【課題】成膜中における基板上の表面温度を正確に測定することができる表面温度測定方法及び表面温度測定装置を提供すること。
【解決手段】ウエハＷの放射光を所定波長領域にわたって複数の波長範囲に分ける分光器１４と、分光器１４によって得られた複数の波長範囲の光の強度をそれぞれ検出するアレイセンサ１５と、アレイセンサ１５によって検出された複数の波長範囲毎の強度を累積加算して放射強度の積分値を算出するとともに、温度と積分値との関係が予め関連付けられたリファレンスデータに基づいて積分値から表面温度を算出するコンピュータ１７とを具備するようにした。 （もっと読む）

【課題】遠くの物体（１０４）の温度Ｔ_Ｏを検出するための方法およびシステムを提供する。
【解決手段】メモリ（１１６）内に、赤外線センサの出力電圧を、赤外線センサによって感知された温度に関連付けるＶ（Ｔ_Ｏ，Ｔ_Ａ）ルックアップテーブル（３００）を格納し、赤外線センサのすぐ近くの温度Ｔ_Ａに対応する温度センサ電圧出力を決定し（２０２）、赤外線センサのすぐ近くの温度Ｔ_Ａおよび基準温度Ｔ_ＲＥＦの関数としての第１の電圧Ｖ（Ｔ_Ａ，Ｔ_ＲＥＦ）を決定し（２０４）、決定された温度センサ電圧出力および第１の電圧を組み合わせることによって、物体の温度Ｔ_Ｏおよび基準温度Ｔ_ＲＥＦの関数としての第２の電圧Ｖ（Ｔ_Ｏ，Ｔ_ＲＥＦ）を決定し（２０６）、第２の電圧を使用して、物体の温度Ｔ_Ｏを、ルックアップテーブルから決定する（２０８）。 （もっと読む）

このシステムは、カラー・カメラ及び光学系を使用して、炉、ボイラ燃焼領域、又はバーナー火炎などの対象物から発せられる２つの色を温度画像にマッピングする。カラー・カメラは、色ごとに、散在する画素を有するカラー・ビデオ・チップを利用して、整合上の問題を軽減させ、同じ光路を利用する。さらに、光学系は、２重帯域通過光フィルタを利用し、それによって光学要素の数を減少させ、光学系による放射損失を最小化し、それによってシステムのダイナミック・レンジを改善する。
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【課題】放射率を固定値とした場合に発生する計測誤差を解消し、且つ、発光する溶融池の温度計測が可能である、非接触方式の溶融池の温度計測手法を提案する。
【解決手段】溶融池の温度計測装置１０において、温度計測の対象となる計測点から放射される赤外線エネルギーの強度を検出する赤外線放射検出器１２と、前記計測点の放射率を計測する放射率計測手段としての二色放射温度計１１と、前記赤外線エネルギーの放射強度と、前記放射率に基づいて、前記計測点の温度を算出する演算処理装置１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は赤外線撮像装置を提供する。
【解決手段】被測体からの赤外線放射を受光する光学システムと、光学システムが受光した赤外線放射を電気信号に変換する赤外線検知部と、赤外線検知部で生成された電気信号を赤外線画像に変換する信号処理・制御部とを含む。本発明によれば、多くの先端技術と機能を一つの赤外線撮像装置に組み込むことができ、体積が小さく、重量が軽く、操作が簡単で、そのうえ多機能、拡張性がよいなどの特性が実現される。 （もっと読む）

【課題】高い絶対波長分解能、高い相対波長分解能且つ高い対波長感度での高速検知を小型で安価な装置で実行可能にする。
【解決手段】光センサたる刺激波長コンバータ１２は、ある光子エネルギレンジ内で、刺激２０例えば広波長域光照明の内容に応じた光子エネルギピーク値を有する光２４即ち狭波長域光を出射する。伝搬部材３０は、コンバータ１０の出射光２４を拡散光３２に変換して光検知アセンブリ３４内の透過構造４０へと伝搬する。その光子エネルギ透過特性に横変性がある多層の構造４０は、その入射面にて受光した光３２の光子エネルギλａ，λｂに応じ異なる領域４２，４４から光子４６，４８を放出する。光子検知部材５０の位置５２，５４における光子放出量検知結果同士の比較により光子量差分や構造４０における光子放出位置を検知し、光２４の波長変化や光子エネルギ分布を求める。 （もっと読む）

