【課題】小型化もしくは受光部の拡大が可能で、信頼性を確保でき、さらに、解像度特性を改善できる放射線検出器を提供する。
【解決手段】複数の光電変換素子13が配列された受光部14、および光電変換素子13と電気的に接続された素子用電極パッド15を有する固体撮像素子12を備える。外部接続用電極パッド18およびこの外部接続用電極パッド18と電気的に接続されている電極端子19を有する基台17に、固体撮像素子12を固定する。素子用電極パッド15と外部接続用電極パッド18とを配線20で電気的に接続する。素子用電極パッド15、外部接続用電極パッド18および配線20を一体に被覆する保護層21を気相成長法によって形成する。固体撮像素子12の受光部14上とともに、保護層21で被覆された素子用電極パッド15、外部接続用電極パッド18および配線20上にシンチレータ層22を形成する。配線20をシンチレータ層22内に埋没固定する。 （もっと読む）

【課題】従来の^３Ｈｅガス中性子検出器と比べると、限られた発生源の^３Ｈｅガスを節約し、感度が高い低コスト中性子検出装置を提供する。
【解決手段】本検出器１０は、内側体積部３０を画定及び封止する外側シェル２０と、内側体積部において外側シェルの少なくとも一部分上に配置された、中性子感度が高いボロン被覆部５０とを含む。ボロン被覆部及び外側シェルの一方は、カソードとして機能し、内側体積部内に配置された中央構造物３８は、アノードとして機能する。本検出器は、中性子感度が高いボロン被覆部に衝突する中性子に応答して、カソードとアノードとの間に電気エネルギーパルスを導く、内側体積部内のガスを含む。ガスは、³Ｈｅガスに衝突する中性子に応答してアノードにより受け取られる電気エネルギーパルスを発生させる。本方法は、中性子が³Ｈｅガスに衝突することにより、少なくとも１つの中性子を検出するステップを含む。 （もっと読む）

【課題】電磁ノイズの影響を抑制しつつ、フレキシブル基板の移動による接触や擦れに伴う帯電を抑制することができる放射線画像撮影装置を提供する。
【解決手段】放射線画像撮影装置において、放射線画像検出器１４は、放射線検出パネル１４２と、信号処理基板１４４と、放射線検出パネル１４２に一端を電気的に接続し、信号処理基板１４４に他端を電気的に接続するフレキシブル基板１８２、１８４と、放射線検出パネル１４２及び信号処理基板１４４を収納するとともに、フレキシブル基板１８２を内壁から離間状態において収納する筐体１４０と、フレキシブル基板１８２の移動によってフレキシブル基板１８２の筐体１４０に接触する領域に配設された導電体１８６とを備える。 （もっと読む）

【課題】開口率を著しく向上することが可能な光検出装置を提供すること。
【解決手段】光検出装置１は、半導体基板１Ｎを有する半導体光検出素子１０Ａと、半導体光検出素子１０に対向配置される搭載基板２０とを備える。半導体光検出素子１０Ａは、ガイガーモードで動作すると共に半導体基板１Ｎ内に形成された複数のアバランシェフォトダイオードＡＰＤと、それぞれのアバランシェフォトダイオードＡＰＤに対して電気的に接続されると共に半導体基板１Ｎの主面１Ｎｂ側に配置された電極Ｅ７とを含む。搭載基板２０は、電極Ｅ７毎に対応して主面２０ａ側に配置された複数の電極Ｅ９と、それぞれの電極Ｅ９に対して電気的に接続されると共に主面２０ａ側に配置されたクエンチング抵抗Ｒ１とを含む。電極Ｅ７と電極Ｅ９とが、バンプ電極ＢＥを介して接続されている。 （もっと読む）

