【課題】迷光等のバックランドノイズの影響を受けずに、基板表面温度を正確に測定する。
【解決手段】基板支持面内に形成された１以上の窓と、第１信号をパルスするように構成された第１信号発生器１０４と、第１信号発生器から１以上の窓を透過したエネルギーを受信するように配置された第１センサ１０６を含む装置１００が、エッチングプロセス中に基板温度を測定するために提供される。輻射エネルギーを用いて基板１０２を加熱する工程と、第１光をパルスする工程と、第１光がオンにパルスされたときに基板を透過する全透過率を示す計量値を決定する工程と、第１光がオフにパルスされたときに基板を透過する背景透過率を示す計量値を決定する工程と、プロセス温度を決定する工程を含む方法が、エッチングプロセス中に基板温度を測定するために提供される。 （もっと読む）

【課題】赤外光を透過して電気機器の温度をより正確に温度測定可能な電気機器温度測定システム及び電気機器温度測定方法を提供する。
【解決手段】電気機器温度測定システム１は、電気部品５１，５２，５３をカバーするカバー部材２と、電気部品から放射される赤外線を撮影する赤外線サーモグラフィカメラ３と、カバー部材２に対して赤外線サーモグラフィカメラ側の温度を測定する第１温度基準体５ａと、カバー部材に対して電気部品側の温度を測定する第２温度基準体５ｂと、第１温度基準体の測定値及び第２温度基準体の測定値からカバー部材の温度を算出し、第１温度基準体の測定値及び第２温度基準体の測定値からカバー部材の透過率を推定し、カバー部材から発生する赤外線による温度付加分を以下の式（１）にて推定し、電気機器の温度を以下の式（２）から推定する演算部と、を備える。Ｔｒ＝Ｔ×（１−σ）・・・（１）Ｔｈ＝（Ｔｓ−Ｔｒ）／σ・・・（２） （もっと読む）

【課題】ミスト、蒸気、ダストの存在下であっても、非接触で鋼材の表面温度を測定することが可能な、鋼材温度測定方法及び鋼材温度測定装置を提供すること。
【解決手段】本発明に係る鋼材温度測定方法は、マイクロ波〜ミリ波帯域に属する放射電磁波の大きさと鋼材の表面温度とが線形関係となる状態に対応する厚み以上のマグネタイト層が鋼材の表面に成長するために要する時間が経過した後に、鋼材から放射される放射波のうち、マイクロ波〜ミリ波帯域に属する電磁波を検波する放射波検波ステップと、予め生成されたマイクロ波〜ミリ波帯域に属する放射電磁波の大きさと鋼材の表面温度との相関関係を示した相関関係情報と、検波されたマイクロ波〜ミリ波帯域に属する電磁波の大きさと、を用いて、検波されたマイクロ波〜ミリ波帯域に属する電磁波の大きさから鋼材の表面温度を算出する温度算出ステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】装置底側に配置した光透過性部材上に異物が載ることを防止した真空処理装置を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明に係る真空処理装置は、減圧雰囲気の下で基板に加熱処理を行う減圧加熱処理室１２と、減圧加熱処理室１２内に設けられ、上面側に基板Ｐが載置される基板ホルダー２０と、減圧加熱処理室１２の底側に設けられ、基板ホルダー２０から斜め下方Ｄに放射された放射熱線Ｌを、放射熱線透過性の窓材３２を介して減圧加熱処理室１２の外部に透過させる透過部６０と、透過部６０を透過した放射熱線Ｌを減圧加熱処理室１２の外部で計測する放射温度計３８と、減圧加熱処理室１２内に設けられ、窓材３２への異物の落下を防止する防塵パイプ３４と、を備えている。防塵パイプ３４は、放射温度計３８で温度計測する上で必要な放射熱線Ｌの透過量を確保しつつ、窓材３２の上方を覆う。 （もっと読む）

