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Fターム[2H025BC12]の内容

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【課題】遠紫外線光、特に波長が193nmのArFエキシマレーザを用いるミクロフォトファブリケーションの性能向上技術の課題を解決することであり、より具体的には、ブリッジマージンが良好な(即ち、パターン間が繋がってしまう欠陥の起こりにくい)ネガ型レジスト組成物を提供する
【解決手段】(A)酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が減少する樹脂、
(B)カチオン重合性化合物、
(C)光カチオン重合開始剤、
(D)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物と、を含有することを特徴とするネガ型レジスト組成物及びこれを用いたパターン形成方法。 (もっと読む)


【課題】優れた解像度を維持したまま除去性を十分に向上させることが可能な感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法並びに光硬化物の除去方法を提供する。
【解決手段】(A)共役ジエン部位を有する化合物及び求ジエン部位を有する化合物、(B)光ラジカル重合性化合物の光重合反応を開始させる光重合開始剤、を含有する感光性樹脂組成物であって、(A)共役ジエン部位を有する化合物及び求ジエン部位を有する化合物において、その一方、又は両方が、光ラジカル重合可能なエチレン性不飽和結合を分子内に有する化合物、またはディールス・アルダー反応により環を巻いた構造となっている化合物である、感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】高感度で、低露光量の場合や顔料を高濃度で含む場合でも、パターン形状、残膜率等に優れ、しかも基板との密着性にも優れた着色層を形成できる着色層形成用感放射線性組成物、該組成物の構成成分等として有用な不飽和基含有アルカリ可溶性重合体等を提供する。
【解決手段】不飽和基含有アルカリ可溶性重合体は、重合体主鎖が重合性不飽和カルボン酸および/または重合性不飽和カルボン酸無水物を必須成分とする単量体から構成され、重合体側鎖に(メタ)アクリロイルオキシアルキルシリル基および/またはビニルシリル基を有することを特徴とする。着色層形成用感放射線性組成物は、該不飽和基含有アルカリ可溶性重合体、着色剤、多官能性単量体および光ラジカル発生剤を含有する。 (もっと読む)


【課題】光重合開始剤や多官能モノマーに依存することなく、熱および/または光による硬化が可能な架橋性高分子化合物、およびこれを含有した高感度な感光性樹脂組成物を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、不飽和カルボン酸から誘導される構成単位(A)と、スチレン、メチルスチレン、α−メチルスチレンおよびインデンから選択される少なくとも1種の化合物から誘導される構成単位(B)とを含有する共重合体(I)に、下記式(1)で表される化合物(II)を付加させて得られる高分子化合物である。
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【課題】本発明は、分散機を用いて、顔料の分散を効率的に行ない、顔料の再凝集が発生せず、透過率、コントラスト、表面平滑性の高いカラーフィルタを製造できるカラーフィルタ用着色樹脂組成物用分散液、カラーフィルタ用着色樹脂組成物および上記分散液の製造方法を提供することを主目的とするものである。
【解決手段】上記目的を達成するために、本発明は、溶媒と、前記溶媒に分散した顔料と、前記顔料を溶媒に分散させる顔料分散剤とを有するカラーフィルタ用着色樹脂組成物用分散液であって、前記カラーフィルタ用着色樹脂組成物用分散液のゼータ電位の絶対値が10〜200mVであり、かつ、水分量が2%以下であることを特徴とするカラーフィルタ用着色樹脂組成物用分散液を提供する。 (もっと読む)


【課題】高感度、優れた保存安定性、高耐刷性を満足できる光重合性組成物を提供する。
【解決手段】下記一般式(I)で表される化合物、アルカリ可溶性のウレタン樹脂及び光重合開始剤を含有する。 (Q1k−R−(Q2m 一般式(I)(式中、Q1、Q2はそれぞれ独立して下記一般式(a)または(b)で表される基を、Rはn価の炭化水素連結基を、nはk+mであり2〜6の整数を、kは0〜6の整数を、mは0〜6の整数を表す。)
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【課題】本発明は、光重合性が高い光重合性モノマーを見出すことを課題とし、また画像形成時の強度が十分でかつ現像時の溶出性が良好で、長期間保存した場合でも溶出不良等の劣化が起こらない感光性組成物を見出すことを課題とする。特に可視光から赤外光のレーザーによる走査露光に於いても十分な感度で、画像部の強度に優れたネガ型感光性組成物、及びこれを利用した平版印刷版を提供することを課題とする。
【解決手段】分子内に下記一般式1で表される単位構造を2つ以上有する光重合性モノマー、分子内に下記一般式3で表される単位構造を2つ以上有する光重合性モノマー、一般式5で表される光重合性モノマー及び一般式7で表される光重合性モノマーから選ばれる重合性モノマーであって、該光重合性モノマーの−SHの残存率が5〜45%である事を特徴とする光重合性モノマー。 (もっと読む)


