【課題】基板を斜めにセットする場合でも電気検査工程における検査精度の低下を抑制することができる基板検査装置及び基板検査方法を得る。
【解決手段】ストッパーピン３６が円孔１１８の周囲に接触した状態で、レバーを操作して支持台１２を近接離間方向の近接側に移動さて、支持部材２２をバネ３４の付勢力に対抗して支持台１２側に移動させる。そして、ガイドピン４６の円錐部４６Ａを円孔１１８に挿入し、ストッパーピン３６と円錐部４６Ａとの間で基板１００を保持させる。円孔１１８の円縁が、接触部４０によって夫々の円錐部４６Ａに押し付けられ、基板１００を基板１００の面沿い方向に移動させることで、基板１００の位置ずれが補正されるため、電気検査工程における検査精度の低下を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】測定針の位置を正確に認識して測定針を正確に半導体装置の電極パッドに接触させることができる半導体検査装置を提供すること。
【解決手段】検査ボード２と、前記検査ボード２に接続された測定針３と、前記測定針３の先端部側を、測定対象の半導体装置１２に対して垂直となるように規制する規制板４と、前記測定針３の先端部の位置を光学的に検出し、前記測定対象の半導体装置１２を所定の検査位置に移動させることができるステージ１１とを備え、前記規制板４の前記ステージ１１に対向する面に、前記測定針３の先端部の位置を示す指標６が配置されている。 （もっと読む）

【課題】検査効率を向上させる。
【解決手段】一方の面に形成されているフィデューシャルマーク１０２ａの撮像結果および他方の面に形成されているフィデューシャルマーク１０３ａの撮像結果に基づいてプロービング位置を補正しつつ検査用プローブをそれぞれプロービングさせる第１プロービング機構および第２プロービング機構と、各検査用プローブを介して入出力する電気信号に基づいて電気的検査を実行する検査部と、一方の面におけるパターン形成領域２０１ａと他方の面におけるパターン形成領域２０２ａとの相対的な位置ずれ量Ｇｒ１ｘ，Ｇｒ１ｙを特定する処理を実行する処理部と、位置ずれ量Ｇｒ１ｘ，Ｇｒ１ｙと基準値とを比較して回路基板１００の良否を判定する判定部とを備え、処理部は、撮像結果に基づいて測定した第１基準パターンおよび第２基準パターンの各測定位置に基づいて位置ずれ量Ｇｒ１ｘ，Ｇｒ１ｙを特定する。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の動的解析を短時間で行う技術を提供する。
【解決手段】ＳＤＬ／ＬＡＤＡ解析に用いるスポット光１２の径を変更可能なようにする。大径のスポット光による検査対象の半導体装置の照射中、テスタは該当する照射範囲の電気的動作の検証を行う。この照射中、不良箇所を見つけた場合には、小径のスポット光に切り替えて、検査対象の半導体装置に照射し、テスタによるより小範囲の電気的動作の検証を行う。これを反復することで、不良箇所の特定を行う。 （もっと読む）

【課題】プローブカードの取り付け基準面と検査対象であるウェハの表面との平行度が失われていても、そのプローブカードが保持するプローブをウェハに対して一様にコンタクトさせることができるプローブカードの平行度調整機構を提供する。
【解決手段】検査対象であるウェハ３１と検査用の信号を生成する回路構造との間を電気的に接続する複数のプローブ１を保持するプローブカード１０１のウェハ３１に対する平行度を調整するため、プローブカード１０１を取り付けるプローバ２０１の取り付け基準面Ｓ₁に対してプローブカード１０１の傾斜度を変更する傾斜度変更手段の少なくとも一部をなす調整ねじ２２を設ける。 （もっと読む）