【課題】 厚さの薄いＳｉウエハが測定対象であっても、低温下においてそのＳｉウエハの温度を正確に測定することができるＳｉウエハの温度測定方法を提供する。
【解決手段】 Ｓｉウエハ１の肉厚内で該ウエハ１の主として径方向に沿ってから放射される赤外光のうち、中心波長が９〜１０μｍ、波長範囲が８〜１６μｍの放射赤外光を、Ｓｉウエハ１の端部に該Ｓｉウエハ１の表面に対してほぼ４５°に傾斜するように形成された斜面１ｅで全反射させて略垂直方向へ導いて赤外線放射温度計２に入射させることにより、その赤外光の放射エネルギー量からＳｉウエハ１の温度を算出する。
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【課題】人体検知装置の検知精度を周囲温度が人体温度以上の高温の場合でも向上させること。
【解決手段】人体検知装置３は、赤外線検出部４と、人体の温度付近に定めた所定温度未満では高温であるほど増幅率が高い第一の増幅部(1) と、前記所定温度以上では高温であるほど増幅率が低い第二の増幅部(2) と、赤外線放射物体が人体であるか否かを判定する人体判定部９と、監視エリアの周囲温度を検出する温度測定部７と、検出した温度に応じて前記２つの増幅部を切り替える切替制御部８及びスイッチ回路５とを備える。周囲温度が人体温度以上の高温の場合も含めて、周囲温度によらず人体検知の感度は略一定となり、人体検知装置の検知精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】基板処理チャンバ中の基板の温度を測定するためのプローブを正確に較正する。
【解決手段】本発明に係るプローブは、一方の端部が処理チャンバ中に挿入されている光導体を含む。光導体の他の端部は、二またの光ファイバに結合されている。光源は、光ファイバの１つの支線に光学的に結合され、高温計は他の支線に光学的に結合されている。プローブを自己較正するために、安定した反射率の物体、たとえば金メッキされたウェハがチャンバ中に挿入され、光源が起動され、物体から反射した光の強度が高温計によって測定される。 （もっと読む）

【課題】 ＣＶＤによる成膜に際し、プラズマに影響されずに基板温度を測定する。
【解決手段】 プラズマ輻射スペクトルの計測処理Ｓ１では、分光輝度計により、黒体輻射のない状態のプラズマ輻射スペクトルを測定する。フィッティングに要する波長領域の選定処理Ｓ２では、プラズマ輻射スペクトルのうち、フィッティングに適した領域を選定し、プラズマ輻射・スペクトルの決定処理Ｓ３でプラズマ輻射スペクトルを決定する。フィッティング処理Ｓ４では、プランクの放射則による理論式とプラズマ輻射スペクトルの和を最少自乗法によって測定スペクトルにフィッティングさせ、評価を行う。 （もっと読む）

【課題】包装体のヒートシール状態の検査を高精度かつ高速で行う判別検査方法と、ヒートシール状態をディスプレイ上で表示する方法を提供する。
【解決手段】ヒートシール直後に、ヒートシール部に沿った多数点の測定部位の赤外線放射量をセンサで複数回測定して、内部ノイズに起因する異常測定値を、周辺部位の測定結果との比較により判別除去し、ノイズを除去した部位に該部位周辺部の赤外線放射量の平均値を代替値として置換し、その後、ノイズによる異常値を除去し代替値で置換したものを含む各部位の測定値を時間推移による移動平均処理する。この処理により得られた赤外線放射量分布データを良品基準データと比較して良否判定を行う。不良が認められると、不良信号をヒートシール包装体の製造包装工程などに発信する。ヒートシール状態は、ディスプレイ上で測定温度に応じて色が異なるセルを測定部位に合わせて配列したマトリックス表示する。 （もっと読む）

【課題】焼鈍炉内で熱処理される鋼板の表面温度をオンラインで連続的に測定するのに好適な、鋼板温度計測方法と装置を提供することを目的とする。
【解決手段】加熱炉の炉壁の一部に赤外波長領域での放射率が高い耐熱物質を埋め込み、該耐熱物質からの放射光が前記鋼板の表面で正反射する方向において、複数の波長の放射輝度を、各々複数の偏光角成分において測定し、その測定した複数の波長での複数の偏光角成分のおける各々の放射輝度信号と前記耐熱物質の表面温度とにもとづいて前記鋼板の放射率を算出し、該放射率を元にして前記鋼板の表面温度を算出する。 （もっと読む）

