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Fターム[2H025CC20]に分類される特許
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ポジ型レジスト組成物、レジストパターン形成方法
【課題】ポジ型レジスト組成物、及び該ポジ型レジスト組成物を用いるレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する基材成分(A)、及び露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)を含有するポジ型レジスト組成物であって、基材成分(A)は、側鎖に、環骨格中に−SO2−を含む環式基含有エステル基を有する構成単位(a0−1)を有し、質量平均分子量(Mw)が10000以下の高分子化合物(A1−1)と、高分子化合物(A1−1)が有する構成単位と同一の構成単位(a0−1)を有し、Mwが、高分子化合物(A1−1)のMwの1.5倍以上である高分子化合物(A1−2)とを含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。
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ポジ型レジスト組成物およびそれを用いたパターン形成方法
【課題】ろ過性、線幅均一性に優れたレジスト組成物、及びそれを用いたパターン形成方法の提供。
【解決手段】(A)環状アルキル構造を有する特定の繰り返し構造単位を含有する酸分解性樹脂、(B)酸発生剤、(C)下記(a)群から選択される少なくとも1種の溶剤と、下記(b)群〜(d)群から選択される少なくとも1種の溶剤とを含む混合溶剤を含有するポジ型レジスト組成物及びパターン形成方法。(a)群:アルキレングリコールモノアルキルエーテル、(b)群:アルキレングリコールモノアルキルエーテルカルボキシレート、(c)群:直鎖状ケトン、分岐鎖状ケトン、環状ケトン、ラクトン、アルキレンカーボネート、(d)群:乳酸エステル、酢酸エステル、アルコキシプロピオン酸エステル。
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カラーフィルター用赤色組成物及びそれを有するカラーフィルター
【課題】輝度とコントラストとを両立したカラーフィルター用赤色組成物及びそれを有するカラーフィルターを提供する。
【解決手段】PR254、PR177及びオレンジ色顔料を含有するカラーフィルター用赤色組成物及びそれを有するカラーフィルターである。
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平版印刷版原版及びその製版方法
【課題】赤外線レーザー露光により検版性が良好な色画像を形成することができる現像工程不要の平版印刷版原版及び製版方法を提供する。
【解決手段】 支持体上に、画像記録層を有する平版印刷版原版であって、(A)下記一般式(1)で表される化合物及び(B)赤外線吸収染料を画像記録層に含有することを特徴とする平版印刷版原版。
式(1)中、Rは各々一価の有機基を表し、X−はアニオンを表す。
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ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法
【課題】良好な形状のレジストパターンを形成できるポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する基材成分(A)、および露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)を含有し、(A)成分は、側鎖の末端に「−SO2−を含む環式基」を含む構成単位(a0)を有し、かつ、その構造中に酸解離性溶解抑制基を含む高分子化合物(A1)を含有し、(B)成分は、一般式(b1−1)[式中、R0は置換基を有していてもよい炭素数1〜12の炭化水素基である。ただし、−SO3−における硫黄原子に隣接する炭素原子にはフッ素原子は結合していない。Z+は有機カチオンである。]で表される化合物からなる酸発生剤(B1)を含有するポジ型レジスト組成物。
[化1]
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感光性樹脂組成物
【課題】露光から露光後ベークまでの放置時間に関わらず高感度で現像時の膜減りの小さい感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】(a)アルカリ可溶性樹脂、(b)光重合性化合物、(c)光重合開始剤、(d)光酸発生剤および(e)酸により反応する架橋剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
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ポジ型レジスト組成物、レジストパターン形成方法
【課題】ポジ型レジスト組成物、及び該ポジ型レジスト組成物を用いるレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する基材成分(A)、および露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)を含有するポジ型レジスト組成物であって、前記基材成分(A)は、環骨格中に−SO2−を含む環式基を含む構成単位(a0−1)を有する高分子化合物(A1−1)と、前記高分子化合物(A1−1)が有する構成単位と同一の構成単位(a0−1)を有し、構成単位(a0−1)の含有割合(モル%)が、前記高分子化合物(A1−1)と異なる高分子化合物(A1−2)とを含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。