【課題】ビューポートが汚れることにより、放射温度計による正確な温度測定ができなくなることを抑制する。
【解決手段】複数枚の基板を保持するボートと、ボートを囲む様に設けられ反応室を構成する筒状発熱材と、筒状発熱材を囲む様に設けられた反応管と、筒状発熱材と反応管との間に設けられた筒状断熱部と、筒状発熱材と筒状断熱部との間に設けられた温度測定用チップと、温度測定用チップからの放射光が入射されることにより温度を測定する放射温度計と、温度測定用チップと放射温度計との間に設けられ、温度測定用チップからの放射光を透過するビューポートと、筒状発熱材と筒状断熱部との間の間隙に設けられ、ビューポートに向けて不活性ガスを供給する第１ガス供給口を有するブローノズルと、を具備する。 （もっと読む）

【課題】簡易な光学系と測定系とによって不輝炎の燃焼ガスの自発光をとらえて二次元断面の温度分布を測定できるようにする。
【解決手段】測定対象断面を碁盤目状に分割し、当該碁盤目の各段毎のマス目の並び方向中心位置におけるガスの発光強度を計測すると共に各列毎のマス目の並び方向中心位置における前記ガスの発光強度を計測し、これら発光強度に基づいて前記各段・各列毎のバンドスペクトル強度を求め、前記ガスの燃焼属性に基づいて前記測定対象断面の平均ガス温度を計算し、当該平均ガス温度と前記各段・各列毎のバンドスペクトル強度とを用いて前記碁盤目の各マス目の中心位置のガス温度を算出するようにした。 （もっと読む）

【課題】測定対象物との間に波長毎に分光透過率の異なる部材が介在していても正確に温度を測定可能な温度センサ装置およびこれを備えた誘導加熱調理器を提供すること。
【解決手段】トッププレート２を通して被加熱物Ｎからの赤外線を受光する第１のセンサ部７Ａと、被加熱物からの赤外線を除いてトッププレートからの赤外線を受光する第２のセンサ部７Ｂと、これらセンサ部に接続された演算部Ｃ１とを備え、演算部が、トッププレートの分光透過率と被加熱物の分光放射輝度とから予め求めておいたトッププレートを通して被加熱物からの輻射エネルギー量の総和を記憶値として記憶しており、トッププレートからの輻射エネルギー量の総和を補償値とし、トッププレートを通して被加熱物からの輻射エネルギー量の総和を実測値として算出し、実測値と補償値との差分に相当する記憶値から被加熱物の温度を特定する機能を有している。 （もっと読む）

【課題】構成要素の監視をする測定システムは、検査ポート内に挿入され且つ構成要素から放出及び／又は反射された放射線を検出器に搬送するよう構成されたサイト管を含むが、運転中、汚染物質がウィンドウの表面上に蓄積することに起因して、ウィンドウが隠されて、測定精度が低下することを防ぐシステムを提供する。
【解決手段】検査ポート内に挿入され、回転機械の内部と光学的に連通するよう構成されたサイト管１０１は、サイト管の周りに配置されたカーテン管８２を含み、カーテン管は、第１の空気源からのパージ空気をカーテン管の内側表面１０７とサイト管の外側表面１０６との間に形成された第１の通路１０５を介して開口９６に配向するよう構成されている。また、カーテン管は、第２の空気源からのカーテン空気をカーテン管の外側表面９５と検査ポートの内側表面との間に形成された第２の通路９４を介して出口に配向するよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】スケール等の付着原因となる冷却水が温度計本体を濡らすのを防ぎ、長期間性能を維持できる鋼板下面の温度測定装置を提供する。
【解決手段】圧延材Ｗの下面の温度を測定する温度測定装置１ａにおいて、圧延材Ｗの下面と対向する冷却ヘッダ７の上面側に設けられた開口である先端窓１３ａと、冷却ヘッダ７の下面側に設けられた開口であって、冷却ヘッダ７の長手方向に沿って先端窓１３ａより長径とされた長孔の基端窓１４と、を備える。これら先端窓１３ａと基端窓１４に対して、冷却ヘッダ７の長手方向における先端窓１３ａの一端と基端窓１４の一端とを、例えば鉛直方向につなぐ第１側面１５と、冷却ヘッダ７の長手方向における先端窓１３ａの他端と基端窓１４の他端とを斜め方向につなぐ第２側面１６と、を設ける。この上で、温度計１７を、基端窓１４であって第２側面１６上で、計測方向が先端窓１３ａを介して圧延材Ｗの下面を向くように配置する。 （もっと読む）