【課題】本発明は、半導体素子の故障解析方法及び故障解析装置に係り、故障箇所を位置精度よく特定して解析することにある。
【解決手段】コントローラに、半導体素子への電力供給により該半導体素子の裏面から発せられる光を撮像手段にて検出させることにより該半導体素子の故障箇所を特定させる。次に、半導体素子の表面電極側に配置された圧痕用プローブを該半導体素子の表面電極に接触させ、かかる状況において、半導体素子の表面電極側から該表面電極へレーザを走査照射した場合に得られる走査位置と電流量との関係を示した電流像に基づいて、半導体素子の表面電極上で圧痕用プローブが接触する接触箇所を特定させる。そして、半導体素子上で特定した故障箇所と接触箇所との位置ズレ量に基づいて、圧痕用プローブを前記半導体素子の表面電極に接触させる位置を変更させる。 （もっと読む）

【課題】チップ面積を増大させることなく、針ずれに起因する誤測定や誤検査を防止することができる、半導体装置および半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体装置は、内部回路と、内部回路と電気的に接続されるとともに、検査装置に接続された複数の探針がそれぞれ接触する複数のパッドを備える。少なくとも２つのパッド２ａ、２ｂの間に、当該２つのパッド２ａ、２ｂを電気的に接続するとともに、所定の電流を印加することにより、恒久的に、電気的に切断されるヒューズ素子４が設けられる。パッド２ａ、２ｂの間の抵抗値を測定することで、針ずれの有無を検知することができる。その後、ヒューズ素子を切断し、内部回路の検査が実施される。 （もっと読む）

【課題】 供試機器内で発生する電磁ノイズの影響が低減された、注入された電磁ノイズの伝搬経路分布を得ることを目的とする。
【解決手段】 本発明にかかる電磁ノイズ分布検出装置は、電磁ノイズを供試機器に注入する信号注入手段と、前記供試機器における複数の測定箇所から電磁界強度を検出する電磁界強度検出手段と、検出された前記電磁界強度を最大値検波により測定する最大値検波手段と、前記供試機器における任意の測定箇所から得られた電磁界強度について、複数回の最大値検波による測定から得られた測定値のうち、最小値を保持する最小値保持手段と、前記最小値保持手段に保持された最小値に基づき、前記供試機器上の前記電磁ノイズの伝搬経路分布を検出するノイズ分布検出手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】検査室内においてプローブカードのプローブの針先を検出することなくプローブカードと半導体ウエハの位置合わせを行うことができ、また、ダミーウエハを用いる必要がなく、迅速にプローブと半導体ウエハの位置合わせを行うことができるプローブカード検出装置を提供する。
【解決手段】プローブカード検出装置３０は、プローブカード１９またはプローブ補正カード３３を所定位置に位置決めして着脱可能に装着される支持体３１Ａを有するプローブ検出室３１と、プローブ検出室３１内に移動可能に設けられ且つプローブ１９Ａの針先またはターゲット３３Ａを検出する第１、第２のカメラ３２Ａ、３２Ｂと、を備え、第１、第２のカメラ３２Ａ、３２Ｂで検出される、２つのプローブ１９Ａの針先の水平位置と２つのターゲット３３Ａの水平位置との差を、プローブ１９Ａと半導体ウエハの電極パッドのアライメントを行うために用いられる補正値δとして検出する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハ上に形成された半導体装置の特性不良を精度よく検出することができる半導体装置の検査方法および検査装置を提供すること。
【解決手段】実施形態によれば、第１ウエハ検査工程と、２ウエハ検査工程と、判定工程とを含む半導体装置の検査方法が提供される。第１ウエハ検査工程は、複数個の半導体装置に同時にプローブ針を接触させるプローブカードを用いて半導体ウエハ上に形成された半導体装置の特性を検査する。第２ウエハ検査工程は、第１ウエハ検査工程によって特性不良と判定された半導体装置の半導体ウエハ上の分布に基づいて、プローブカードの半導体ウエハに対する位置を第１ウエハ検査工程の位置からずらして、半導体装置の特性を再検査する。判定工程は、第２ウエハ検査工程による再検査の結果に基づいて、半導体装置の特性不良のうち、複数個の半導体装置単位で行われる製造処理において生じる特性不良を判定する。 （もっと読む）

