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Fターム[2H025FA19]の内容

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【課題】
フォトリソ工程に必要な現像性と光反応性を損なうことなく、かつ硬化収縮が少なく反りの無い基板を提供できる光硬化性熱硬化性樹脂組成物、ドライフィルム及びそれらの硬化物を提供すること。
【解決手段】
本発明のアルカリ現像可能な光硬化性熱硬化性樹脂組成物は、一分子中に(メタ)アクリロイル基とカルボキシル基を併せ持つ重量平均分子量が2,000〜50,000である化合物と、光重合開始剤から構成された感光性成分と、熱硬化性成分を含有し、不飽和二重結合を有するモノマーを含有しないことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】リソグラフィー特性が向上し、良好な形状のレジストパターンを形成することができるレジスト組成物およびレジストパターン形成方法、並びに、当該レジスト組成物用の光塩基発生剤および当該光塩基発生剤として有用である新規な化合物の提供。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が変化する基材成分、露光により酸を発生する酸発生剤成分、および特定構造の露光により塩基を発生する光塩基発生剤を含有するレジスト組成物。
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【課題】重合性化合物が短時間で効率的に重合し得る高感度かつ現像性が良好な感光性組成物等の提供。
【解決手段】バインダーと、重合性化合物と、熱硬化性化合物と、光重合開始剤と、増感剤とを含有し、重合性化合物がメタクリレート化合物から選ばれる少なくとも1種含有し、光重合開始剤が一般式(A−1)で表される化合物、増感剤が一般式(B−1)で表される化合物である感光性組成物。


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【課題】フォトリソグラフィを利用した微細加工を行うために使用される、新規なフォトレジスト用化合物、上記フォトレジスト用化合物を用いたフォトレジスト液、および上記フォトレジスト液を使用して、所望の表面をエッチングするエッチング方法の提供。
【解決手段】アゾ化合物または該化合物と金属イオンとの錯体化合物であるフォトレジスト用化合物。前記フォトレジスト用化合物を含むフォトレジスト液。前記フォトレジスト液を使用する被加工表面のエッチング方法。 (もっと読む)


【課題】フォトリソグラフィを利用した微細加工を行うために使用される、新規なフォトレジスト用化合物、上記フォトレジスト用化合物を用いたフォトレジスト液、および上記フォトレジスト液を使用して、所望の表面をエッチングするエッチング方法の提供。
【解決手段】下記一般式(I)で表される化合物であるフォトレジスト用化合物。前記フォトレジスト用化合物を含むフォトレジスト液。前記フォトレジスト液を使用する被加工表面のエッチング方法。


一般式(I)中、R1およびR2は、それぞれ独立に、ハメットの置換基定数σpが0.2〜0.9の範囲の置換基を表し、R3は水素原子または一価の置換基を表し、Φは置換または無置換のアリール基または芳香族ヘテロ環基を表し、R1、R2、R3およびΦのうちの何れか二つ以上が互いに結合して環を形成していてもよい。 (もっと読む)


【課題】フォトリソグラフィを利用した微細加工を行うために使用される、新規なフォトレジスト用化合物、上記フォトレジスト用化合物を用いたフォトレジスト液、および上記フォトレジスト液を使用して、所望の表面をエッチングするエッチング方法の提供。
【解決手段】フタロシアニン色素骨格を有するフォトレジスト用化合物。前記フォトレジスト用化合物を含むフォトレジスト液。前記フォトレジスト液を使用する被加工表面のエッチング方法。 (もっと読む)


【課題】感度が良好で、各着色画素の画素内段差が抑制された着色領域を形成し得る着色硬化性組成物を提供する。
【解決手段】(a)着色剤、(b)バインダーポリマー、(c)エチレン性不飽和二重結合を有する重合性化合物、(d)光重合開始剤、(e)溶剤を含有し、前記(c)エチレン性不飽和二重結合を有する重合性化合物が、(c−2)エチレン性不飽和結合を2つ有する重合性モノマー又はオリゴマーと、(c−3)エチレン性不飽和二重結合を3つ以上有する重合性モノマー又はオリゴマーとを含み、該重合性化合物全量に対する(c−2)エチレン性不飽和二重結合を2つ有する重合性モノマー又はオリゴマーの含有比率が20〜80質量%であり、(c−3)エチレン性不飽和二重結合を3つ以上有する重合性モノマー又はオリゴマーの含有比率が20〜80質量%であることを特徴とする着色硬化性組成物。 (もっと読む)


