【課題】小型・簡易制御の焦点が可変なミラーにおいて、球面収差の補正と、信頼性向上を図る。
【解決手段】焦点が可変なミラーおよびこれを用いた光ピックアップは、可撓み膜と、前記可撓み膜の片面に形成する反射膜と、前記可撓み膜に前記反射膜を形成する面と反対の面に形成する環状の構造体と、から構成されたミラー素子部と、前記環状の構造体に対して電力で駆動力を印加する駆動手段と、から成る焦点が可変なミラーにおいて、前記環状の構造体は弾性体であり、また前記環状の構造体の可撓み膜との接触面の外形と前記可撓み膜の膜厚方向から見た面の外形は楕円形である。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成であって、搬送や組立作業、交換等のメンテナンスがし易いにも関わらず、太陽光の集光効率が高い太陽光集光用ミラー及びそれを用いた太陽熱発電システムを提供する。
【解決手段】金属板ＰＴ１，ＰＴ２が塑性変形を生じるので、基板ＳＴの平面度（即ちフィルムミラーＦＭの平面度）はそのままに、ミラーの軸線に対して各基板ＳＴの傾いた状態が維持される。よって、太陽光集光用ミラーＳＬに太陽光Ｌが入射したときに、基板ＳＴ毎に出射方向が変化することなり、これにより集熱部に対して太陽光Ｌを効率的に集光させることができる。 （もっと読む）

【課題】高圧冷却水を発生させる装置を備えなくても、曲率可変鏡の熱変形を補正することができる曲率可変ユニットを提供する。
【解決手段】レーザビーム２を被加工物６に集光する集光レンズ５に向けて、レーザビーム２を偏向させるために、圧力負荷９を鏡面部７の裏面の圧力負荷面１０に加えることにより、（サジタル方向の曲率）：（メリジオナル方向の曲率）＝２：１となる変形を発生する曲率可変鏡４と、レーザビーム２により曲率可変鏡４にて発生する熱変形と同等の熱変形を発生する熱変形補正鏡３とを備え、曲率可変鏡４と熱変形補正鏡３を互いの反射方向が９０°ねじれるように配置する構成とした。 （もっと読む）

【課題】照度ムラを解消する機能を有しつつ、単体で光路の向きを変えることができる反射型光学素子を提供すること。
【解決手段】光を反射する所定曲率半径ｒ２の複数の小反射面３２を並べて反射面３１を構成し、基体３０の一面に設け、前記小反射面３２のそれぞれが同一の照射面に向けて光を反射し当該照射面で反射光Ｑを重畳することを特徴とする反射鏡８を構成した。 （もっと読む）

【課題】小型・簡易制御の可変焦点ミラーにおいて、消費電力の低減と、信頼性向上を図る。
【解決手段】可変焦点ミラーおよびこれを用いた光ピックアップは、基板と、前記基板の片面に形成した反射膜と、前記基板に前記反射膜と相対する片面に形成した中間部材と、前記中間部材を介して前記基板に固定された磁性体とから形成されたミラー素子部と、ヨークと前記ヨークの周囲に配置したコイルとから形成された電磁石と、ミラー素子部の外周部と電磁石とを固定する筺体から成る可変焦点ミラーにおいて、前記電磁石は前記中間部材と前記磁性体に非接触に対向して配置され、前記中間部材は弾性体を用いる。 （もっと読む）

【課題】大面積のミラー素子を有する空間光変調器を提供する。
【解決手段】反射面ＳＥＡを有する複数のミラー素子ＳＥｋと、複数のミラー素子ＳＥｋがそれぞれ複数の板ばねＳＥＬを用いて傾動可能に配列されたベース部材ＳＶｂと、複数のミラー素子ＳＥｋのそれぞれを、反射面ＳＥＡの裏面側で同一直線上にない３以上の複数点でベース部材ＳＶｂに接近する方向に駆動する複数の電磁石ＳＣｋとから、空間光変調器が構成されている。 （もっと読む）

【課題】稠密に配列された大面積のミラー素子を有する空間光変調器を構成する。
【解決手段】反射面ＳＥＡを有する複数のミラー素子ＳＥｋと、複数のミラー素子ＳＥｋがそれぞれの反射面ＳＥＡ内の頂点ＳＥｐを中心に傾動可能に配列されたベース部材ＳＶｂと、複数のミラー素子ＳＥｋのそれぞれを反射面ＳＥＡの裏面上で頂点ＳＥｐを含んで同一直線上にない複数の位置にて反射面ＳＥＡに対する垂直方向に駆動する複数のボイスコイルモータＳＶｋとから、空間光変調器が構成される。 （もっと読む）