【課題】多点波形測定を必要とする電子部品の電気特性試験において、安価な構成で、かつ簡易な制御によって、被測定物測定点間が狭ピッチであっても、問題なく自動的にプロービングが可能なプロービング装置を得ること。
【解決手段】支持構造体５に垂直固定支持させた多数の両端コンタクトプローブ３の下方端を被測定物１が有する多数の被測定物測定点２に接触設定し、上方端を測定用回路基板８のＳ面パッド９に接触設定しておく。測定用回路基板８のＹ軸方向両端におけるＣ面信号パッド１０ａ、１０ｂ及びＣ面ＧＮＤパッド１１ａ，１１ｂはＸ軸方向に所定数設けてありそれらをプロービングするプローブ１２ａ，１２ｂ及びコンタクトプローブ１３ａ，１３ｂをＸ軸とＺ軸の２軸のうちの少なくともＺ軸方向に移動制御する。測定用回路基板８は、任意のＳ面パッド９に伝達された測定点の電気信号を表面信号パッドに伝達できる回路構成になっている。 （もっと読む）

【課題】検査効率を向上しつつプロービングの精度を向上させる。
【解決手段】プローブ５ａおよびカメラ４ａが取り付けられている取付部１４ａを移動させてプローブ５ａをプロービングさせるプロービング処理を実行するプロービング機構と、カメラ４ａによる撮像結果に基づいてプロービング処理の実行時における取付部１４ａの移動量の補正値を特定する制御部とを備え、制御部は、基準位置Ｐｓ１を示すデータに基づいて基準位置Ｐｓ１の対向位置にカメラ４ａが位置するように取付部１４ａを移動させたときのカメラ４ａの撮像領域の中心Ｃと基準位置Ｐｓ１との間の位置ずれ量を求めると共に、対向位置にカメラ４ａが位置しているときにプローブ５ａが位置する基準プローブ位置Ｐｐにおける補正値をカメラ４ａとプローブ５ａとの間の距離Ｌｘ１，Ｌｙ１および位置ずれ量に基づいて特定する補正値特定処理を複数の基準プローブ位置Ｐｐについて実行する。 （もっと読む）

【課題】載置体上に載置される被処理体を冷却する冷却機構の省スペース化及び低コスト化を実現することができる載置装置を提供する。
【解決手段】本発明の載置装置１０は、ウエハＷの電気的特性検査を行うためにウエハＷを載置するウエハチャック１１と、ウエハチャック１１を介してウエハＷを冷却する冷却機構１２と、を備え、冷却機構１２は、ウエハチャック１１の下面に設けられた熱交換器１２１と、熱交換器１２１の熱媒体１２１Ａから吸熱する吸熱部１２２Ａを有する冷却装置１２２と、を備え、冷却装置１２２は吸熱部１２２Ａを介して熱交換器１２１に固定されている。 （もっと読む）

【課題】部品実装基板に対して行う電気的検査において用いる検査用データを作成する際の入力作業を効率よくかつ正確に行う。
【解決手段】回路基板に電気部品（抵抗器Ｒ１，Ｒ２，Ｒ６，Ｒ７）が実装された部品実装基板に対して行う電気的検査において電気信号の入出力を行うための部品実装基板における検査ポイントを示すポイント情報を含む検査用データを作成する処理部と、ポイント情報を入力する操作が可能な操作部と、ポイント情報の入力時に参照させる図であって回路基板の配線（Ｗ１〜Ｗ３，Ｗ６，Ｗ７）および電気部品の配置を示す配置図Ｆを表示部１２に表示させる表示制御部とを備え、操作部は、配置図Ｆ内に図示されている配線を選択する選択操作が可能に構成され、処理部は、選択操作によって選択された配線を示す情報をポイント情報として検査用データを作成する。 （もっと読む）

