口部が設けられており、積層基板1上の電極とASICとは、開口部を通じてワイヤ接続されている。金属板2は積層基板1上のGND電位に接続されている。金属キャップは金属板2に電気的に接続されている。金属板2は積層基板1に対して半田付けにて実装されている。積層基板1に複数の半田付け用ランドが形成されている。 (もっと読む)


【課題】熱源の温度を感度良く測定できる温度センサを提供する。
【解決手段】赤外線吸収膜100の熱量を検知することにより熱源の温度に対応した電気信号を出力する赤外線検知用感熱素子10と、赤外線検知用感熱素子から電気信号を出力するためのリードパターン31,32と、赤外線吸収膜の温度をさらに上昇させるための熱効果パターン50に加え、赤外線吸収膜に分布する熱量を赤外線検知用感熱素子に集熱するための集熱パターンや熱の流出を抑えるためのミアンダパターン33を備える。 (もっと読む)


【課題】赤外線熱影像アレーモジュールの検証装置と検証方法の提供。
【解決手段】赤外線熱影像アレーモジュールの検証装置と検証方法は、熱影像モジュール規格設計、エピタキシャルと光学物性検証10を含み、エピタキシャルパラメーターの校正を行う。単乙型感知部品製造工程と変温光電量測定検証20を行い、エピタキシャルは感知部品の低温変温と変圧測定校正を完成する。焦平面アレー製造工程とその光電均一度の検証30を行い、暗電流均一度テストを行う。焦平面アレーと信号読み出し集積回路の接着と研磨製造工程検証40を行い、感知モジュールと信号読み出し集積回路間にインジウム接着を行い光電信号を転換し、熱影像品質統合テスト検証50を行い、最適駆動と制御出力パラメーター分析と測定を調整し、熱影像アレーモジュール雛形を行い、焦平面感知アレーと接合し、影像感知アレーモジュール雛形を完成60する。 (もっと読む)


【課題】赤外線熱影像アレーモジュールの検証装置と検証方法の提供。
【解決手段】赤外線熱影像アレーモジュールの検証装置と検証方法は熱影像モジュール規格設計、エピタキシャルと光学物性検証10を含み、エピタキシャルパラメーターの校正を行う。単乙型感知部品製造工程と変温光電量測定検証20を行い、エピタキシャルは感知部品の低温変温と変圧測定校正を完成する。焦平面アレー製造工程とその光電均一度の検証30を行い、暗電流均一度テストを行う。焦平面アレーと信号読み出し集積回路の接着と研磨製造工程検証40を行い、感知モジュールと信号読み出し集積回路間にインジウム接着を行い光電信号を転換し、熱影像品質統合テスト検証50を行い、最適駆動と制御出力パラメーター分析と測定を調整し、熱影像アレーモジュール雛形を行い、焦平面感知アレーと接合し、影像感知アレーモジュール雛形を完成60する。 (もっと読む)


【課題】赤外線熱影像アレーモジュールの検証装置と検証方法の提供。
【解決手段】主に本発明の赤外線熱影像アレーモジュールの検証装置と検証方法は、熱影像モジュール規格設計、エピタキシャルと光学物性検証を含み、先ずエピタキシャルパラメーターの校正を行う。単乙型感知部品製造工程と変温光電量測定検証を行い、これによりエピタキシャルは感知部品の低温変温と変圧測定校正を完成する。焦平面アレー製造工程とその光電均一度の検証を行い、暗電流均一度テストを行う。焦平面アレーと信号読み出し集積回路の接着と研磨製造工程検証を行い、感知モジュールと信号読み出し集積回路間にインジウム接着を行い光電信号を転換する。熱影像品質統合テスト検証を行い、最適駆動と制御出力パラメーター分析と測定を調整する。熱影像アレーモジュール雛形を継続して行い、インジウム柱接合方式を利用し、焦平面感知アレーと接合し、影像感知アレーモジュール雛形を完成することができる。 (もっと読む)


【課題】製造工数やコストの増大、生産性の低下、作業環境等の悪化を防止することができ、しかも、センサの感度誤差や感度の低下を抑止することも可能な非接触温度センサを提供する。
【解決手段】本発明による非接触温度センサに備わる例えば案内筒30Aは、長辺壁31L,31Lと短辺壁31S,31Sから構成される胴部31を有している。この胴部31には、羽根板41L1,41L2、41S1,41S2、及び、孔部51L1,51L2,51S1,51S2を含む非導光手段が設けられており、これにより、案内筒30Aの開口Pからその内側に入射する放射赤外線IRのうち、内壁へ向かって進行したり内壁で反射されたりした赤外線成分が、赤外線検知用感熱素子を含む受光範囲に到達することが妨げられる。 (もっと読む)


【課題】 軽量でかつ基板に立設させて十分な支持強度で取り付けることが容易な赤外線センサを提供すること。
【解決手段】 絶縁性フィルム2と、該絶縁性フィルム2の一方の面に互いに離間させて設けられた第1の感熱素子3A及び第2の感熱素子3Bと、絶縁性フィルム2の一方の面に形成され第1の感熱素子3Aに接続された導電性の第1の配線膜4A及び第2の感熱素子3Bに接続された導電性の第2の配線膜4Bと、第2の感熱素子3Bに対向して絶縁性フィルム2の他方の面に設けられた赤外線反射膜6とを備え、センサ部に対応したセンサ部用窓部8aが形成されて絶縁性フィルムに貼り付けられた補強板8と、第1の配線膜および第2の配線膜に接続され絶縁性フィルムの端部に形成されコネクタに嵌め込み可能な第1の端子電極7Aおよび第2の端子電極7Bとを備えている。 (もっと読む)


