【課題】測定可能な膜厚の上限値を容易に変更することができる光干渉システム、基板処理装置及び計測方法を提供する。
【解決手段】光干渉システム１は、光源１０、コリメータ１２、単一の受光素子４１、チューナブルフィルタ４０及び演算装置１５を備える。コリメータ１２は、光源１０からの測定光を測定対象物の第１主面へ出射するとともに、第１主面及び第２主面からの反射光を入射する。単一の受光素子４１は、コリメータ１２からの光の強度を取得する。チューナブルフィルタ４０は、受光素子４１に入射される光の波長を掃引する。演算装置１５は、チューナブルフィルタ４０及び受光素子４１を用いて、波長に依存した強度分布であって第１主面及び第２主面からの反射光の強度分布である干渉強度分布を測定し、干渉強度分布をフーリエ変換して得られる波形に基づいて測定対象物の厚さ又は温度を計測する。 （もっと読む）

【課題】 焦電型光検出器の検出出力を高めること。
【解決手段】 焦電型光検出器は、基体２０と、支持部材３０と、支持部材３０に支持された複数の焦電キャパシターＣａｐａとを有する。支持部材３０は、第１面３０Ａと、第１面３０Ａに対向する第２面３０Ｂとを含み、第２面３０Ｂと基体２０との間に空洞部１００が形成されている。支持部材３０に支持された複数の焦電キャパシターＣａｐａは、分極方向が揃う方向に電気的に直列に接続されている。 （もっと読む）

【課題】良好なシーンへの適応性を有する赤外線サーモグラムを提供する。
【解決手段】ＦＰＧＡチップを含み、ＦＰＧＡチップは、フレームの無効走査期間において、現フレームの画像の初期ヒストグラムの曲線分布を示す初期ヒストグラムのデータに対して個別重み累計処理を行うことにより、明るすぎる画素や暗すぎる画素を除去するとともに、前回の無効走査期間において処理された前のフレームの画像の階調データを伝送する画像処理モジュールと、画像処理モジュールと接続され、フレームの有効走査期間において、画像処理モジュールから受信した前のフレームの画像の階調データに対して多段折れ線式の階調オフセット処理を行うことにより、輝度が明るすぎる階調データや暗すぎる階調データに対して程度の異なる階調のオフセットを施すとともに、多段折れ線式の階調オフセット処理後の前のフレームの画像の階調データを出力する画像出力モジュールとを含む。 （もっと読む）

【課題】画像処理によって、残像の少ない赤外線画像を可能にする赤外線固体撮像装置を提供する。
【解決手段】一実施形態によれば、感熱画素からなる赤外線検出素子部と、前記赤外線検出素子部により得られた赤外線の画像信号をアナログ−デジタル変換するＡＤ変換器と、デジタル信号に変換された画像信号を処理するデジタル信号処理部からなる赤外線固体撮像装置を提供する。前記デジタル信号処理部が、現フレームの直前フレームの取得画像値を記憶し、現フレームの取得画像値から、前記直前フレームの取得画像値に対し予め定めた０から１の間の定数αを乗算した画像値を減算し、さらに減算した画像値を１／（１−α）倍する処理をすることにより、残像の少ない赤外線画像を提供する。 （もっと読む）

【課題】従来の熱センサ装置は、熱センサ装置にかかる処理負荷が高く、撮像素子に対する熱ノイズが大きくなってしまうという問題があった。
【解決手段】筺体と、筺体に収納され、熱画像を撮像する撮像素子と、筺体に収納され、前記撮像素子からの信号を変換して温度データを得るための変換演算回路と、筺体に収納され、前記変換演算回路で得られた温度データを保持するデータ記憶素子と、筺体に収納され、外部と通信をするための通信回路と、を有する熱センサ装置と、前記熱センサ装置と通信することで前記データ記憶素子にて保持されている温度データを取得する温度データ受信回路と、受信した温度データから温度分布画像を生成する温度分布画像生成回路と、前記温度分布画像生成回路から取得した温度分布画像を表示するディスプレイと、を含む前記熱センサ装置とは別体となる表示システムと、からなる熱画像システムを提案する。 （もっと読む）