【課題】より高精度の赤外線画像検査方法および装置を提供する。
【解決手段】検査装置２０がワークピース２２の第１の面２４に光７０，７２を案内するように位置決めされた光源５０，５２を含む。赤外線検出器６０が第１の面２４からの放射光７８を受け取るように位置決めされる。光源５０，５２と赤外線検出器６０とにデータ収集処理コンピュータ５６が接続される。コンピュータ５６は光源５０，５２をトリガして複数のインスタンスで光７０，７２を照射させる。コンピュータ５６は各インスタンスの後で温度データを複数回収集する。コンピュータ５６は理論解を用いながら温度データを処理して、複数のインスタンスにおける複数回収集された温度データの中でそれぞれ対応する収集回の温度データの平均に基づいて温度データを解析する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、テーパ光ファイバの製造において使用されるバーナーノズルから発される火炎の空間温度分布を測定する方法及び装置を与えることを目的とする。
【解決手段】方法及び装置は、テーパ光ファイバ及びヒューズカプラの製造における使用に対してバーナーノズルから発される火炎の空間温度分布を測定するよう与えられる。バーナーの位置は、製造中、火炎の最も熱的に安定した部分内で光ファイバを位置決めするよう修正され得る。 （もっと読む）

【課題】
サーモリフレクタンス法による高速検査可能な測定装置及び方法の提供。
【解決手段】
ニポウディスク１２０を有する共焦点光学系を備え、共焦点光学系を介して被検査対象のサンプルの複数の箇所に、検査用と加熱用レーザ光を照射し、被検査対象のサンプルからの複数の箇所からの反射光に基づき複数の箇所の熱物性情報を同時に取得する。 （もっと読む）

【課題】 各素子の対象温度対出力特性を広い測定温度範囲において校正し、精度よく被検出対象を検出することができる温度分布測定装置を提供すること。
【解決手段】 赤外線を分布状に検出する複数のサーモパイル素子１２１と、検出範囲から集光するレンズ１１と、検出信号から温度を算出する温度演算部２５とを備える温度分布測定装置において、３点の黒体炉温度より求めた校正データを記憶する校正値記憶部２４を設け、温度演算部２５は、校正データを用いて検出信号から温度を算出する。 （もっと読む）

【課題】 全てのサーモパイル素子の出力を飽和しないで取り込める為、測定可能温度範囲を広くでき、また、ゲインをさらに上げることができる温度分布測定装置を提供すること。
【解決手段】 赤外線を分布状に検出する複数のサーモパイル素子１２１と、検出範囲から集光するレンズ１１と、検出信号の増幅を行う第１増幅部１４、差動増幅部１７と、を備える温度分布測定装置において、第１増幅部１４は、検出信号とレンズの口径触又はコサイン四乗則による中心と周辺部の出力の相違を補正するDA変換信号出力部２３のDA変換信号を加算した。 （もっと読む）

【課題】 エアバックに封入されているガスの温度分布をエアバックの外側から測定できるようにする。
【解決手段】 エアバック１１０に封入されているガスの温度分布を測定するためのガス温度分布測定装置であって、エアバックを通して放射されてくる特定の赤外線吸収スペクトル帯における赤外線を画像として入力する赤外線カメラ２０Ａ〜２０Ｃ、画像入力部４１と、入力された画像に対し赤外線放射強度分布を求め、赤外線放射強度分布を特定の赤外線吸収スペクトル帯におけるエアバックの透過率で補正し、入力された画像を較正する画像較正部４４とを有する。 （もっと読む）

【課題】 複数の素子を有する赤外線センサアレイの高増幅によるノイズを効率良く除去し、精度よく検出できる温度分布測定装置を提供すること。
【解決手段】 赤外線を分布状に検出する複数のサーモパイル素子１２１と、検出範囲から集光するレンズ１１と、検出信号の増幅を行う増幅部１４とを備える温度分布測定装置において、増幅部１４は、ハイパスフィルタ１４２ａを通過させた検出信号をフィルタ通過信号とし、検出信号からフィルタ通過信号を減算してノイズを除去しつつ増幅する。 （もっと読む）

【課題】デュアル素子の焦電型赤外線センサを用いる非接触入力装置において、同一コマンドを小さな動作で容易に連続入力できるようにする。
【解決手段】デュアル素子の焦電型赤外線センサ１からの信号により正極性信号または負極性信号のどちらかの信号の検出に基づいて、移動方向を決定する。移動方向を決定した信号の入力から所定時間以内に、その信号と同極性の信号を検出したとき、移動方向と同一方向とするので、同一のコマンドを小さな動きで連続入力することができる。 （もっと読む）