【課題】塩化水素によるフォトマスクや露光器への汚染を抑制できる酸素遮断膜、基板、パターン形成方法及びカラーフィルタの製造方法が提供される。
【解決手段】水溶性樹脂及び塩化水素と結合して水溶性化合物を形成する塩基性化合物とを備える酸素遮断膜を用いる。また、水溶性樹脂及び下記式(1)の化合物を備える酸素遮断膜を用いる。


ここで、R1は置換基を有してもよい炭素数1〜8のアルキル基、R2,R3は置換基を有してもよい炭素数1〜8のアルキル基又は水素を示し、R1,R2,R3は互いに同じであっても異なっていても良い。 (もっと読む)


【課題】本発明は、赤外光のレーザーによる走査露光に対し、高感度で、かつセーフライト耐性及び耐刷性に優れたネガ型感光性組成物、及びこれを利用した平版印刷版を提供することを課題とする。
【解決手段】ラジカルを発生する化合物、ビニル基が置換したフェニル基を側鎖に有する重合体、分子内にビニル基が置換したフェニル基を2個以上有するモノマー、及び下記化1で表される増感色素を含有することを特徴とする感光性組成物。
化1
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【課題】 脂環式オレフィンのメタセシス開環重合体を含有してなる感放射線性樹脂組成物を安全に且つ簡便に短時間で製造する方法、この方法によって得られる感放射線性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】 溶媒中で開環メタセシス重合触媒と連鎖移動剤との存在下に脂環式オレフィンを重合して得た脂環式オレフィン開環メタセシス重合体含有重合反応溶液に、感放射線化合物を配合することを特徴とする感放射線性樹脂組成物の調製方法。上記脂環式オレフィン開環メタセシス重合体含有重合反応溶液を水素添加反応に供して該重合反応溶液に含まれる重合体を水素添加して得た脂環式オレフィン開環メタセシス重合体水素添加重合体含有反応溶液に感放射線化合物を配合する感放射線性樹脂組成物の調製方法。この感放射線性樹脂組成物の調製方法により得られた感放射線性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】 レーザー走査による画像記録および機上現像が可能であり、機上現像性を良好に保持しつつ、細線再現性および耐刷性が優れた平版印刷版原版、および、該平版印刷版原版を用いた平版印刷方法を提供する。
【解決手段】 支持体上に、疎水性の主鎖および親水性のセグメント、または、親水性の主鎖および疎水性のセグメントを有するグラフトポリマーを含有する画像記録層を有し、該グラフトポリマーが分子内にエチレン性不飽和結合を少なくとも1つ有することを特徴とする平版印刷版原版、および、該平版印刷版原版を用いた平版印刷方法。画像記録層が赤外線吸収剤を含有する態様、および、画像記録層が機上現像可能である態様がより好ましい。 (もっと読む)


本発明は、プラスチック基板上にコートされる光硬化可能なポリマー組成物における形体のフォトリソグラフィックパターニングのための方法を含む。本発明のある実施態様において、プラスチック基板は、金属製障壁のような反射膜でコートされる。別の実施態様において、プラスチック基板は、光硬化放射線を吸収する添加剤を含むポリマー障壁層でコートされるか又は同時押し出し成形される。さらに別の実施態様において、プラスチック基板は、光硬化放射線を吸収する内在性添加剤を含む。これらの実施態様の組み合わせもまた本発明の範囲内にある。本発明の方法は、プラスチック基板上に支持される光硬化可能なポリマーを含むいずれの素子又は目的物の製造にも適用できるが、プラスチック基板上に支持される光硬化可能なポリマーを含む光導波路の製造に有利に適用されてもよい。 (もっと読む)