【課題】検査ポイントや判定用の基準値を正確かつ効率的に設定する。
【解決手段】回路基板に電気部品が実装された部品実装基板に対して行う電気的検査において電気信号の入出力を行うための部品実装基板における検査ポイントを示すポイント情報を含む検査用データを作成可能に構成され、検査用データの作成時に参照させる図であって回路基板の配線および電気部品の配置を示す配置図Ｆ２を表示部１２に表示させる表示制御部を備え、表示制御部は、配置図Ｆ２を表示させる際に、予め設定された条件を満たす電気部品の図示を省略して表示させる第１表示処理を実行可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】プローブ針の針先平面度を高い精度で調整し、負圧による撓みを抑えて正確な検査を行う。
【解決手段】接続ユニットが、ポゴピンブロックと、ポゴピンブロック支持部とを有し、プローブカードが、複数のプローブ針が装着された配線基板と、上記配線基板を支持して上記配線基板の上記ポゴピンブロック側を負圧に保つ配線基板支持部と、上記負圧に抗して上記配線基板を支持するアンカーとを有する上記検査装置の、上記プローブ針の針先平面度を修正する配線基板調整治具である。上記ポゴピンブロックに設けられたポゴピン装着穴と、当該ポゴピン装着穴に装着されたポゴピンと、上記配線基板の上記ポゴピンブロック側を負圧にする吸引手段とを備え、上記吸引手段で真空引きして実際の検査使用時の上記配線基板の変形を再現する。また、他の発明は上記配線基板調整治具を用いた配線基板修正方法並びに検査方法及び検査システムである。 （もっと読む）

【課題】一つのＴＥＧで複数方向の位置ずれを検出できるようにする。
【解決手段】この半導体装置は、ＴＥＧ３００を有している。ＴＥＧ３００は、プラグ及び配線のいずれか一方である第１要素と、プラグ及び配線の他方である第２要素を有している。第２要素は、互いに異なる方向から第１要素に面しており、第１要素から離間している。本実施形態において、第１要素はプラグ３２０であり、第２要素は配線３３０である。プラグ３２０は、コンタクトであってもよいし、ビアであってもよい。またプラグ３２０は、配線３３０の上に位置していてもよいし、下に位置していてもよい。 （もっと読む）

【課題】部品実装基板に対して行う電気的検査において用いる検査用データを作成する際の入力作業の効率を向上させる。
【解決手段】回路基板に電気部品（抵抗器Ｒ１〜Ｒ８）が実装された部品実装基板における基板の配線（Ｗ１〜Ｗ７）上に規定されている規定ポイント（Ｐ１ａ〜Ｐ７ｂ）の中から選択されて部品実装基板に対して行う電気的検査において電気信号の入出力を行うための検査ポイントを示すポイント情報を含む検査用データを作成する処理部と、配線および電気部品の配置を示す第１配置図を表示部１２に表示させる表示制御部とを備え、表示制御部は、第１配置図内に図示されている配線を選択する第１選択操作が行われたときに規定ポイントの配置を示す第２配置図Ｆｂを表示部１２に表示させ、その際に、第１選択操作によって選択された配線上に規定されている規定ポイントを他の規定ポイントと識別可能に図示させる。 （もっと読む）

【課題】機器内で発生する電磁ノイズと同じ周波数の試験信号を注入した場合の近似的な分布を得ることのできる電磁ノイズ分布検出装置を得る。
【解決手段】信号発生器１は、供試機器１００内で発生する電磁ノイズの周波数から僅かにずらした周波数の信号を出力し、注入プローブ３によって供試機器１００に注入する。検出プローブ４は可動部７により供試機器１００上を走査し、供試機器１００の電磁界分布を検出し、電磁界強度計６によって電磁界強度の分布を測定する。ノイズ分布検出手段１１は、電磁界強度計６で測定された電磁界強度の分布を、供試機器１００内で発生する電磁ノイズの近似的な分布として検出する。 （もっと読む）