【課題】アルカリ水溶液を用いて現像可能な、高感度、高解像度を有し、さらに、タックフリーで、耐熱性、耐エッチング性、保存安定性も良好で、しかもエッチングレジストとして用いた場合に容易に除去できる感光性樹脂組成物及びその構成成分であるアルカリ可溶性樹脂を提供する。
【解決手段】カルボキシル基を有するセグメントを含む共重合体に、一分子中に１個以上のエチレン性二重結合とイソシアナート基を有する化合物を反応させて得られる側鎖にビニル基とカルボキシル基を有するアルカリ可溶性重合体と、エチレン性二重結合を有する化合物及び、光重合開始剤とからなることを特徴とする感光性樹脂組成物を提供する。 （もっと読む）