【課題】 印刷不良を生じずかつ解像度に優れた印刷版を製造できるレーザー彫刻用印刷原版の原料となる樹脂組成物を提供する。
【解決手段】(A)水分散ラッテクスから得られる疎水性重合体、(B)光重合性化合物、(C)光重合開始剤および(D)数平均分子量が1000〜30000の架橋基をもたない共役ジエン重合体を含有することを特徴とする、レーザー彫刻可能な印刷原版用感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】歩留まり良く、簡単且つ安価にレチクルを製造する。
【解決手段】透明基板と、この透明基板を透過する光に対する遮光マスクパターンとを備えたレチクルの製造方法であって、透明基板上に無機レジスト層を形成する工程と、この無機レジスト層に、前記遮光マスクパターンのパターン形状に応じて光ビームを選択的に照射して、光ビームの照射部分の少なくとも一部の相状態を変化させる工程と、前記無機レジスト層に対してエッチング処理を行って、光ビームの照射による相状態の変化部分または未変化部分を選択的に除去し、残留したレジスト層により遮光マスクパターンを形成する工程を有する。 (もっと読む)


【課題】本発明は、光や電子線に対する感度が高く、より少ない露光で、明瞭かつ微細なパターンを形成可能なレジスト材料を提供することを主目的とするものである。
【解決手段】上記目的を達成するために、本発明は、金属化合物を有するレジスト材料であって、上記金属化合物を構成する金属元素が、第14族または第15族の金属元素であり、かつ、上記金属化合物が化学量論的に不完全な化合物であることを特徴とするレジスト材料を提供する。 (もっと読む)


【課題】良好な液浸リソグラフィーに適したレジスト材料、パターン形成方法の提供。
【解決手段】下記の一般式を含み、Mwが1,000〜500,000の高分子。


(R1a、R1b、R1cはH、F、アルキル基又はフッ素化アルキル基。R2aはH、−R3−CO27又は−R3−OR7。R2cはフッ素化アルキル基。R3はフッ素を含んでもよい2価の有機基。R4はメチレン基又は酸素原子。R5はH、メチル基又はトリフルオロメチル基。R6はフッ素化アルキル基。R7はH、アルキル基、フッ素化アルキル基、酸不安定基又は密着性基。0≦a<1、0<b<1、0≦c<1、0<a+b+c≦1。) (もっと読む)


【課題】レーザー等の光または熱に対し高い感度および分解性を有し、厚膜を安定に形成することができ、保存安定性にも優れた分解性樹脂組成物、及びそれを用いるパターン形成材料を提供すること。
【解決手段】塩基発生剤および前記塩基発生剤から発生する塩基により分解可能であるポリウレタン樹脂を少なくとも含有してなることを特徴とする分解性樹脂組成物と、該分解性樹脂組成物からなる層を有することを特徴とするパターン形成材料。 (もっと読む)


【課題】厚膜にも利用可能であり、彫刻感度が高く、低レーザーエネルギーで効率的に彫刻が可能である分解性樹脂組成物、これを用いたパターン形成材料およびパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】(A)光照射前後で分子式は同一であるが、幾何学構造が変化する化合物および(B)樹脂を少なくとも含んでなることを特徴とする分解性樹脂組成物。支持体上に、前記組成物からなる層を設けたことを特徴とするパターン形成材料。前記パターン形成材料に、250〜450nmの光を照射し、その後、レーザーにて分解することを特徴とするパターン形成方法。 (もっと読む)