【課題】 ムラを顕著に減少させ、均一な膜厚に形成される感光性樹脂組成物と、前記感光性樹脂組成物からなるパターンを含む薄膜表示板及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明は、基板、前記基板上に形成されている薄膜パターン、前記薄膜パターン上に形成され、アルカリ可溶性樹脂、キノンジアジド化合物、界面活性剤及び溶剤を含有し、前記溶剤は、ジエチレングリコールジアルキルエーテル(アルキル基は1〜5個の炭素原子を有する)、3-エトキシプロピオン酸エチル、アルキルアセテート(アルキル基は3〜8個の炭素原子を有する)及びアルキルラクテート(アルキル基は1〜6個の炭素原子を有する)を含有する感光性樹脂組成物からなる絶縁膜を含む薄膜表示板及びその製造方法を提供する。 (もっと読む)


【課題】本発明は、光重合性が高く、高感度である新規な光重合性モノマーを見出すことを課題とし、また皮膜強度が十分でかつ現像時の溶出性が良好な感光性組成物を見出すことを課題とする。
【解決手段】分子内に下記化1で表される単位構造を2つ以上有することを特徴とする重合性モノマー、及びこれを含んでなる感光性組成物。
【化1】
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a) 処理されていないか又は前処理されている基板、及びb) (i)水性アルカリ性現像剤中に可溶性又は膨潤性の1種以上の高分子バインダー;(ii)1つ以上の非芳香族C-C二重結合と1つ以上のSH基とを分子中に含む1種以上のラジカル重合可能モノマー及び/又はオリゴマー;及び(iii)ラジカル重合のための輻射線感受性開始剤又は開始剤系を含む輻射線感受性塗膜を含んで成る平版印刷版前駆体であって、成分(ii)が式(I)、[ここで当該式中、各R1a、R1b、及びR1cは独立して、H、C1-C6アルキル、C2-C8アルケニル、アリール、ハロゲン、CN及びCOOR1dから選択され、ここでR1dは、H、C1-C18アルキル、C2-C8アルケニル、C2-C8アルキニル、又はアリールであり;そして、Zは脂肪族、複素環式又は複素芳香族スペーサー、又はこれらのうち2つ又は3つ以上の組み合わせであり、Zは随意選択的に、1つもしくは2つ以上の追加のSH基、及び/又は1つもしくは2つ以上の追加の非芳香族C-C二重結合を含むことができ;そして、各Z1は独立して、単結合、式(Ia)、(Ib)、(Ic)、(Id)、(Ie)、(If)、(Ig)、(Ih)、(Ij)、(Ik)、(Im)、(In)、(Io)、(Ip)、(Iq)、(Ir)、(Is)、(It)、(Iu)、(Iv)、から選択される、(ここで式中、R2a、R2b、及びR2cは独立して、H、C1-C6アルキル、及びアリールから選択され、Z2は、単結合、O、S及びNR2cから選択され、Z3は、Zに結合された単結合であり、bは、整数1〜10であり、そしてcは、整数1〜3である)]を有する平版印刷版前駆体。
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【課題】 顔料の分散性、分散安定性が高く、さらに耐光性も高く、塗膜外観の優れた膜を形成することができる感光性着色樹脂組成物、着色画像形成用感光液及び感光性エレメントとこれらを用いた光学特性の優れた着色画像の製造法及びカラーフィルターの製造法を提供する。
【解決手段】 顔料、樹脂、光重合性不飽和結合を分子内に1個以上含有するモノマー、及び光開始剤を含有する感光性着色樹脂組成物に、一般式(I)
【化1】


(Xは水素原子又はハロゲン原子であり、R1は水素原子又はアルキル基であり、R2はアルキレン基であり、R3は水素原子又はメチル基である)及び一般式(II)
【化2】


(R4は水素原子又はメチル基、R5はアルキレン基であり、Yは水素原子又はアルコキシ基であり、Zは水素原子又は水酸基である)で表される紫外線吸収性化合物を含有させる。 (もっと読む)


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