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Fターム[2G066BB01]の内容

放射温度計 (5,716) | 妨害要素の除去 (539) | 不所望な入射光 (134)

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【課題】迷光等のバックランドノイズの影響を受けずに、基板表面温度を正確に測定する。
【解決手段】基板支持面内に形成された1以上の窓と、第1信号をパルスするように構成された第1信号発生器104と、第1信号発生器から1以上の窓を透過したエネルギーを受信するように配置された第1センサ106を含む装置100が、エッチングプロセス中に基板温度を測定するために提供される。輻射エネルギーを用いて基板102を加熱する工程と、第1光をパルスする工程と、第1光がオンにパルスされたときに基板を透過する全透過率を示す計量値を決定する工程と、第1光がオフにパルスされたときに基板を透過する背景透過率を示す計量値を決定する工程と、プロセス温度を決定する工程を含む方法が、エッチングプロセス中に基板温度を測定するために提供される。 (もっと読む)


【課題】機器が密集した状態の製造ライン内であっても、測定視野が遮られない態様で測定対象物の間近に設置できるとともに、製造ラインの良否判定に必要な測定対象物の温度プロフィールを測定できること。
【解決手段】本発明の一態様にかかる走査型放射温度計1は、測定対象物の温度プロフィールを非接触で測定するものであり、受光部2と、伝送部3と、検出部4とを備える。受光部2は、小径の筒状体であり、測定対象物から放射された赤外光を温度測定点毎に分けて集光する。伝送部3は、複数の温度測定点の各々と一対一に対応する複数の光ファイバ群を束ねて収容し、温度測定点別に赤外光を伝送する。検出部4は、赤外光領域に感度を有し、伝送部3内の複数の光ファイバ群の各々と一対一に対応する複数の画素に赤外光を受光して、温度測定点毎の赤外光の強度を検出する。 (もっと読む)


【課題】人物の表面温度と背景物体の表面温度との温度差が少ない状態でも、人物を判別する。
【解決手段】遠赤外線撮像素子を有する撮像装置において、人物の表面温度が第一の所定温度以上かつ第二の所定温度以下の場合、第一の所定温度を温度画像信号の下限値とし、第二の所定温度を温度画像信号の上限値となるように温度画像信号を出力画像信号に変換し、人物の表面温度が第一の所定温度以下の場合、人物の表面温度を温度画像信号の下限値とし、第二の所定温度を温度画像信号の上限値となるように温度画像信号を出力画像信号に変換し、人物の表面温度が第二の所定温度以上の場合、第一の所定温度を温度画像信号の下限値とし、人物の表面温度を温度画像信号の上限値となるように温度画像信号を出力画像信号に変換する。 (もっと読む)


【課題】出力信号に対する赤外線量を、従来よりも適切に補正できる赤外線カメラを提供する。
【解決手段】基板2上に複数の感温素子3が配置された赤外線カメラ1において、遮断感温素子3’への外部からの赤外線の入力を遮断する遮断部材6と、遮断感温素子3’の出力信号に基づいて、他の感温素子3の出力信号に基づく赤外線量を補正する制御部5とを備える。感温素子3は、素子本体3aとその周縁に設けられたブリッジ部3bとで構成され、基板2には、感温素子3に対応させて凹部2aを形成し、素子本体3aをブリッジ部3bを介して基板2の凹部2aの開口縁部に接続し、感温素子3と基板2の凹部2aとで空洞部を画成して、素子本体3aと基板2の直接接触を阻止してもよい。 (もっと読む)


【課題】トッププレート上の鍋の材質,底の状態の影響を受けることなく鍋温度を非接触で高精度かつ安定に応答性良く検出する。
【解決手段】鍋を戴置するトッププレートと、その下にある加熱コイルと、加熱コイルを固定する部材に設け、鍋からの赤外線を導光する導光筒と、その赤外線を検出する赤外線検出手段と、同導光筒を通しトッププレートに概垂直な赤外線平行光線束を投光する赤外線投光手段と、赤外線投光手段が投光し、鍋で反射される赤外線光線を受光する受光手段とを備え、受光手段の出力で赤外線検出手段の出力を補正して鍋温度を検出する鍋温度検出手段を持つ誘導加熱調理器。 (もっと読む)