【課題】赤外線熱影像アレーモジュールの検証装置と検証方法の提供。
【解決手段】主に本発明の赤外線熱影像アレーモジュールの検証装置と検証方法は、熱影像モジュール規格設計、エピタキシャルと光学物性検証を含み、先ずエピタキシャルパラメーターの校正を行う。単乙型感知部品製造工程と変温光電量測定検証を行い、これによりエピタキシャルは感知部品の低温変温と変圧測定校正を完成する。焦平面アレー製造工程とその光電均一度の検証を行い、暗電流均一度テストを行う。焦平面アレーと信号読み出し集積回路の接着と研磨製造工程検証を行い、感知モジュールと信号読み出し集積回路間にインジウム接着を行い光電信号を転換する。熱影像品質統合テスト検証を行い、最適駆動と制御出力パラメーター分析と測定を調整する。熱影像アレーモジュール雛形を継続して行い、インジウム柱接合方式を利用し、焦平面感知アレーと接合し、影像感知アレーモジュール雛形を完成することができる。 （もっと読む）

【課題】低価格で非接触方式である、携帯型無線端末を提供する。
【解決手段】極めて広く普及している携帯型無線端末の液晶表示画面近傍に非接触の赤外線検出素子を組み込み、使用者の額の温度を計測する。非接触且つ操作者の存在なくして、体表面温度或は体温の計測を高精度に実現できる。携帯型無線端末の、被計測者に対する位置決めの方法としては、いわゆる「自分撮り」と呼ばれる、携帯型無線端末の利用者自身の顔を撮影するためにＬＣＤディスプレイの近傍に設けられている副撮像素子を用いる方法と、ＬＣＤディスプレイ表面の保護パネルを鏡の代わりとして用いる方法がある。また、位置決めが困難な場合には、赤外線検出素子で顔全体を走査し、得られた体表面温度のうち最も温度が高い値を額の体表面温度として採用する方法もある。 （もっと読む）

【課題】簡易な光学系と測定系とによって不輝炎の燃焼ガスの自発光をとらえて二次元断面の温度分布を測定できるようにする。
【解決手段】測定対象断面を碁盤目状に分割し、当該碁盤目の各段毎のマス目の並び方向中心位置におけるガスの発光強度を計測すると共に各列毎のマス目の並び方向中心位置における前記ガスの発光強度を計測し、これら発光強度に基づいて前記各段・各列毎のバンドスペクトル強度を求め、前記ガスの燃焼属性に基づいて前記測定対象断面の平均ガス温度を計算し、当該平均ガス温度と前記各段・各列毎のバンドスペクトル強度とを用いて前記碁盤目の各マス目の中心位置のガス温度を算出するようにした。 （もっと読む）

【課題】画像上の変化が起きたタイミングでの正確な物理量を把握することのできる画像記録装置を提供する。
【解決手段】画像記録装置１００は、測定対象物Ａを動画として撮影する撮影手段１と、測定対象物Ａに関する物理量を測定する測定手段２と、撮影手段１からの映像信号から同期信号を分離する同期信号分離手段３１と、測定手段２により測定された測定データを、同期信号に基づいて動画の画像フレーム毎に取得し、画像上の明暗となるように２値化して、映像信号に合成して出力する信号合成手段３２と、有し、信号合成手段３２が、明暗に２値化された測定データを、測定データに対応する画像フレームの少なくとも１つの走査線上に表示するように出力することにより、撮影された画像を解析する際に各フレームが撮影されたタイミングと測定値取得のタイミングとが一致し、画像上の変化が起きたタイミングでの正確な物理量を把握することができる。 （もっと読む）

【課題】素子特性バラツキを原因とする出力電圧のバラツキを低減できる検出回路、センサーデバイス及び電子機器等の提供。
【解決手段】検出回路は、焦電素子１０と、検出回路の出力ノードＮＱと低電位側電源ノードとの間に設けられ、焦電素子１０からの検出信号がゲートに入力される第１のＰ型トランジスターＴＰ１と、高電位側電源ノードと出力ノードＮＱとの間に設けられ、ゲートが基準電圧ＶＲに設定される第２のＰ型トランジスターＴＰ２を含む。 （もっと読む）