【課題】水分による下部電極の腐食を抑制することができる、半導体素子、放射線検出器、及び半導体素子の製造方法を提供する。
【解決手段】層間絶縁膜２３及びＴＦＴ保護層３０を一括してエッチングされたコンタクトホールを埋めつつ、ゲートパッド４０及びデータパッド５０が形成されるため、下部電極１１を介さずに、データパッド５０と第２信号配線層５２が接続されると共に、ゲートパッド４０と第１信号配線層４２とが接続される。従って、保護層３４の開口部には下部電極１１が設けられておらず、水分が侵入した場合でも腐食が発生する恐れが少なく、下部電極１１の腐食を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は上記問題点を解決するために成されたものであり、光電変換素子の静電破壊を防止することができると共に、導電体を任意の電圧に設定することができる、光電変換基板、放射線検出器、及び放射線画像撮影装置を提供する。
【解決手段】基板１上に形成されたＴＦＴスイッチ４及びセンサ部１０３の上面が平坦化層１８により平坦化されており、当該平坦化層１８の略全面に帯電防止機能を有する導電膜３０が形成されている。導電膜３０は、接続配線５２と一体的に形成されており、切替部５４に接続されている。また、切替部５４は、制御装置１０６から入力される制御信号に応じて、接続配線５２の接続先を、バイアス電源１１０、内部電源５６、及びグランドのいずれかに切り替える。光電変換基板６０の上には、シンチレータ７０が形成されており、シンチレータ７０は、光電変換基板６０に近い方から非柱状部７１及び柱状部７２を備えている。 （もっと読む）

【課題】中性子を検出するための中性子変換部の不純物含有を最小限とし、薄く均一な中性子変換材の塗布方法、および、それを用いた中性子検出器を提供する。
【解決手段】中性子検出器１０は、内部容積の境界となる外殻２０と、カソードであり微細特徴を有する壁部分３０と、内部容積の内部に位置するアノードである中心構造５４と、壁部分３０上にホウ素コーティング６０を含む。ホウ素コーティング６０は、静電噴霧工程により塗布され、壁部分３０上の微細特徴に適合する。壁部分３０は、２から５ミクロンの間の厚さを有する。 （もっと読む）

【課題】電離箱の気密性を高める構造を採用し、信頼性の高い電離箱式放射線検出器を提供する。
【解決手段】電離箱の鏡板１１と排気管１３との間に介在する排気管接合ジョイント１２は、アルミニウム製部材１２１と銅製部材１２２とを気密接合して流路１２３を有するように一体に形成されており、アルミニウム製部材１２１は電離箱の鏡板１１に気密溶接され、また、銅製部材１２２には排気管１３が気密溶接される電離箱式放射線検出器とした。 （もっと読む）

【課題】イオンのフィードバックを低減して検出感度を維持することが可能な検出器を提供する。
【解決手段】光検出器１は、ガスによる電子増倍作用を利用した検出器において、複数の貫通孔８Ａが表面９Ａ上の一方向に沿って規則的に設けられ、電子増倍領域を生成するための電界を形成する平板電極３Ａと、平板電極３Ａに平行に配置され、複数の貫通孔８Ｂが一方向に沿って規則的に設けられ、ガス中に電子増倍領域を生成するための電界を形成する平板電極３Ｂと、平板電極３Ａの反対側で平板電極３Ｂに対向して配置され、電子増倍領域によって増倍された電子を取り出す陽極５とを備え、貫通孔８Ａの直径は貫通孔８Ｂの直径より小さく、貫通孔８Ａの中心位置は貫通孔８Ｂの中心位置に対して一方向に沿ってずれている。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子装置で用いられ、高計数率でも計測できるシリコンドリフトダイオード検出器を提供する。
【解決手段】SDD200と、増幅器206と、該増幅器206の出力と切り換え可能なように接続するたとえば抵抗器208又はダイオードの形態をとるフィードバック素子を備える検出器で、前記フィードバック素子がスイッチ209を介して選ばれるとき、当該検出器206は、電子電流を決定する電流測定モードで動作し、前記フィードバック素子が選ばれないときは、X線量子エネルギーを決定するパルス高さ測定モードで動作する。 （もっと読む）

