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Fターム[2H025AA01]の内容

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Fターム[2H025AA01]に分類される特許

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【課題】ポジ型レジスト組成物、及び該ポジ型レジスト組成物を用いるレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する基材成分(A)、及び露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)を含有するポジ型レジスト組成物であって、基材成分(A)は、側鎖に、環骨格中に−SO−を含む環式基含有エステル基を有する構成単位(a0−1)を有し、質量平均分子量(Mw)が10000以下の高分子化合物(A1−1)と、高分子化合物(A1−1)が有する構成単位と同一の構成単位(a0−1)を有し、Mwが、高分子化合物(A1−1)のMwの1.5倍以上である高分子化合物(A1−2)とを含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。 (もっと読む)


【課題】波長310〜380nmのレーザを露光光源とする露光方式に適用される青色着色組成物であって、塗膜表面剥がれおよび塗膜表面シワの発生がない、青色着色組成物、そのような青色着色組成物を用いたカラーフィルタの製造方法、およびそのような方法により製造されたカラーフィルタの提供。
【解決手段】基板上に青色着色組成物を用いて青色塗膜を形成する工程と、前記青色塗膜のフィルタセグメントの形成予定領域に、波長310〜380nmのレーザを照射して硬化させる工程と、前記青色塗膜の未硬化部分を除去してフィルタセグメントを形成する工程とを具備するカラーフィルタの製造方法に用いられる青色着色組成物であって、青色顔料、樹脂、エチレン性不飽和二重結合を有するモノマー、オキシムエステル系光重合開始剤および多官能チオールを含有することを特徴とする青色着色組成物。 (もっと読む)


【課題】 レーザ直接描画露光において高感度で、レジスト形状に優れ、解像度、密着性及び剥離性が良好なレジストパターンを形成することが可能なレーザ直接描画露光用感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの形成方法、及び、プリント配線板の製造方法を提供する。
【解決手段】 (A)バインダーポリマー、(B)エチレン性不飽和結合を少なくとも1つ有する光重合性化合物、(C1)アクリジン化合物、(C2)2,4,5−トリアリールイミダゾール二量体、(D)ハロゲン化合物及び(E)重合禁止剤を含有するレーザ直接描画露光用感光性樹脂組成物であって、前記(E)重合禁止剤の含有量が20〜100質量ppmであるレーザ直接描画露光用感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】ポジ型レジスト組成物、及び該ポジ型レジスト組成物を用いるレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する基材成分(A)、および露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)を含有するポジ型レジスト組成物であって、前記基材成分(A)は、環骨格中に−SO−を含む環式基を含む構成単位(a0−1)を有する高分子化合物(A1−1)と、前記高分子化合物(A1−1)が有する構成単位と同一の構成単位(a0−1)を有し、構成単位(a0−1)の含有割合(モル%)が、前記高分子化合物(A1−1)と異なる高分子化合物(A1−2)とを含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。 (もっと読む)


【課題】ポジ型レジスト組成物、及び該ポジ型レジスト組成物を用いるレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する基材成分(A)、および露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)を含有するポジ型レジスト組成物であって、基材成分(A)が、環骨格中に−SO−を含む環式基を含む構成単位を有する高分子化合物(A1−1)と、環骨格中に−SO−を含む環式基を含まず、酸解離性溶解抑制基を含むアクリル酸エステルから誘導される構成単位を有する高分子化合物(A1−2)とを含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。 (もっと読む)


【課題】リソグラフィー特性に優れたポジ型レジスト組成物、および該ポジ型レジスト組成物を用いるレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する基材成分(A)を含有するポジ型レジスト組成物であって、基材成分(A)は、芳香族基を有する構成単位(a0)、その環骨格中に−SO−を含む環式基を含む(メタ)アクリル酸エステル構成単位(a5)及び酸解離性溶解抑制基を含む構成単位(a1)を有する高分子化合物(A1)を含有する。 (もっと読む)


