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Fターム[2H025CC03]の内容

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Fターム[2H025CC03]に分類される特許

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【課題】レジスト組成物、および該レジスト組成物を用いるレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が変化する基材成分(A)、および露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)を有機溶剤(S)に溶解してなるレジスト組成物であって、前記基材成分(A)が、その環骨格中に−SO−を含む環式基を側鎖に有するアクリル酸エステル系の特定の構成単位(a0−1)を有する高分子化合物(A1)を含有し、前記有機溶剤(S)が、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)、および2−ヘプタノンを含有することを特徴とするレジスト組成物。 (もっと読む)


【課題】硬化物が可とう性を備えた感光性樹脂組成物を提供するとともに、屈曲性に優れ、硬化又は加工の際に高温処理を必要としない絶縁皮膜が形成された回路配線基板を提供すること。
【解決手段】(A)ラジカル重合性の不飽和結合を有するポリアミド酸樹脂、及び(B)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物であって、(A)成分は、原料として芳香族テトラカルボン酸無水物を含む酸無水物成分と、全ジアミン成分100モルに対して脂肪族ジアミンを30〜100モルの割合で含むジアミン成分と、を反応させて得られる、下記一般式(1)で表される構成単位を有する脂肪鎖含有ポリアミド酸樹脂であり、(A)成分100重量部に対し(B)成分を0.5〜20重量部含有する。
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【課題】
流動性、及び諸耐性に優れる安定なカラーフィルタ用着色組成物、並びに、コントラスト比が高いカラーフィルタを提供すること。
【解決手段】
前記課題は、酸性顔料、片末端領域に水酸基を有するビニル系重合体の水酸基と芳香族テトラカルボン酸ニ無水物の酸無水物基とを反応して得られた分散剤(A)、3級アミノ基を有するビニル系樹脂(B)、有機溶剤(C)、活性エネルギー線重合性単量体(D)、活性エネルギー線重合開始剤(E)、及び、バインダー樹脂(F)を含有してなるカラーフィルタ用着色組成物によって解決することができる。 (もっと読む)


【課題】遮光能に優れた遮光性カラーフィルタを作製でき、支持体上に塗布したときの塗布欠陥の発生が抑制される感光性樹脂組成物及びその製造方法を提供する。
【解決手段】チタンブラックと、分散剤と、樹脂と、重合性化合物と、光重合開始剤と、プロピレングリコールアルキルエーテル系溶剤及びプロピレングリコールアルキルエーテルアセテート系溶剤から選択される少なくとも1種と、芳香族系溶剤及びケトン系溶剤から選択される少なくとも1種と、を含有する感光性樹脂組成物を製造する過程で、チタンブラック及び分散剤を含む混合液に対し、該チタンブラックの体積平均粒子径の変化が10nm/パス以下となるまで分散処理を行い、前記分散処理して得られた分散液に、更に分散剤を添加して分散処理を行う。 (もっと読む)


【課題】遮光能に優れた遮光性カラーフィルタを作製でき、大サイズのウエハ上に塗布した場合においても塗布膜厚の均一性に優れる感光性樹脂組成物及びその製造方法を提供する。
【解決手段】チタンブラックと、分散剤と、樹脂と、重合性化合物と、光重合開始剤と、プロピレングリコールアルキルエーテル系溶剤及びプロピレングリコールアルキルエーテルアセテート系溶剤から選択される少なくとも1種と、前記プロピレングリコールアルキルエーテルアセテート系溶剤以外のエステル系溶剤から選択される少なくとも1種と、を含有する感光性樹脂組成物を製造する過程で、チタンブラック及び分散剤を含む混合液に対し、該チタンブラックの体積平均粒子径の変化が10nm/パス以下となるまで分散処理を行い、前記分散処理して得られた分散液に、更に分散剤を添加して分散処理を行う。 (もっと読む)


【課題】臭素化エポキシ樹脂やハロゲン系難燃剤を用いずに優れた難燃性を得ることができ、解像性、密着性、耐熱性、耐薬品性、耐折性に優れ、燃焼時の臭化水素やダイオキシン類等の有害ガスの発生が抑制された感光性熱硬化型樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】(A)1分子中に(メタ)アクリロイル基とカルボキシル基とを有し、希アルカリ溶液に可溶な樹脂成分、(B)エポキシ基を有する熱硬化成分、(C)下記一般式[1]で示される(メタ)アクリロイル基含有リン化合物、


(但し、式中、Rは水素またはメチル基を示す。)
(D)ホスファゼン化合物、(E)光重合開始剤、および(F)希釈剤を含有する感光性熱硬化型樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】着色層の電気的な性質が液晶の配向乱れや、スイッチング性能に悪影響を与えることの無いカラーフィルタ、及び薄膜トランジスター(TFT)方式カラー液晶表示装置の駆動用基板上の着色層についても電気特性に優れたカラーフィルタを形成することができるカラーフィルタ用着色組成物、及びカラーフィルタを提供すること。
【解決手段】前記課題は、無水マレイン酸と無水マレイン酸以外の1種類以上のエチレン性不飽和単量体との共重合体(A)、顔料、バインダー樹脂(B)、活性エネルギー線重合性単量体、及び、活性エネルギー線重合開始剤を含有することを特徴とするカラーフィルタ用着色組成物によって解決される。 (もっと読む)