【課題】赤外線センサーを備えた冷蔵庫における赤外線センサーの検知精度を向上し、信頼性を高めることを目的とする。
【解決手段】赤外線センサーを収納する赤外線取付ケース47を備え、断熱仕切り部の凹部に赤外線取付ケース47を埋設し、赤外線取付ケース47に貫通口50を有した集光開口部51を設け、赤外線取付ケース47は断熱機能を有するように赤外線集光部材48を取り囲むように配置されるとともに、赤外線集光部材48とは別部材の赤外線取付ケース47の集光開口部51の周囲に突起部52を設けたものであり、赤外線センサーの検知精度を向上することができるとともに、赤外線センサーの信頼性を高めることができる。 (もっと読む)


【課題】装置底側に配置した光透過性部材上に異物が載ることを防止した真空処理装置を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明に係る真空処理装置は、減圧雰囲気の下で基板に加熱処理を行う減圧加熱処理室12と、減圧加熱処理室12内に設けられ、上面側に基板Pが載置される基板ホルダー20と、減圧加熱処理室12の底側に設けられ、基板ホルダー20から斜め下方Dに放射された放射熱線Lを、放射熱線透過性の窓材32を介して減圧加熱処理室12の外部に透過させる透過部60と、透過部60を透過した放射熱線Lを減圧加熱処理室12の外部で計測する放射温度計38と、減圧加熱処理室12内に設けられ、窓材32への異物の落下を防止する防塵パイプ34と、を備えている。防塵パイプ34は、放射温度計38で温度計測する上で必要な放射熱線Lの透過量を確保しつつ、窓材32の上方を覆う。 (もっと読む)


【課題】 筐体からの輻射熱の影響を抑制することができる赤外線センサを提供すること。
【解決手段】 絶縁性フィルム2と、該絶縁性フィルム2の一方の面に互いに離間させて設けられた第1の感熱素子3A及び第2の感熱素子3Bと、絶縁性フィルム2の一方の面に形成され第1の感熱素子3Aに接続された導電性の第1の配線膜4A及び第2の感熱素子3Bに接続された導電性の第2の配線膜4Bと、第2の感熱素子3Bに対向して絶縁性フィルム2の他方の面に設けられた赤外線反射膜6と、絶縁性フィルムの一方の面に固定されて該絶縁性フィルムを支持すると共に第1の感熱素子及び第2の感熱素子を内部の収納部に収納する筐体とを備え、第1の配線膜4Aが、第1の感熱素子3Aの周囲にまで配されて第2の配線膜4Bよりも大きな面積で形成されている。 (もっと読む)


【課題】小型薄型でかつ簡便な素子形状を有し、外部からの熱放射(輻射)や感熱素子自体からの熱放射等の温度外乱やセンサ素子の設置場所に温度分布があったとしても、安定して被測定物の温度を検知することができるようにした赤外線センサを提供すること。
【解決手段】赤外線を受光する受光面を有し、受光した赤外線を検出して電気信号として出力するセンサ素子と、前記センサ素子からの出力を外部装置へ出力するための接続端子と、前記センサ素子と前記接続端子とを電気的に接続する接続配線と、前記受光面を開口した状態で該センサ素子を前記接続端子と前記接続配線とともに封止する封止部材とを具えた赤外線センサであって、前記封止部材は、前記センサ素子を保持する保持部と、前記受光面の周囲を取り囲んで前記保持部から延びるように形成することにより前記受光面の赤外線に対する視野範囲を制限する視野角制限部とを有し、前記受光面の外縁部が、前記視野角制限部に覆われていることを特徴とする赤外線センサ。 (もっと読む)


【課題】簡易な光学系と測定系とによって不輝炎の燃焼ガスの自発光をとらえて二次元断面の温度分布を測定できるようにする。
【解決手段】測定対象断面を碁盤目状に分割し、当該碁盤目の各段毎のマス目の並び方向中心位置におけるガスの発光強度を計測すると共に各列毎のマス目の並び方向中心位置における前記ガスの発光強度を計測し、これら発光強度に基づいて前記各段・各列毎のバンドスペクトル強度を求め、前記ガスの燃焼属性に基づいて前記測定対象断面の平均ガス温度を計算し、当該平均ガス温度と前記各段・各列毎のバンドスペクトル強度とを用いて前記碁盤目の各マス目の中心位置のガス温度を算出するようにした。 (もっと読む)