【課題】 マイクロフォニックノイズを簡便に抑制できる放射線検出器を提供する。
【解決手段】 Ｘ線平面検出器１０において、Ｘ線検出器本体１１はシンチレータ層１３およびアクティブマトリクス基板１４を備える。シンチレータ層１３の上面に反射層１５が形成され、アクティブマトリクス基板１４の表面側に所要数の画素１６が二次元配列され、アクティブマトリクス基板１４の裏面側に通気性例えば開口パターンを有する第１の導電性層１７が密着するように形成されている。アクティブマトリクス基板１４は第１の導電性層１７を通して筐体１２の基台１８上に支持される。このようにして、Ｘ線検出器本体１１は基台１８および保護カバー体１９の間に密閉状態に収容され、保護カバー体１９は接着層２０を介し基台１８の縁端部に接着する。 （もっと読む）

【課題】 マイクロフォニックノイズを簡便に抑制できる放射線検出器を提供する。
【解決手段】 Ｘ線平面検出器１０は、Ｘ線検出器本体１１が筐体１２に内に密閉状態に収容された構造にある。Ｘ線検出器本体１１は、シンチレータ層１３およびアクティブマトリクス基板１４を備える。シンチレータ層１３の上面に反射層１５が形成され、アクティブマトリクス基板１４の表面側に所要数の画素１６が二次元配列され、アクティブマトリクス基板１４の裏面側に第１の導電性層１７が形成される。アクティブマトリクス基板１４は、第１の導電性層１７を通して筐体１２の基台１８上に支持される。このようにして、Ｘ線検出器本体１１は基台１８および保護カバー体１９の間に収容される。保護カバー体１９は、接着層２０を介し基台１８の縁端部に接着する。 （もっと読む）

【課題】放射線に起因する特性劣化を抑制して信頼性を向上させることが可能なトランジスタを提供する。
【解決手段】放射線撮像装置は、フォトダイオードとトランジスタとを含む画素回路を有する。トランジスタは、基板上の選択的な領域に配設されたゲート電極と、ゲート電極上に第２ゲート絶縁膜を介して設けられた半導体層と、半導体層上に第１ゲート絶縁膜を介して設けられると共にゲート電極に対向するゲート電極と、ゲート電極上に設けられた第１層間絶縁膜と、半導体層に電気的に接続されて設けられたソース電極およびドレイン電極と、一部がゲート電極の端部に対向して設けられたシールド電極層とを備える。第２ゲート絶縁膜、第１ゲート絶縁膜および第１層間絶縁膜のうちの少なくとも１つはシリコン酸化膜を含む。シールド電極層により、放射線の入射によって生じる正電荷の影響による閾値電圧のシフトが抑制される。 （もっと読む）

【課題】放射線に入射角度に依存することなく当該放射線の入射方向を同定することができるとともに、検出感度の高い新規な構成のガス増幅を用いた放射線検出器を提供する。
【解決方法】１つの絶縁部材の一面に円形状の複数の開口部を有する第１の電極パターン、及び絶縁部材の他面上に形成されるとともに、絶縁部材を貫通し、第１の電極パターンの複数の開口部それぞれの中心部に先端が露出してなる複数の凸状部を有する第２の電極パターンを含み、第１の電極パターンの、複数の開口部及び第２の電極パターンの、複数の開口部それぞれに露出した複数の突状部によって複数のピクセル電極が形成されてなる検出電極を、所定の絶縁中間部材を介して当該部材の表裏に形成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、例えば、薄膜状電極、正孔注入阻止層などにキズや、ムラが発生した場合でも、それによる陰の出現が起きないようにすることを目的とするものである。
【解決手段】そしてこの目的を達成するために本発明は、下方側がＸ線入射面となったＸ線透過性基板１７と、このＸ線透過性基板１７の上面側の上方に順次設けた薄膜状電極１８、正孔注入阻止層１９、光変換膜層２０、電子注入阻止層２１とを備え、前記正孔注入阻止層１９および薄膜状電極１８を貫通し、前記Ｘ線透過性基板の上面に達する凹部３２を形成。 （もっと読む）