【課題】ガラス基板に対して薄膜で密着強度が高く、抵抗値が低く、高精細なパターンを形成可能な、安価なアルミニウム含有感光性組成物を提供すること。
【解決手段】アルミニウム粉末およびアルミニウム合金粉末から選択される少なくとも1種の金属粉末(A)、アルカリ可溶性樹脂(C)、多官能(メタ)アクリレート(D)、光重合開始剤(E)、ならびにジヒドロターピネオールおよびテキサノールから選択される少なくとも1種の溶剤(F)を含有し、該金属粉末(A)の平均粒径D50が1〜20μmであることを特徴とするアルミニウム含有感光性組成物。 (もっと読む)


【課題】スリット塗布を行った後減圧乾燥または真空乾燥による方法を用いることなく自然乾燥した場合にも、短時間の乾燥で、塗布ムラがなく、塗布膜厚が均一で、露光、現像後のレジストパターンの形状が良好な感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】感光性樹脂組成物として、アルカリ可溶性ノボラック樹脂、キノンジアジド基を含んだ感光剤およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(A)と沸点が145℃以下かつ酢酸n−ブチル蒸発速度が50以上の溶剤(B)との混合溶剤を含む感光性樹脂組成物を用い、これを基板上にスリットコーティングし、減圧乾燥または真空乾燥による方法を用いることなく乾燥し、その後露光、現像することによりレジストパターンを形成する。 (もっと読む)


【課題】ポリイミド前駆体が、少量の光酸発生剤の存在下でも高効率で硬化することで高い現像性を有し、かつ、その硬化物が、カバーレイ等に適した十分な耐折性を有する感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】(A)アミド酸ブロックと、オキシアルキレン結合を含むイミドブロックと、を有するブロック共重合体と、(B)メチロール系化合物および/またはメラミン系化合物からなる架橋剤と、(C)350nm以上の波長を有する活性光線によって酸を発生する光酸発生剤と、(D)前記ブロック共重合体、前記架橋剤、および前記光酸発生剤を溶解する極性溶媒とを含む、ネガ型感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】有機溶剤への溶解性と、支持体への塗布性のいずれも優れたポジ型レジスト組成物、及び当該ポジ型レジスト組成物を用いたレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する基材成分(A)と、露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)とを有機溶剤(S)に溶解してなるポジ型レジスト組成物であって、(A)成分は、特定の4種の構成単位を有する樹脂成分(A1)を含有し、(S)成分は、アルコール系有機溶剤(S1)60〜99質量%と、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル及びシクロヘキサノンからなる群から選択される少なくとも一種の有機溶剤(S2)1〜40質量%とを含有する。 (もっと読む)


【課題】カラーフィルタの着色層を製造するに際して、乾燥工程でのモヤムラやピンムラの発生が抑制され、均一な硬化性組成物層を効率よく形成しうるカラーフィルタ用着色硬化性組成物層の形成方法、該方法により得られた着色層を有するカラーフィルタ、及び、液晶表示装置を提供する。
【解決手段】顔料、アルカリ可溶性樹脂、重合性化合物、光重合開始剤、および溶剤を含み、固形分比率が12質量%以上16質量%以下である硬化性組成物を、基板上にスリットコーターを用いて、乾燥後の膜厚が2.4μm以上3.5μm以下となるように塗設して硬化性組成物塗布層を形成する塗布工程、及び、塗布後の硬化性組成物塗布層を備えた基板を、真空乾燥装置を用いて、真空乾燥開始から20秒後の到達真空度が1000Pa以下となる条件で乾燥して硬化性組成物層を形成する乾燥工程を有するカラーフィルタ用着色硬化性組成物層の形成方法。 (もっと読む)


【課題】超薄膜のレジスト膜において、リソグラフィー特性が向上し、良好な形状の微細なレジストパターンを形成することができるレジスト組成物およびレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が変化する基材成分(A)と、露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)とを有機溶剤(S)に溶解してなるレジスト組成物であって、前記有機溶剤(S)は少なくとも下記3成分の有機溶剤成分(S1)〜(S3)を含有し、かつ前記有機溶剤(S)中の有機溶剤成分(S1)〜(S3)の割合が、前記(S)成分を構成する全有機溶剤成分の合計に対して、それぞれ、50〜90質量%の範囲、5〜40質量%の範囲、0.1〜15質量%の範囲であることを特徴とするレジスト組成物。 (もっと読む)