【課題】 周囲の影響(冷却風や輻射熱)による測定誤差をさらに抑制することができる赤外線センサ装置およびこれを備えた誘導加熱調理器を提供すること。
【解決手段】 赤外線を検出するセンサ本体2と、赤外線がセンサ本体2に対して入射可能な中央開口端部を有して該センサ本体2の周囲を覆う内側筒状壁部3と、該内側筒状壁部3の周囲を覆うと共に内側筒状壁部3に対して間隔を空けて設置された外側筒状壁部4とを備え、内側筒状壁部3が、径方向外方に向けて突出していると共に外側筒状壁部4に形成された下部開口部7bに挿通されて外部まで延在した放熱フィン3bを備えている。 (もっと読む)


【課題】炉内において鋼材表面の酸化状態が経時的に変化することによって分光放射率が変動する場合でも、表面が酸化されている鋼材の表面温度を精度よく測定する。
【解決手段】3.9μm狭域帯波長の放射温度計61、62を用いて、鋼材Sの表面から観測される放射強度を測定し、迷光補償用の温度計71、72の測定値を用いて、鋼材Sの表面からの迷光放射強度を算出し、鋼材Sの表面の熱履歴から、鋼材Sの表面の酸化層の厚みを算出すると共に、鋼材Sの表面酸化速度が、酸素分子供給過程と鉄原子拡散過程とのいずれに律速されているかを判断することで、鋼材の表面物質がウスタイトまたはヘマタイトのどちらであるかを判別して、前記酸化層の厚みと前記表面物質の判別結果とから分光放射率を算出し、前記観測される放射強度から前記迷光放射強度を引いて得られる放射強度を、前記分光放射率で除して黒体放射強度を求め、鋼材Sの表面温度を算出する。 (もっと読む)


【課題】水蒸気やミストが充満する環境下においても、粗バーからのクロップの分離、落下を精度良く容易に検出することができ、また仮にクロップがクロップシュートに引っ掛り、複数のクロップがクロップシュート上に停滞、堆積した場合であってもその状態を早期且つ確実に認識することができるクロップ落下検出方法を得る。
【解決手段】熱間圧延後における粗バー2の先端及び/又は後端に形成された不定形部を切断したクロップ4をクロップシュート5を通じて落下させるに際して、上記クロップシュート5の近傍に、該クロップシュート5の全幅を監視する遠赤外線検出装置7を設け、クロップシュート5を落下してくるクロップ4が放射する遠赤外線を該遠赤外線検出装置7により検出して、該落下してくるクロップの形状を熱画像として出力することにより、クロップの落下を検出する。 (もっと読む)


【課題】被検者の外耳道に対して適正にプローブ部を配置した状態での体温計測の実行を容易にする。
【解決手段】筒状のプローブ部と、赤外線検出素子を収納した収納体とを有し、被検者の外耳道内の測定部位から放射されプローブ部の先端から取り込まれた赤外線を赤外線検出素子で検出して得られた信号から被検者の体温を測定する耳式体温計は、プローブ部の先端の端面または先端部の側面にはそれぞれが独立して外部物体との接触の有無を検出可能な複数の接触センサが設けられ、プローブ部の内部には、光を発生する投光器と、投光器が発生した光の反射光を受光する受光器とを有する投受光センサが配置される。耳式体温計の制御部は、複数の接触センサそれぞれからの接触の有無を示す信号と、受光器において受光した光の強度とが所定の条件を満たす場合に、赤外線検出素子による体温の測定を開始可能とする。 (もっと読む)


【課題】 本発明は、被処理体の温度を高精度に測定することができる温度測定方法、温度測定装置、熱処理装置及び熱処理方法を提供する。
【解決手段】 本発明の温度測定方法は、被測定体から放射される熱放射光から、所定領域の波長を有する当該熱放射光を選択する工程と、かかる選択工程において選択された所定領域の波長を有する熱放射光を用いて温度を算出する工程とを有する。 (もっと読む)