【課題】温度計測する微小領域より内径の大きな中空導波路を用いても微小領域のみの温度計測が正確に行える温度計測用中空導波路を提供する。
【解決手段】試料７の温度計測に用いられ、試料７から輻射される赤外線を伝搬させるための中空領域５を有する温度計測用中空導波路１において、試料側に位置する温度計測用中空導波路１の一端部分に、赤外線を透過しない材料で形成されたアパーチャ板６を、アパーチャ板６に形成された開口部６ａと温度計測用中空導波路１の中空領域５とが一致するように取り付けられているものである。 （もっと読む）

【課題】タービン構成部品の二次元強度マップを示す信号を出力する撮像システムの提供。
【解決手段】動力または推力を提供する作動流体４６と流体連通している複数の構成部品５２、５４、５８、６０、６２、６６、７０、７２を含むタービン１８と光学的に連通している撮像システム３６で、タービン１８の動作中に少なくとも１つの構成部品５２、５４、５８、６０、６２、６６、７０、７２の広波長域画像を受け取り、広波長域画像を複数の狭波長域画像に分割し、各狭波長域画像の二次元強度マップを示す信号を出力するように構成される。 （もっと読む）

【課題】赤外線強度検出手段の耐久性を低下させるおそれが少ない状態で、赤外線強度検出手段にて検出対象となる赤外線を精度よく検出して、被加熱物の材質の違いにかかわらず被加熱物の温度を精度よく検出することが可能となる加熱調理器を提供する。
【解決手段】被加熱物Ｎに接当して温度検知用被加熱体１５が設けられ、赤外線強度検出手段１３が赤外線の強度を検出するように設けられ、演算手段が、赤外線強度検出手段１３にて検出される赤外線強度から被加熱物Ｎの温度を演算するように構成されており、温度検知用被加熱体１５と赤外線強度検出手段１３とを支持する支持部材１６が設けられ、支持部材１６が内筒部材１９と外筒部材２０とを備え、内筒部材１９の内部に赤外線強度検出手段１３を備え、内筒部材１９の上端部と温度検知用被加熱体１５との間に通風用の開放部Ｓ３を形成している。 （もっと読む）

【課題】赤外線強度検出手段の耐久性を低下させるおそれが少ない状態で、赤外線強度検出手段にて検出対象となる赤外線を精度よく検出して、被加熱物の材質の違いにかかわらず被加熱物の温度を精度よく検出することが可能となる加熱調理器を提供する。
【解決手段】被加熱物Ｎに接当される温度検知用被加熱体１５が設けられ、赤外線強度検出手段１３が、温度検知用被加熱体１５から放射される赤外線の強度を検出するように設けられ、演算手段が、赤外線強度検出手段１３にて検出される赤外線強度から被加熱物Ｎの温度を演算するように構成されており、温度検知用被加熱体１５と赤外線強度検出手段１３とを支持する支持部材１６が筒状部１８を備え、筒状部１８の内部に赤外線強度検出手段１３を橋架して備えて、冷却風を筒状部１８の内部を通して通風させる通風式の冷却手段２６が設けられている。 （もっと読む）

この開示は、火炎の中の温度を決定するように、且つ火炎の中に存在する燃料の粒径を決定するように構成された光学的測定装置（１００）に係る。この光学的測定装置（１００）は、火炎の中の光の情報を測定して測定結果を出力するためのカラー・カメラ（１０）と、それらの測定結果を評価するように構成された評価ユニット（２０）とを含んでいる。更に、石炭燃焼発電プラント（２００）に、粉砕された石炭を、それぞれ、火炎の中で燃焼させるための多数のバーナ（３５）、及び上記の多数の光学的な測定装置（１００）が設けられている。更に、温度及び火炎の中に存在する燃料の粒径を決定するための対応する方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】改良型の多波長温度計を提供する。
【解決手段】熱測定システム（１０）は、光収集デバイス（２２）と、光収集デバイス（２２）と通信する検出システム（４０、１４０、２４０、３４０）とを含む。検出システム（４０、１４０、２４０、３４０）は、気体（８０）からの光（９４）強度を検出するように構成されている。本発明は、特定の実施形態の観点から記載されており、明示的に述べられているものを除き、均等形態、代替形態、及び変更形態が可能でありかつ添付の特許請求の範囲の範囲内にあることが確認されている。 （もっと読む）