【課題】優れた感度で、LWRの小さい、良好な形状のレジストパターンを形成できるポジ型レジスト組成物、該ポジ型レジスト組成物の基材として利用できる高分子化合物、該高分子化合物の構成単位の合成に利用できる化合物、及びレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する基材成分(A)、及び露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)を含有するポジ型レジスト組成物であって、前記基材成分(A)は、酸解離性溶解抑制基を含む構成単位(a0)を有する高分子化合物(A1)を含み、かつ前記構成単位(a0)における酸解離性溶解抑制基が、下記一般式(a0−0−1)で表される基を含む。[式(a0−0−1)中、R’及びR’はそれぞれ独立して水素原子又は炭素数1〜5のアルキル基を表し、Yは単結合又は二価の連結基であり、Rはその環骨格中に−SO−を含む環式基である。]
[化1]
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【課題】レジストパターン形成時においてスカムが発生せず、基板とのマッチングが良好なポジ型レジスト組成物、該ポジ型レジスト組成物の基材として利用できる高分子化合物、およびレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する基材成分(A)を含有するポジ型レジスト組成物であって、基材成分(A)は、カルボキシル基を含有する構成単位、環骨格中に−SO−を含む環式基を含む構成単位、及び酸解離性溶解抑制基を含むアクリル酸エステルから誘導される構成単位を有する高分子化合物(A1)を含有する。 (もっと読む)


【課題】リソグラフィー特性が良好で、形成されるレジストパターンの形状も良好なポジ型レジスト組成物、および該ポジ型レジスト組成物を用いるレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する基材成分(A)、露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)、および含窒素有機化合物成分(D)を含有するポジ型レジスト組成物であって、前記基材成分(A)が、環骨格中に−SO−を含む構成単位を有し、かつ、その構造中に酸解離性溶解抑制基を含む高分子化合物(A1)を含有し、前記含窒素有機化合物成分(D)を少なくとも2種含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。 (もっと読む)


【課題】ポジ型レジスト組成物、および該ポジ型レジスト組成物を用いるレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】環骨格中に−SO−を含む環式基を含む構成単位および酸解離性溶解抑制基を含むアクリル酸エステルから誘導される構成単位で表される構成単位を有し、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する基材成分(A)と、フッ素系及び/又はシリコン系界面活性剤(E)と、露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)とを含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。 (もっと読む)