【課題】近年導入が進んだ、合金化の前段で誘導加熱を使用し保熱帯内で鋼板が徐冷されながら合金化されるプロセスであっても合金化位置をより正確に決定すること。
【解決手段】本発明に係る合金化位置決定方法は、鋼板の溶融亜鉛めっきラインの保熱帯近傍に保熱帯の鋼板搬送方向に沿って設置され、搬送される鋼板の放射輝度を測定する複数の放射温度計それぞれから、放射輝度の測定結果に関する情報を取得するステップと、保熱帯内部における搬送方向位置の変化に伴う鋼板の温度低下パターンに関する情報と、放射温度計の設置位置に関する情報を利用して、放射温度計が設置された位置での鋼板温度を推定するステップと、放射温度計が設置された位置における推定鋼板温度と、放射輝度の測定結果に関する情報を利用して、放射温度計が設置された位置における放射率を算出するステップと、算出された放射率に基づいて合金化位置を決定するステップと、を含む。 (もっと読む)


【課題】タービン構成部品の二次元強度マップを示す信号を出力する撮像システムの提供。
【解決手段】動力または推力を提供する作動流体46と流体連通している複数の構成部品52、54、58、60、62、66、70、72を含むタービン18と光学的に連通している撮像システム36で、タービン18の動作中に少なくとも1つの構成部品52、54、58、60、62、66、70、72の広波長域画像を受け取り、広波長域画像を複数の狭波長域画像に分割し、各狭波長域画像の二次元強度マップを示す信号を出力するように構成される。 (もっと読む)


【課題】スチールワイヤ焼鈍時の低温領域においても正確に温度を測定して、よってスチールワイヤの接合部を適切に温度調節することができるスチールワイヤの焼鈍方法を提供する。
【解決手段】スチールワイヤW1、W2の接合部bを焼鈍する方法であって、スチールワイヤW1、W2の接合部bの温度を測定しつつ加熱する。この接合部bから放射される光エネルギーをこの接合部に向けて設けた受光素子、例えばフォトダイオード6で受光し、このフォトダイオード6から出力した信号を対数変換し、この対数変換された信号に基づいて決定した温度によりスチールワイヤW1、W2の接合部bの加熱温度を調節する。 (もっと読む)


【課題】赤外線強度検出手段の耐久性を低下させるおそれが少ない状態で、赤外線強度検出手段にて検出対象となる赤外線を精度よく検出して、被加熱物の材質の違いにかかわらず被加熱物の温度を精度よく検出することが可能となる加熱調理器を提供する。
【解決手段】被加熱物Nに接当して温度検知用被加熱体15が設けられ、赤外線強度検出手段13が赤外線の強度を検出するように設けられ、演算手段が、赤外線強度検出手段13にて検出される赤外線強度から被加熱物Nの温度を演算するように構成されており、温度検知用被加熱体15と赤外線強度検出手段13とを支持する支持部材16が設けられ、支持部材16が内筒部材19と外筒部材20とを備え、内筒部材19の内部に赤外線強度検出手段13を備え、内筒部材19の上端部と温度検知用被加熱体15との間に通風用の開放部S3を形成している。 (もっと読む)


【課題】赤外線強度検出手段の耐久性を低下させるおそれが少ない状態で、赤外線強度検出手段にて検出対象となる赤外線を精度よく検出して、被加熱物の材質の違いにかかわらず被加熱物の温度を精度よく検出することが可能となる加熱調理器を提供する。
【解決手段】被加熱物Nに接当される温度検知用被加熱体15が設けられ、赤外線強度検出手段13が、温度検知用被加熱体15から放射される赤外線の強度を検出するように設けられ、演算手段が、赤外線強度検出手段13にて検出される赤外線強度から被加熱物Nの温度を演算するように構成されており、温度検知用被加熱体15と赤外線強度検出手段13とを支持する支持部材16が筒状部18を備え、筒状部18の内部に赤外線強度検出手段13を橋架して備えて、冷却風を筒状部18の内部を通して通風させる通風式の冷却手段26が設けられている。 (もっと読む)


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