説明

Fターム[2H025BC01]の内容

フォトレジストの材料 (104,520) | 炭素−炭素不飽和基含有感光材料 (10,254) | 不飽和基 (2,302)

Fターム[2H025BC01]の下位に属するFターム

二量化型 (40)
付加重合型 (2,261)

Fターム[2H025BC01]に分類される特許

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【課題】支持体の背面からの露光手段に依って高精細なレリーフ形成を可能にする感光性樹脂支持構造体を提供すること。
【解決手段】支持体上に粘着剤層及びその保護膜が設けられている支持構造体において、その粘着剤層が支持体と接している面とは反対の面上に保護膜を剥がした状態において開口した連通する空気の通路を有するものであって、その空気の通路部分とその他の部分に配置される感光性樹脂の硬化性を均一にするために、それぞれの領域の紫外線透過率の差異を減じること。 (もっと読む)


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