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ポジ型レジスト組成物、レジストパターン形成方法、高分子化合物、化合物
【課題】優れた感度で、LWRの小さい、良好な形状のレジストパターンを形成できるポジ型レジスト組成物、該ポジ型レジスト組成物の基材として利用できる高分子化合物、該高分子化合物の構成単位の合成に利用できる化合物、及びレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する基材成分(A)、及び露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)を含有するポジ型レジスト組成物であって、前記基材成分(A)は、酸解離性溶解抑制基を含む構成単位(a0)を有する高分子化合物(A1)を含み、かつ前記構成単位(a0)における酸解離性溶解抑制基が、下記一般式(a0−0−1)で表される基を含む。[式(a0−0−1)中、R1’及びR2’はそれぞれ独立して水素原子又は炭素数1〜5のアルキル基を表し、Y1は単結合又は二価の連結基であり、R3はその環骨格中に−SO2−を含む環式基である。]
[化1]
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ポジ型レジスト組成物、レジストパターン形成方法
【課題】ポジ型レジスト組成物、及び該ポジ型レジスト組成物を用いるレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する基材成分(A)、および露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)を含有するポジ型レジスト組成物であって、基材成分(A)が、環骨格中に−SO2−を含む環式基を含む構成単位を有する高分子化合物(A1−1)と、環骨格中に−SO2−を含む環式基を含まず、酸解離性溶解抑制基を含むアクリル酸エステルから誘導される構成単位を有する高分子化合物(A1−2)とを含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。
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固体撮像素子用着色硬化性組成物、カラーフィルタ、及びその製造方法
【課題】着色剤としてポリハロゲン化亜鉛フタロシアニンを含有する場合であっても、塗布により膜厚が均一な硬化性組成物層を形成しうる固体撮像素子用着色硬化性組成物、解像力に優れた着色パターンを備える個体撮像素子用カラーフィルタ、及び、該カラーフィルタを高い生産性で製造しうるカラーフィルタの製造方法を提供する。
【解決手段】(A)ポリハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料、(B)オキシム系光開始剤及び(C)重合性化合物を含有する固体撮像素子用着色硬化性組成物である。
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ポジ型レジスト組成物、レジストパターン形成方法
【課題】ポジ型レジスト組成物、および該ポジ型レジスト組成物を用いるレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】環骨格中に−SO2−を含む環式基を含む構成単位および酸解離性溶解抑制基を含むアクリル酸エステルから誘導される構成単位で表される構成単位を有し、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する基材成分(A)と、フッ素系及び/又はシリコン系界面活性剤(E)と、露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)とを含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。
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平版印刷版原版及びその製版方法
【課題】赤外線レーザー露光による検版性が良好な高発色の色画像形成と、耐刷性および機上現像性とを両立させた現像工程不要の平版印刷版原版及び製版方法を提供する。
【解決手段】支持体上に画像記録層を有する平版印刷版原版であって、(A)下記一般式(1)で表される非イオン性化合物、(B)赤外線吸収染料、及び(C)光開始剤を画像記録層に含有することを特徴とする平版印刷版原版。
式中、L1、R1及びR2は水素原子等を、R3は一価の有機基を、X1及びX2は硫黄原子等を、Ar1及びAr2は芳香環等を表す。
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ポジ型レジスト組成物、レジストパターン形成方法
【課題】ポジ型レジスト組成物、及び該ポジ型レジスト組成物を用いるレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する基材成分(A)、及び露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)を含有するポジ型レジスト組成物であって、基材成分(A)が、その環骨格中に−SO2−を含む環式基を含むアクリル酸エステル構成単位及び/又はメタクリル酸エステル構成単位と、酸解離性溶解抑制基を含むアクリル酸エステルから誘導される構成単位(a1)及び/又は酸解離性溶解抑制基を含むメタクリル酸エステルから誘導される構成単位(a1’)とを有する高分子化合物(A1)を含有し、高分子化合物(A1)中の、該アクリル酸エステルから誘導される構成単位の割合が15〜80モル%であることを特徴とするポジ型レジスト組成物。
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ポジ型レジスト組成物、レジストパターン形成方法、高分子化合物
