【課題】試料の温度調整を局所的に行うことにより、試料ドリフトを抑制することができる検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】半導体試料１１８を保持する試料ステージ１０９と、半導体試料１１８上の半導体素子の電気特性測定に用いる複数のプローブ１０６と、プローブ１０６に通電する通電手段と、通電手段によりプローブ１０６を介して通電された半導体試料１１８上の半導体素子の電気特性を測定する電気特性測定器１１３と、半導体試料１１８の部分温度を調整するプローブ２０６と、半導体試料１１８に相対してプローブ２０６を駆動するプローブ駆動手段１０８と、プローブ２０６に電流を流して加熱する通電手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】高湿度の環境を長時間維持させる環境試験装置を改良するものであり、消費電力が低く、且つ送風に起因する諸問題を解決することができ、且つ実験データの信頼性が高い環境試験装置を開発する。
【解決手段】被試験物の吸湿状態を監視する吸湿状況検知手段３５を備えている。また制御装置４は、吸湿状況検知手段３５から出力される電流の変化率Ｒ（単位時間当たりの変化量）が一定の閾値以下となるか否かを判断する判定部を備える。吸湿状況検知手段３５が検知する基板３０のリーク電流の変化率が一定の閾値以下となれば、送風機２０の送風量を低下させる信号を発する。即ち基板３０の吸湿量が飽和状態となれば、ステップ６で送風量を減少させる。 （もっと読む）