【課題】被測温材が水冷中でその表面温度が２００℃程度の低温域であっても、精度良く測温可能な表面温度測定方法等を提供する。
【解決手段】本発明は、水冷中の被測温材Ｍの表面から放射された熱放射光を該被測温材の表面に対向配置した放射温度計１で検出することにより、該被測温材の表面温度を測定する方法であって、放射温度計で検出する熱放射光の波長を１．６０〜１．８０μｍとすることを特徴とする。放射温度計から被測温材の表面に向けてエアーを噴射することにより、被測温材の表面と放射温度計との間にエアー柱を形成し、このエアー柱を介して被測温材の表面から放射された熱放射光を放射温度計で検出する。 （もっと読む）

【課題】スキッドにより金属材を搬送する加熱炉において、金属材下面のスキッドマークの温度を、より正確に測定することができる加熱炉及び加熱方法を提供すること。
【解決手段】炉内の金属材を複数のスキッドによって搬送しつつ加熱する加熱炉を提供する。この加熱炉１は、スキッドの間に配置され、金属材Ｆの下面の温度分布を測定する温度測定装置１００と、温度分布からスキッドマーク量ΔＴを算出する温度算出部１２と、を有し、温度測定装置１００は、炉内ガスによる吸収及び放射が起こらない波長を有する単色輝度により、金属材の放射エネルギー分布を計測する輝度計測部１１０と、輝度計測部１１０の測定範囲内で輝度計測部１１０の近傍に配置され迷光を補正するための温度既知物体１２０と、輝度計測部１１０が計測した単色輝度分布を迷光補正して、金属材Ｆの温度分布を求める演算部１３０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】金属材が適切に加熱されたことを、より正確に判定して、加熱炉を制御すること。
【解決手段】炉長方向に金属材Ｆを搬送しつつ加熱する加熱炉１を制御する加熱制御装置１０を提供する。この加熱制御装置１０は、搬送方向に沿って配置され金属材表面の温度分布を測定する複数の温度測定装置１００と、金属材表面中、他の位置に比べて高温となることが予想され加熱過程中で管理されるべき第１位置Ｐ１と、他の位置に比べて低温となることが予想され加熱過程中で管理されるべき第２位置Ｐ２とを決定する位置決定部１１と、測定された温度分布に基づいて、第１位置と第２位置との温度差を算出する温度差算出部１２と、温度差に基づいて、金属材の加熱完了を判定する判定部２２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】厚鋼板の板厚方向および鋼板面内の材質均一性を向上させる操業管理が可能な、厚鋼板の材質保証設備を提供する。
【解決手段】仕上圧延機２と仕上圧延機の下流側に設置された加速冷却装置５を備えた厚鋼板製造ラインにおいて、温度計測手段と温度実績解析手段とを備え、前記温度計測手段は、仕上圧延機の後面および加速冷却装置の前後面のそれぞれの位置に設置されるスポット型放射温度計７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄおよび走査型放射温度計６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄと、スポット型放射温度計に対応する位置に設置される光ファイバー放射温度計８ａ，８ｂ、８ｃ、８ｄと、前記走査型放射温度計に対応する位置にライン幅方向に任意の間隔で複数台設置される光ファイバー放射温度計とからなり、前記温度実績解析手段は、前記各温度計測手段で計測された鋼板温度から鋼板全体の温度分布を求める手段からなることを特徴とする厚鋼板の材質保証設備。 （もっと読む）

【課題】安価に製造することができる赤外線検出器及び当該赤外線検出器を組み込んだデバイス製造装置の提供。
【解決手段】赤外線を透過する窓材と、感熱抵抗体が梁によって基板から浮いた状態で支持されてなる赤外線検出素子と、前記赤外線検出素子を気密状態で封止可能な密封容器と、前記赤外線検出素子と外部回路とを接続するための端子と、前記密封容器の内外を繋ぐ、閉じられていない排気管と、を少なくとも備える赤外線検出器であって、前記赤外線検出器は、デバイス製造装置のチャンバ内の、試料を望む位置に配置され、前記試料から放射され、入射光学系により集光された赤外線を検出して当該試料の表面温度を測定するために使用され、前記チャンバが真空引きされる際に、前記排気管を介して前記密封容器内も真空引きされる。 （もっと読む）