【課題】レジストパターン形成時においてスカムが発生せず、基板とのマッチングが良好なポジ型レジスト組成物、該ポジ型レジスト組成物の基材として利用できる高分子化合物、およびレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する基材成分(A)を含有するポジ型レジスト組成物であって、基材成分(A)は、カルボキシル基を含有する構成単位、環骨格中に−SO2−を含む環式基を含む構成単位、及び酸解離性溶解抑制基を含むアクリル酸エステルから誘導される構成単位を有する高分子化合物(A1)を含有する。
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ポジ型レジスト組成物及びレジストパターン形成方法
【課題】膜表面の疎水性が高いレジスト膜を形成できるポジ型レジスト組成物、及び当該ポジ型レジスト組成物を用いるレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】側鎖の末端に「−SO2−を含む環式基」を含有する構成単位(a0)と、酸解離性溶解抑制基を含むアクリル酸エステルから誘導される構成単位(a1)とを有する高分子化合物(A1)と、酸発生剤成分(B)と、フッ素原子を有していてもよい酸解離性溶解抑制基含有基を含み、かつ少なくとも1つのフッ素原子が含まれる構成単位(f1)を有する含フッ素樹脂成分とを含有するポジ型レジスト組成物。
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ポジ型レジスト組成物、レジストパターン形成方法
【課題】リソグラフィー特性が良好で、形成されるレジストパターンの形状も良好なポジ型レジスト組成物、および該ポジ型レジスト組成物を用いるレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する基材成分(A)、露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)、および含窒素有機化合物成分(D)を含有するポジ型レジスト組成物であって、前記基材成分(A)が、環骨格中に−SO2−を含む構成単位を有し、かつ、その構造中に酸解離性溶解抑制基を含む高分子化合物(A1)を含有し、前記含窒素有機化合物成分(D)を少なくとも2種含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。
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レジスト組成物、レジストパターン形成方法
【課題】レジスト組成物、および該レジスト組成物を用いるレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が変化する基材成分(A)、および露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)を有機溶剤(S)に溶解してなるレジスト組成物であって、前記基材成分(A)が、その環骨格中に−SO2−を含む環式基を側鎖に有するアクリル酸エステル系の特定の構成単位(a0−1)を有する高分子化合物(A1)を含有し、前記有機溶剤(S)が、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)、および2−ヘプタノンを含有することを特徴とするレジスト組成物。
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カラーフィルタ用着色組成物及びカラーフィルタ
【課題】ジケトピロロピロール顔料を用い、耐熱性に優れる着色組成物を提供すること、並びにこれを用いて高コントラストなカラーフィルタを提供すること。
【解決手段】着色剤[A]と、光重合開始剤[B]と、有機溶剤[C]と、透明樹脂[D]と、透明樹脂前駆体[E]とを含む着色組成物であって、着色剤[A]がジケトピロロピロール系顔料を含み、かつ、透明樹脂前駆体[E]が透明樹脂前駆体[E]の全量を基準として50重量%以上のN−置換マレイミド、好ましくはシクロヘキシルマレイミドを含む着色組成物、および基板上に、前記着色組成物から形成されるフィルタセグメントを具備するカラーフィルタ。
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新規ポリイミドシリコーン及びこれを含有する感光性樹脂組成物並びにパターン形成方法
【課題】微細なパターン形成、フィルム特性や、保護膜としての信頼性に優れた皮膜を有するポリイミドシリコーン、感光性樹脂組成物及びパターン形成方法を提供。
【解決手段】水素原子の一部又は全部が酸不安定基で置換のフェノール性水酸基を分子中に有する式(1)のポリイミドシリコーン。
[Xは四価の基で、その少なくとも一部が式(2)
(R1は一価炭化水素基、R2は三価の基、nはその平均が1〜120)の四価の有機基、Yは二価の基の酸不安定基で置換のフェノール性水酸基含有の基]
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ポジ型レジスト組成物及びレジストパターン形成方法
【課題】膜表面の疎水性が高いレジスト膜を形成できるポジ型レジスト組成物、及び当該ポジ型レジスト組成物を用いるレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】その環骨格中に−SO2−を含む環式基を含む(メタ)アクリル酸エステル構成単位(a0)と酸解離性溶解抑制基を含むアクリル酸エステルから誘導される構成単位(a1)とを有する高分子化合物(A1)と、酸発生剤成分(B)と、塩基解離性基を含有する構成単位を有する含フッ素高分子化合物(F1)とを含有するポジ型レジスト組成物。
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