【課題】 軽量でかつ安定した設置状態が得られ、回路基板から離れた部分の温度も高精度に検出できると共に容易に取り付けることができる赤外線センサを提供すること。
【解決手段】 絶縁性フィルム2と、該絶縁性フィルム2の一方の面に互いに離間させて設けられた第1の感熱素子3A及び第2の感熱素子3Bと、絶縁性フィルム2の一方の面に形成され第1の感熱素子3Aに接続された導電性の第1の配線膜4A及び第2の感熱素子3Bに接続された導電性の第2の配線膜4Bと、第2の感熱素子3Bに対向して絶縁性フィルム2の他方の面に設けられた赤外線反射膜6と、絶縁性フィルムの一端部に形成され外部のコネクタに嵌め込み可能な複数の端子電極7A,7Bと、絶縁性フィルムの一方の面における一端部に貼り付けられた端部補強板11と、絶縁性フィルムの他端部に形成された取り付け用孔2bとを備えている。 (もっと読む)


【課題】 測定対象物以外からの輻射熱の干渉を受け難くし、また周辺装置からの熱の影響を受け難くして、検出精度を改善することができる赤外線センサ及びこれを備えた回路基板を提供すること。
【解決手段】 絶縁性フィルム2と、該絶縁性フィルム2の一方の面に互いに離間させて設けられた第1の感熱素子3A及び第2の感熱素子3Bと、絶縁性フィルム2の一方の面に形成され第1の感熱素子3Aに接続された導電性の第1の配線膜4A及び第2の感熱素子3Bに接続された導電性の第2の配線膜4Bと、第2の感熱素子3Bに対向して絶縁性フィルム2の他方の面に設けられた赤外線反射膜6と、を備え、絶縁性フィルムに、第1の感熱素子および第2の感熱素子の周囲に第1の配線膜および第2の配線膜を避けて延在する長孔部2aが形成されている。 (もっと読む)


【課題】偏光フィルタのような追加の構造を用いることなく、特定の偏光の検出を可能にした赤外線センサおよび赤外線センサアレイの提供。
【解決手段】赤外線センサ100は、温度検知部と、温度検知部に熱的に接続された吸収体10とを含み、吸収体10に入射した光を検出する半導体光素子であって、吸収体10の表面に含まれた第1方向と、第1方向とは異なる第2方向が規定され、吸収体10は、第1方向に第1周期で設けられ、第2方向に第2周期で設けられた凹部11を有し、第1周期と第2周期が異なるか、または吸収体10は、第1方向および第2方向に周期的に設けられた凹部11を有し、吸収体10の表面における凹部11の形状が第1方向と第2方向で異なる。 (もっと読む)


【課題】加工コストの削減を図ることのできる赤外線センサモジュールを得る。
【解決手段】多角形状の光学素子5の外周側面5cに光学素子5の角部Cの上部隅部が露出するように封止材13を塗布して当該光学素子5を導電性ケース6に接合した。そして、光学素子5の複数の角部Cのうち少なくとも1つの角部Cの露出部Mと導電性ケース6の天壁61とに亘って導電性接着剤15を塗布するようにした。 (もっと読む)


【課題】気密性の向上を図ることができる検出装置を提供する。
【解決手段】検出素子21を有する第1の基板2と、第1の基板2に接合された第2の基板3と、を備えた検出装置1であって、第1の基板2は、検出素子21と電気的に接続された第1の電極23と、対向面201に積層された第1のメタル層26と、をさらに有し、第2の基板3は、第1の電極23と接合された第2の電極33と、第1のメタル層26と接合された第2のメタル層34と、を有し、第1の電極23の表面231と第1のメタル層26の表面261は、実質的に同一の平面F1上に位置すると共に、第2の電極33の表面331と第2のメタル層34の表面341も、実質的に同一の平面F2上に位置し、第2の基板3は、第2の電極33と第2のメタル層34の間に位置し、第2の電極33と第2のメタル層34を電気的に絶縁した環状突起32をさらに有する。 (もっと読む)


【課題】部材費および組立加工費が小さく安価でありながら、かつ、金属ステムを用いた従来構造と同程度の環境温度変化への出力変動耐性を有する赤外線温度センサを提供する。
【解決手段】積層基板1上に金属板2が実装され、センサチップ3およびASIC4は金属板2上に搭載される。センサチップ3およびASIC4は、金属板2上にかぶせられた金属キャップ5にて覆われる。金属板2には開口部21が設けられており、積層基板上1の電極とASIC4とは、開口部21を通じてワイヤ接続されている。 (もっと読む)


【課題】センサヘッドの外部からの熱外乱によるセンサ素子の熱バランスのくずれで生ずる誤差を抑えるための放射温度計センサ素子均熱構造を提供する。
【解決手段】センサヘッド筺体0101と、センサヘッド筺体内に収められ、赤外線放射エネルギーを検出するセンサ素子0102と、赤外線放射エネルギーを透過する赤外線レンズ0103と、赤外線レンズを透過した赤外線放射エネルギーをセンサ素子へ導く鏡筒0104と、前記センサ素子の赤外線放射エネルギー検出領域周辺以外を覆い、熱伝導性の高い材料で構成されたセンサ治具0105と、センサ素子が検出した信号を変換器へ出力するための出力ケーブル0106と、からなる放射温度計センサ素子の均熱構造。 (もっと読む)


1 - 20 / 158