【課題】被写体に対する出力信号の精度の向上を図ること。
【解決手段】第１の取得部６０１によって受光素子群から暗電流の値を取得し、特定部６０２によって、受光感度特性に基づいて、第１の取得部６０１で取得された各受光素子からの暗電流の値に対応する受光感度を特定する。つぎに、比率算出部６０３によって、特定部６０２で特定された受光感度と補正目標である所定の受光感度との比率を受光素子毎に補正係数として算出し、この補正係数を記憶部６０４に記憶する。そして、補正部６０６は、記憶部６０４に記憶されている補正係数を用いて、第２の取得部６０５で取得した出力信号を補正する。出力部６０７は補正された出力信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】 測定結果の再現性を向上させることが可能な耳式体温計を提供する。
【解決手段】 温度検出素子と赤外線検出素子とを備え、該温度検出素子により検出された環境温度と該赤外線検出素子により検出された相対温度とを用いて、被検者の体温を測定する耳式体温計１００であって、中空の筒状体によって形成され、前記耳腔内に挿入されるプローブ１０１と、測定者の指に装着するための装着機能１０６〜１０８を有し、該装着機能１０６〜１０８を用いて該測定者の指に装着した場合に、前記プローブ１０１の支持位置が、該測定者の手指末節部の手掌面に対向する位置となるように、前記プローブを支持する装着部１０２、１０４と、前記プローブ１０１の先端面から外周面にかけて連続して配されたセンサが複数配置された接触検知部１２１と、を備え、該センサ全てにおいて接触が検知されたことを条件に、体温の算出を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】空間の背景温度と異なる温度をもつ熱源を検出し、その熱源が人であるかどうかを識別し、人と判断した熱源の位置座標、発熱体の大きさ、平均温度、最大温度、最小温度、熱源周辺の背景温度を出力する。
【解決手段】２次元に配置された赤外線検出素子を用い空間の温度分布を計測し、その背景温度と異なる温度をもつ発熱体が空間に存在した場合、その発熱体の重心を求め、重心の位置座標を記憶していき、順次検出した発熱体の重心座標を中心とする設定エリア内に記憶された重心座標の数が設定値を超えたとき、その発熱体は人である情報と共に、発熱体の位置座標、大きさ、平均温度、最大温度、最小温度、熱源周辺の背景温度を出力する。 （もっと読む）

【課題】非冷却赤外線センサに用いるためのシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】システムおよび方法は、温度補償された性能アルゴリズムを含み、これを使用して温度補償された応答およびオフセット補正係数を提供し、これを赤外線センサのビデオ信号に与え、センサの温度変化によって起こるビデオ信号の変動を補正する。 （もっと読む）

【課題】物体の温度の検出精度を向上することが可能な温度センサを提供する。
【解決手段】制御手段は、ＭＯＳトランジスタ４をオン状態とする際の第２のパッドＶsel1〜Ｖsel8の電位ＶsをＶon、ＭＯＳトランジスタ４をオフ状態とする際の第２のパッドＶsel1〜Ｖsel8の電位ＶsをＶoffとし、第２のパッドＶsel1〜Ｖsel8の電位ＶsをＶonとしたときに、第４のパッドＶrefinの電位（Ｖref）と第３のパッドＶchの電位（Ｖwell）との電位差に起因して第４のパッドＶrefin−感温部（熱電変換部）３０−ソース領域４４−ウェル領域（チャネル形成用領域）４１−第３のパッドＶchを通る経路で流れるリーク電流が、Ａ／Ｄ変換回路における入力値の分解能を感温部３０の抵抗値と増幅回路の増幅率との積により除した値以下となるように予め設定されたＶwell、Ｖrefの条件で赤外線センサ１００を制御する。 （もっと読む）