【課題】露光から露光後ベークまでの放置時間に関わらず高感度で現像時の膜減りの小さい感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】(a)アルカリ可溶性樹脂、(b)光重合性化合物、(c)光重合開始剤、(d)光酸発生剤および(e)酸により反応する架橋剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】良好な形状のレジストパターンを形成できるポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する基材成分(A)、および露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)を含有し、(A)成分は、側鎖の末端に「−SO−を含む環式基」を含む構成単位(a0)を有し、かつ、その構造中に酸解離性溶解抑制基を含む高分子化合物(A1)を含有し、(B)成分は、一般式(b1−1)[式中、Rは置換基を有していてもよい炭素数1〜12の炭化水素基である。ただし、−SOにおける硫黄原子に隣接する炭素原子にはフッ素原子は結合していない。Zは有機カチオンである。]で表される化合物からなる酸発生剤(B1)を含有するポジ型レジスト組成物。
[化1]
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【課題】波長365nmや405nmの光に対する感度が高く、塗布面状性に優れ、表面が平滑な硬化膜を形成可能な光重合性組成物、それを用いたカラーフィルタ及び平版印刷版原版を提供する。
【解決手段】下記一般式(1)及び一般式(2)で表される光重合性開始剤を含有する光重合性組成物。一般式(1)及び(2)中、B、B、R、X、及びXは、一価の置換基、Aは二価の有機基、Arはアリール基、Yは重合開始能を有する部分構造を含む一価の置換基を表す。m、nは0〜5の整数である。
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【課題】光の利用効率が高く、露光感度(感度、細線密着性、解像度)を向上させ、生産性に優れた感光性積層体及び感光性フィルム、並びに、プリント基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の感光性積層体は、光重合開始剤又は該光重合開始剤及び増感色素からなり345nm〜385nmの波長に感光性のピークを有する重合開始成分(A−1成分)、バインダー(B−1成分)、及び、1分子中に少なくとも一つの不飽和基を含有する重合性化合物(C−1成分)を含有する感光性樹脂組成物からなる第1の感光層と、光重合開始剤又は該光重合開始剤及び増感色素からなり386nm〜435nmの波長に感光性のピークを有する重合開始成分(A−2成分)、バインダー(B−2成分)、及び、1分子中に少なくとも一つの不飽和基を含有する重合性化合物(C−2成分)を含有する感光性樹脂組成物からなる第2の感光層と、を有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】良好な保存安定性、光感度及びアルカリ現像性を維持しつつ、硬化後の耐熱性、HAST耐性及び耐クラック性に優れる感光性樹脂組成物、並びに、これを用いた感光性エレメント、ソルダーレジスト及びプリント配線版を提供する。
【解決手段】(A)バインダーポリマーと、(B)エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物と、(C)光重合開始剤と、(D)増感剤と、(E)下記一般式(1)で表されるビスアリルナジックイミド化合物と、(F)特定構造のビスマレイミド化合物と、を含有する、感光性樹脂組成物。一般式(1)中、Rは炭素数1〜36のアルキレン基を示す。
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【課題】ポジ型レジスト組成物の基材成分として有用な高分子化合物、前記高分子化合物を含有するポジ型レジスト組成物、および該ポジ型レジスト組成物を用いるレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】環骨格中に−SO−を有する環式基を含む構成単位、フッ素原子を含む構成単位、および前記各構成単位とは異なる構成単位であって酸解離性溶解抑制基を含むアクリル酸エステルから誘導される構成単位を有する高分子化合物を含有するポジ型レジスト組成物。 (もっと読む)


【課題】現像液中においてカスの発生を抑制でき、感度、耐刷性、及び、現像性に優れた平版印刷版原版を提供すること。
【解決手段】(A)下記式(1)で表される単量体単位を有するバインダーポリマー、(B)エチレン性不飽和化合物、及び、(C)重合開始剤を含有する感光層を有することを特徴とする平版印刷版原版。式(1)中、R1は水素原子又はメチル基を表し、R2は酸素原子又はNR3を表し、R3は水素原子又は炭素数1〜10の一価の炭化水素基を表し、L1は水素原子以外の構成原子の数が2〜10である二価の連結基を表し、L2は水素原子以外の構成原子の数が2〜50である(n+1)価の連結基を表し、A−Hは酸解離定数(pKa)が11以下である残基を表し、nは1〜5の整数を表す。
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【課題】樹脂パターンの基板への密着性がより向上した感光性樹脂組成物、当該感光性樹脂組成物を用いて形成されたカラーフィルター、及び当該カラーフィルターを有する液晶表示ディスプレイを提供する。
【解決手段】本発明の感光性樹脂組成物は、ブロックイソシアネート化合物から誘導される構成単位を有するポリマー(a)と、光重合性モノマー(b)と、光重合開始剤(c)と、を含有する。上記ブロックイソシアネート化合物は、ラクタム系、オキシム系、アルコール系、又はフェノール系ブロック基によりブロック化されていることが好ましい。 (もっと読む)


【課題】高感度及び高解像度のフォトレジスト材料を提供する。
【解決手段】カリックスレゾルシナレン化合物と酸解離性溶解抑制基を有する化合物とを1〜3種の塩基性有機化合物を縮合剤として縮合し下記式(4)で表される化合物を合成し、これを高感度及び高解像度のフォトレジスト組成物に使用する。
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【課題】感度、解像度、密着性、レジスト形状、硬化後の剥離特性及びスラッジ除去性がいずれも良好である感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法を提供する。
【解決手段】(A)バインダーポリマー、(B)光重合性化合物、(C)ヘキサアリールビイミダゾール系化合物を含む光重合開始剤及び(D)下記一般式(4)で表される化合物を含む増感色素を含有する感光性樹脂組成物。
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