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Fターム[2H042DC02]の内容

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Fターム[2H042DC02]に分類される特許

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多層膜反射鏡において、反射率の入射角依存性を軽減することを目的とする。 基板1は、表面(図中上面)の粗さが0.2nmRMS以下となるまで研磨された低熱膨張ガラス製である。基板1の表面には、ピーク反射率の半値幅の広い、Ru/Si多層膜3が成膜されており、このRu/Si多層膜3上にピーク反射率値の高い、Mo/Si多層膜5が成膜されている。従って、Ru/Siのみの場合よりも反射率が高く、Mo/Si多層膜5のみの場合よりも半値幅が広い反射率ピークが得られる。また、RuはMoよりもEUV光の吸収が大きいので、Mo/Si多層膜5上にRu/Si多層膜3を成膜した構造よりも高い反射率が得られる。分光反射率において半値幅が広い多層膜は、反射率の角度依存性が小さいので、本発明によれば、投影光学系の結像性能を高く保つことができる。 (もっと読む)


広角度走査用のミラーがシリコン基板と複数の層から成っていて、そのシリコン基板が平坦で磨いた面の側とエッチングされて粗になった面の側から成り、かつ、その複数の層には反射性媒体の一層が含まれ、基板のセクションの平坦で磨いた面の上にその平坦な面の曲げ歪みが最小限になるように配置される。そのミラーの製造方法は以下のステップから成る:片側を事前決定された平坦度まで磨き、他の側を事前決定された粗さにエッチングすることによりシリコン・ウエハーを調製すること;その基板のセクションをその調製されたシリコン・ウエハーから事前決定された形状で肉眼で見える大きさのサイズに切断すること;及び、その平坦で磨いた表面の上に複数の層を付けること。
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より確実に拡散反射光に所望の指向性を持たせることのできる反射構造体及びこれを具備する装置を提供する。基体層10により支持され粗面化された光反射層20を有する光拡散反射構造体1。光反射層20は、網目状に配されそれぞれ陥没及び突起の一方の形状を有する網目部2hと、これら網目部2hの周囲において網状に連続して延在し当該陥没及び突起の他方の形状を有する網部2Mとを有する。網部2Mは、平面図において所定の第1方向#1及びこれに略直交する第2方向#2に延在する第1延在部Po′と第1及び第2方向から略45度の角度を有して延在する第2延在部Ps′とに分類される。第1及び第2延在部Po′,Ps′は、それぞれ略一定幅を有し、第1延在部Po′の幅は、その単位延在長当たりの有効反射表面積を大きくされるよう第2延在部Ps′の幅よりも大きくされる。
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【課題】レーザーシステムにおける偏向装置のためのミラー、その製造方法およびレーザーシステムのための偏向装置を提供する。
【解決手段】レーザー加工システムにおけるガルボ偏向装置(3,4)のミラー(42)は、ダイヤモンド素材から造られるミラー基板(10)を有する。また上記ミラー基板は、小さいダイヤモンド部分を接合してもよい。
このダイヤモンドから造られるミラー基板(10)は剛性が高く、従来型ミラー基板(32)と比較して剛性が高く、かつ厚み(d2)が小さく、従って、レーザーシステムにおける加工速度を高めることができる。 (もっと読む)


例えば自動車用ヘッドライトに有用な反射性物品は、耐熱性の熱可塑性基材と反射金属層との間にヘイズ防止層を含んでいる。このヘイズ防止層は、100GPa(15×10psi)以上の引張弾性率を有する金属を含んでいる。この物品は高温で反射層のヘイズ発生に対して耐性である。 (もっと読む)


本発明は、反射形又は透過反射形液晶ディスプレイ(400)に対する拡散反射器(450)を製造するための方法に係る。この反射器はフォトエンボス工程を用いて構造化された表面(452)を含む。ここでは、光拡散性モノマー(102)を含む混合物の層(100)が設けられるが、光拡散性モノマーは、この層内を、選択的に加えられた照射の影響下で移動される。こうして、層レリーフが形成されるが、これは、好ましくは、更に、上昇された温度にて現像される。この層は、好ましくは、架橋結合ステップを用いて固定及び安定化されるが、このステップは、好ましくは、熱的に誘発された及び/又は光学的に誘起された重合化を含む。最終ステップにおいて、ポリマーにてレリーフ加工された表面に、反射材(154)が設けられる。
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共焦点光学装置を開示する。この装置は、物体の三次元走査の実行が可能な3軸式走査鏡を含む。特に、この走査鏡は、環状ジンバル配置された2つの部材を取り付けた可変反射薄膜を備えることにより、2本の直交する軸の周囲で回転が得られる。装置内の別の適切な場所への設置も可能な可変薄膜を使用して、該装置から走査中の物体へと伝播された光ビームの焦点スポットの制御を行う。共焦点装置に関連した様々な方法についても記載している。 (もっと読む)


本発明によれば、カラー半透過型ディスプレイ装置は、目視側および裏側を有し、画素を確定する透過型ディスプレイユニットを用いる。構造化半透過体は、カラーディスプレイユニットの裏側に配置される。構造化半透過体は、構造面と、構造面にわたって配置される層状誘電反射体を具備する。
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【課題】マグネシウム・ニッケル系合金薄膜などの希土類金属の水素化物からなる薄膜の実用的な新たな用途を提供する。
【解決手段】マグネシウム・ニッケル系合金薄膜などの希土類金属の水素化物を含む調光ミラー層20を、情報表示部としての液晶パネル部11の後側に配置した。従って、印加する電圧を制御するのみで、透明状態とすることにより、液晶パネル部11の情報をバックライトにより表示させることができると共に、該調光ミラー層20を鏡面状態とすることにより、外部光により液晶パネル部11の情報を表示させることができる。 (もっと読む)


【課題】二軸延伸ポリエステルフィルムを用い、品質的に安定で、かつコスト的に安価な拡散反射フィルムを提供する。
【解決手段】粒子を含有する二軸延伸ポリエステルフィルムの片面に金属膜を有するフィルムであって、金属膜表面の算術平均粗さ(Ra)が0.2〜0.6μmであり、金属膜表面の60度鏡面光沢が70〜200%でかつ入射角5%の波長550nmの光の絶対反射率が20〜45%であることを満足することを特徴とする偏光板用拡散反射フィルム。 (もっと読む)


【課題】 モアレ縞の発生を防止することができる光反射フィルムを提供する
【解決手段】 型フィルム1の一表面には、一直線状に連なる角錐形状の凸部3の列6が平行に複数列形成された粗面5が形成され、この一直線状に連なる凸部3の列6は、型フィルム1の端辺7に対して所定角度で傾斜する。この型フィルム1を転写することによって、光学フィルム140が作成され、この光学フィルム140に光反射膜を蒸着して光反射フィルムが作成される。この光反射フィルムを備える液晶表示パネルでは、発生するモアレ縞のピッチが小さくなって、目視できなくなり、モアレ縞の発生を防止することができる。 (もっと読む)


【課題】 600nm〜1000nmの波長域で90%以上の反射率を有した反射鏡を安価に製造する。
【解決手段】 物理的膜厚1〜70nmの金膜、物理的膜厚10nm以上のアルミニウム膜を基板上に形成する。金膜が反射率を向上させ、アルミニウム膜によって安価に製造することができる。 (もっと読む)


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