【課題】十分な測定精度を確保しつつ、測定作業が簡素化され、構成が簡単でコスト低減をはかることが可能な、赤外線センサを用いた温度測定装置およびその補正方法を提供する。
【解決手段】測定対象の温度をＴｂ、赤外線センサ部１の出力（該出力に対応する赤外線センサ出力測定部３による測定出力）をＶ、赤外線センサ部１の出力に関するオフセットをｃ、温度係数をｂ、赤外線センサ部１（赤外線センサ部１自体）の温度をＴｒ、温度の演算式における冪指数をαとするとき、Ｔｂ＝｛（Ｖ−ｃ）／ｂ＋Ｔｒα｝^1/αなる演算によって測定対象の温度Ｔｂを算出する。この場合、温度測定装置１０には、冪指数α、温度係数ｂ、および、オフセットｃの各定数を予め保持しておく。該各定数は、赤外線センサ部の出力の実測値と予測値との差を２乗してデータ取得回数Ｎ分の和をとった、ばらつきを表す既定の関数の値を最小とする条件を充足するものとして各算出される。 （もっと読む）

【課題】 熱型光検出器の小型化を、無理なく実現すること。
【解決手段】 熱型光検出器は、基板ＢＳと、光吸収膜５を含む熱型光検出素子９０と、熱型光検出素子を搭載する搭載部５６と、一端が搭載部の一端に連結され、他端が基板の一端に支持される第１アーム部５２と、一端が搭載部の他端に連結され、他端が基板の他端に支持される第２アーム部５４と、を有する支持部材と、を含み、第１アーム部５２には、熱型光検出素子９０に電気的に接続される複数本の配線４３ａ，４３ｂが設けられ、第２アーム部５４には、熱型光検出素子９０に電気的に接続される配線が設けられず、かつ、前記第２アーム部５４の長さは、第１アーム部５２の長さよりも短く設定される。 （もっと読む）

【課題】 従来用いられている大きな焦電係数を有する焦電材料で得られる感度に近い感度を有し、かつマイクロ電子製造方法によって容易に作製可能な焦電材料を用いた、経時温度変化から電位差への変換を行うトランスデューサを提供する。
【解決手段】 このトランスデューサは、測定される経時温度変化をもたらす物体に対向するように作られている導電性の上部電極（４０）と、導電性の下部電極（４２）と、上部電極と下部電極との間に、機械的な外部応力が存在していない場合にも、経時温度変化に対応する電位差を発生させるために、上部電極と下部電極との間に配置されている少なくとも一層の焦電材料層（４４）とを備えており、焦電材料層の少なくとも一層は、ＩＩＩ−Ｖ窒化物をベースにしている層である。 （もっと読む）

【課題】焦電型の赤外線検出素子及びこれを用いた赤外線検出装置において、画素として用いる赤外線検出素子の受光面積を小さく、膜厚を薄くしても、ノイズの影響を低減化することを目的とする。
【解決手段】基板１１と、支持電気絶縁層１２と、第１の電極１４と、焦電層１５と、第２の電極１６と、を備える。焦電層１５は、受光面積が１×１０^２μｍ^２以上１×１０^４μｍ^２以下であり、膜厚が０．８μｍ以上１０μｍ以下であり、且つ、Ｐｂ（Ｚｒ_ｘＴｉ_１−ｘ）Ｏ_３（但し０．５７＜ｘ＜０．９３とする）で表される化合物を主成分とする。圧電ノイズを抑え、十分な焦電特性が得られ、高い感度の検出が可能となる。 （もっと読む）

【課題】プライバシーを保護しつつ、特定スペース内における使用者の異常を高精度に検知する。
【解決手段】特定スペース３０内における所定箇所に配置した熱画像センサ１０で取得した熱画像データを判別処理装置２０が所定時間毎に取り込む。判別処理装置２０は、記憶部２２に記憶する判別用計算式に基づき、取り込んだ熱画像データから画素若しくは画素エリア単位で温度値を算出し、その判別用計算式に代入して取得した熱画像データの熱画像判別値を算出する。そして、算出した熱画像判別値と記憶部２２に記憶された異常判別用閾値とを比較し、熱画像判別値が異常判別用閾値を超えた場合に、特定スペース３０内で使用者に異常が発生していると判別し、入出力部２１を介して異常検知を示す異常発生信号を外部出力する。 （もっと読む）