【課題】厚膜にも利用可能であり、彫刻感度が高く、低レーザーエネルギーで効率的に彫刻が可能であるレーザー分解性樹脂組成物および該組成物を用いたパターン形成材料を提供すること。
【解決手段】(A)カルボキシル基およびカルボン酸無水物構造から選択される少なくとも1つの構造を有するとともに、該構造以外に分子内にN、SおよびO原子から選択される少なくとも1つのヘテロ原子を有する化合物、および、(B)バインダーポリマー、を含有するレーザー分解性樹脂組成物。支持体上に、該組成物からなる層を有することを特徴とするパターン形成材料。 (もっと読む)


【課題】耐傷性、特に現像時の現像ブラシにより発生する傷に対する耐性に優れた水なし平版印刷版原版を提供すること。
【解決手段】基板上に、少なくとも感光層もしくは感熱層、シリコーンゴム層をこの順に有する水なし平版印刷版原版であって、該シリコーンゴム層が下記一般式(1)で表されるポリシロキサンを含有することを特徴とする水なし平版印刷版。
【化1】


(式中、nは2以上の整数を示し、R〜Rは炭素数1〜50の置換あるいは非置換のアルキル基を示し、それぞれ同一であっても異なっていてもよい。Xは活性水素含有基を示す。) (もっと読む)


【課題】原画フィルムを必要としないで凸状のレリーフ像を形成することが可能で、取扱い上で感熱マスク層を傷つけることなく、またレーザー照射による画像マスクの形成が容易な感光性樹脂印刷版原版、およびそれを用いた樹脂凸版印刷版の製造方法を提供すること。
【解決手段】支持体上に、水またはアルコールに溶解または分散可能な樹脂および紫外光により硬化可能なモノマーを含有する感光性樹脂層(A)、赤外線吸収物質を含有する感熱マスク層(C)、剥離補助層(D)および保護層(E)をこの順に有する感光性樹脂印刷版原版であって、該剥離補助層(D)の膜厚が0.3μm以下であることを特徴とする感光性樹脂印刷版原版。 (もっと読む)


【課題】平版印刷原版の製版技術において、熱による直接描画方法に対応して廃液の発生がなく明室下での作業性に極めて優れ、製版する上で特に検版性に優れた平版印刷原版を提供することにある。
【解決手段】支持体上に熱により疎水性へ変換できる層及び最表層として親水性層を設けてなる平版印刷原版において、反応体および該反応体と加熱時に反応して着色体を形成する共反応体を含有することを特徴とする平版印刷原版。 (もっと読む)


本発明の方法により、構造化表面が形成される。この構造化表面を形成する方法は、前記基板の主表面に、除去可能な放射線感光コーティングを設置するステップと、除去可能な放射線感光コーティングを放射線で露光して、除去可能な放射線感光コーティングの露光部分を基板から除去して、構造化表面を形成するステップとを有する。次に、構造化表面は、基板と、少なくとも一つの分離バンクによって定形された構造のパターンを有する。また、本方法は、前記構造および分離バンクに、流動性材料を設置するステップを含んでも良く、これにより、構造内に流動性材料のパターンが形成される。
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【課題】 塗布欠陥の個数が少なく、印刷ムラの発生率が改善され、検版性にも優れた優れた平版印刷版材料の作製方法、平版印刷版材料及び画像記録方法を提供する。
【解決手段】 ダイレクト製版可能な感熱性の画像形成層を有する平版印刷版材料の作製方法において、該画像形成層が誘電率15〜65の非水溶媒を0.01〜5質量%含有した塗布液を塗布することにより形成されたものであることを特徴とする平版印刷版材料の作製方法。 (もっと読む)


【課題】 本発明の目的は、刷りだし時のインク着肉性に優れ、汚れ回復性に優れる印刷版材料、印刷版材料の版曲げ方法、印刷方法及び印刷版を提供することにある。
【解決手段】 少なくとも粗面化処理、陽極酸化処理を施されたアルミニウム支持体上に、印刷機上現像可能な画像形成層を有する印刷版材料において、該印刷版材料が80度〜100度に折り曲げ可能であり、該アルミニウム支持体の表面の中心線平均粗さ(Ra)が0.2〜0.8μmであり、かつ該アルミニウム支持体の表面に径が30〜150nmである凹部を50〜1100個/μm2有することを特徴とする印刷版材料。 (もっと読む)


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