【課題】レジスト材料の溶解性が良好であり、優れたリソグラフィー特性を示し、良好な形状のレジストパターンを形成できるアルコール系有機溶剤を用いたポジ型レジスト組成物、および該ポジ型レジスト組成物を用いるレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する樹脂成分(A)と、露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)とが、有機溶剤(S)に溶解してなり、前記有機溶剤(S)がアルコール系有機溶剤であり、前記樹脂成分(A)が、側鎖に、OH基を有する炭素数4〜6の環状エーテルを有する構成単位(a0−1)、側鎖に、OH基を有するアルキレン基または脂肪族環式基を有する構成単位(a0−2)、および酸解離性溶解抑制基を含むアクリル酸エステルから誘導される構成単位(a1)を有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。 (もっと読む)


【課題】塗膜全体にわたって均一で、高品質な塗膜を形成することができる感光性樹脂組成物及びそれを用いた表示装置等を提供することを目的とする。
【解決手段】染料(A)、バインダー樹脂(B)、感光剤(C)、硬化剤(D)及び溶剤(E)を含み、前記溶剤(E)が、乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテル及びジアセトンアルコールからなる群から選ばれる少なくとも2種の溶剤を含む溶剤であるポジ型感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】液浸露光フォトレジスト膜において、アルカリ可溶性樹脂と併用するSi原子及び/又はF原子を有する化合物の働きを、更に高めたフォトレジスト膜用トップコート組成物、及び該レジスト膜用トップコート組成物を用いたパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】成分(A)アルカリ可溶性樹脂、成分(B)Si原子及び/又はF原子を有する化合物、成分(C)沸点175℃未満の溶剤、及び、成分(D)下記式(1)で表される添加剤を含有することを特徴とするレジスト膜用トップコート組成物、及びパターン形成方法。


(前記式(1)において、R1及びR2はそれぞれ独立に炭素数4〜6のアルキル基を表し、Xは炭素数1〜4のアルキレン基又は−(C=O)−Y−(C=O)−基を表し、Yは炭素数1〜4のアルキレン基を表す。) (もっと読む)


【課題】液浸露光フォトレジスト膜において、アルカリ可溶性樹脂と併用するSi原子及び/又はF原子を有する化合物の働きを、さらに高めたフォトレジスト膜の保護層用トップコート組成物、並びに該レジスト膜の保護層用トップコート組成物を用いたパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】成分(A)アルカリ可溶性樹脂、成分(B)Si原子及び/又はF原子を有する化合物、及び成分(C)下記式(1)で表される溶剤を含有することを特徴とするレジスト膜の保護層用トップコート組成物、並びにパターン形成方法。


(前記式(1)において、R1は炭素数2〜3のアルキレン基、R2は炭素数3〜4のアルキル基を表す。) (もっと読む)


【課題】膜表面の疎水性が高いレジスト膜を形成でき、液浸露光用として好適なレジスト組成物、および該レジスト組成物を用いたレジストパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が変化する基材成分(A)、露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)および含フッ素化合物成分(F)を有機溶剤(S)に溶解してなる液浸露光用レジスト組成物であって、前記有機溶剤(S)は、沸点150℃以上のアルコール系有機溶剤(S1)と、沸点150℃未満のアルコール系有機溶剤(S2)とを含有することを特徴とする液浸露光用レジスト組成物。 (もっと読む)


【課題】有機ELデバイス等の表示装置において、鮮明な画像を表示可能にする表示素子用材料であり、更に、低公害系有機溶剤に溶解するポジ型感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】(A)成分として、下記式(1)で表されるポリイミドと、(B)成分として、光により酸を発生する化合物とを含有し、それらが(C)溶剤に溶解したポジ型感光性樹脂組成物。


(式中、Xは、4価の脂肪族基又は芳香族基を表し、Yは、少なくとも1つのOH基で置換された芳香族基を含む2価の有機基を表し、Z1及びZ2は、夫々互いに独立してポリイミドをアルカリ性溶液に可溶にするアルカリ可溶化基を含む有機基を表し、Q1は水素原
子を表すか、又は、隣接するZ1と一緒になって環構造を形成し、Q2は水素原子を表すか、又は、隣接するZ2と一緒になって環構造を形成し、mは1以上の整数を表す。) (もっと読む)


【課題】平坦性、低誘電性、吸水性、耐溶剤性、透明性及び耐熱透明性に優れるばかりでなく、密着性にも優れる樹脂膜、この樹脂膜を得るための、ろ過性に優れる感放射線樹脂組成物、及びこの樹脂膜を有する電子部品を提供する。
【解決手段】樹脂(A)、感放射線化合物(B)、及び溶剤(C)を含有してなり、樹脂(A)が、特定の5−ノルボルネン−2,3−ジカルボキシイミド誘導体を含む単量体組成物を重合して得られる重合体であることを特徴とする感放射線樹脂組成物。 (もっと読む)


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