【課題】ＣＴシステムなどの撮像システムのための検出器モジュール、およびその検出器モジュールを製造するための方法を提供する。
【解決手段】検出器モジュールは、第１の面３０６および第２の面３０８を有する直接変換センサ３０２のアレイを含む。直接変換センサ３０２の第１の面３０６は、放射線を受け、受けた放射線を対応する電荷信号に変換するピクセルのアレイを形成するセグメント化電極面３１４を含み、第２の面３０８は共通電極面を含む。また、検出器モジュールは、１つまたは複数の直接変換センサに結合している読み出し電子回路を含み、読み出し電子回路は放射線から遮蔽されるように構成されている。さらに、検出器モジュールは、１つまたは複数の直接変換センサに第２の面３０８で結合しているバイアス電圧回路３１０を含む。 （もっと読む）

【課題】臭化タリウム放射線検出器の電極と臭化タリウム結晶の間のタリウム層挿入工程によるコスト上昇を回避しつつ、ポーラリゼーション無しに長時間安定して計測できる安価な放射線計測装置、およびそれを用いた安価な核医学診断装置を提供する。
【解決手段】半導体結晶として臭化タリウムを用いてなる半導体放射線検出器と、前記半導体放射線検出器に電圧を印加するコンデンサと、前記コンデンサの一方の電極に正電荷と負電荷を蓄積可能な少なくとも１つ以上の直流電源と、を備えた放射線計測装置であって、前記半導体放射線検出器のカソード電極およびアノード電極が金、白金、パラジウムのうちの少なくとも１つ以上の金属で構成され、前記直流電源が前記コンデンサの前記一方の電極に正電荷を蓄積する電圧と負電荷を蓄積する電圧を１０分よりも短い時間毎に周期的に切換えて供給する。 （もっと読む）

【課題】臭化タリウム放射線検出器を用いた放射線検出装置における同時計数の時間分解能を上げることができる放射線検出装置及びこれを有する陽電子断層撮影装置を提供する。
【解決手段】ガンマ線を検出する臭化タリウム放射線検出器と、該臭化タリウム放射線検出器の一方の電極に接続されタイミング信号を取得する電流増幅型前置増幅器と、該電流増幅型前置増幅器に直列接続されエネルギー信号を取得する積分回路と、他方の電極に検出器バイアスだけを印加する電源とを備えた放射線検出装置及びこれを有する陽電子断層撮影装置である。 （もっと読む）

【課題】アレイ基板上の金属配線露出部での水分の関与による腐食反応を防止すると共に、アレイ基板カット面とＦＰＣの擦れによる断線を防止し、高温高湿下や結露状態などの環境負荷が大きい状態においても高い信頼性を確保した放射線検出器及びその製造方法を提供する。
【解決手段】シリコーン樹脂をアレイ基板１２／ＦＰＣ４７の隙間に塗布形成して絶縁防湿被覆５３とする。また、シリコーン樹脂をアレイ基板１２／ＦＰＣ４７の隙間だけでなく、接着されたＡＬハットからなる防湿層１５の鍔部１５ａ端部まで同時に塗布形成して絶縁防湿被覆５５とする。 （もっと読む）

【課題】検出分解能を向上させた新規な構成の放射線検出器を提供する。
【解決手段】絶縁部材１１と、前記絶縁部材１１の第１の面上に形成されるとともに、円形状の複数の開口部を有する第１の電極パターン１２、及び前記絶縁部材１１の前記第１の面と相対向する第２の面上に形成されるとともに、前記絶縁部材を貫通し、前記第１の電極パターンの前記開口部の略中心部に先端が露出してなる凸状部を有する第２の電極パターン１３を含むピクセル型電極とを具え、前記絶縁部材１１及び前記ピクセル型電極は、前記第１の電極パターン１２の内方に設定された中心軸Ｉ―Ｉの回りに、湾曲するようにして、放射線検出器を構成する。 （もっと読む）