【課題】光を反射する方向を容易に変更することが可能な光学素子を提供すること。
【解決手段】光学素子１００は、中空部を有する円柱状をなし、電気刺激により、一方の端部の外径が変化するアクチュエータ本体１１と、アクチュエータ本体１１の一方の端部近傍の外周面上に設けられた第１の電極１２と、アクチュエータ本体１１の一方の端部近傍の内周面上に設けられた第２の電極１３と、を備えたアクチュエータ１０と、アクチュエータ本体１１の一方の端部に、中空部を塞ぐように配置され、湾曲凹面形状をなす鏡面を備えた鏡面部２０と、を有し、アクチュエータ本体１１の外径の変化に伴って、鏡面の曲率半径が変化するよう構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
本発明の課題は、集光形太陽電池のシステムにおいて複雑で高コストな不都合を回避するため、簡単に得ることができる反射鏡とその作成方法と太陽電池のシステムを提供することである。
【解決手段】反射鏡として、柔軟に曲がり弾性により復元力を有し、少なくとも一方の面に鏡面を有する平面板を、所望の曲面を有する曲面体の曲面に配置したものあり、その簡単な作成方法とこれを用いた太陽電池のシステムとしたものである。 （もっと読む）

【課題】膜状ミラーシートを用いて平面鏡と凹面鏡とを、小型で簡単な構造によって容易に変更することができるミラーを提供する。
【解決手段】
曲率変化が可能な円形の膜状ミラーシート１と、枠状のホルダーリング２と、断面湾曲形状でその中央にはつまみ３を備えると共に周縁に前記ホルダーリング２と係合する縁部とを備え、かつスナップアクション機構を備えた背面盤４とからなり、前記膜状ミラーシート１の周縁を周囲方向に伸張させながらホルダーリング２と縁部と係合させると共に枠状のホールドリング５とによって挟着して固着し、膜状ミラーシート１と背面盤４との間に密閉する空間Ｓを形成したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光反射面の形状を高精度に可変させる。
【解決手段】可変形状鏡１は、光反射面１０ａを有するミラー１０と、ミラー１０を変形させるアクチュエータ２０と、アクチュエータ２０を保持するバックプレート３０と、ミラー１０、アクチュエータ２０、バックプレート３０の各温度を測定する温度センサ５０と、温度センサ５０から入力された各温度測定値と予め設定されたミラー１０、アクチュエータ２０、バックプレート３０の線膨張係数に基づいてミラーの変形量を調節するための調節値を算出する温度補償演算部６０と、温度補償演算部６０で算出した調節値に基づいて、与えられた駆動指令値を調節してアクチュエータ２０を駆動させるアクチュエータ制御部４０とを備えた。 （もっと読む）

【課題】光学部材に対して過大な力が作用することを抑制できる光学部材変形装置、光学系、露光装置、及び、デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】凹面鏡４１の形状を変形させるミラー変形装置５３において、凹面鏡４１に対して吸着する吸着部と、アクチュエータ６１から伝達される駆動力に基づいて、吸着部を変位させる変位機構と、変位機構から吸着部に伝達される変位量を縮小する弾性部とを備える。 （もっと読む）

【課題】
瞳面における露光光ＥＬの強度分布を調整できる露光装置等を提供する。
【解決手段】
二次元面内に配置された複数の反射面を有する反射光学部材１６は、複数の反射面の間の少なくとも一部に設けられ、反射面に入射する入射光又は反射面によって反射される反射光の少なくとも一方の光量を調整する調整部材２２を備えている。
調整部材２２は、複数の反射面の間から出し入れ可能であり、反射面からの調整部材２２の突出量を個別に調整することで、照明光学系または投影光学系の瞳面、またはこの瞳面と共役な位置における露光光ＥＬの強度分布を補正することができる。 （もっと読む）

【課題】照明光学系のミラーに直接触れることなくミラーが交換可能なミラー着脱装置を提供する。
【解決手段】平面ミラー４に取り付けられた複数の支持部６を支持機構７を介して筐体９に固定し、支持機構７によりそのミラー曲率を調整するミラー曲率調整機構５の平面ミラー４を着脱するミラー着脱装置１であって、平面ミラー４の表面部を覆う表部材２と、平面ミラー４の裏面部を覆う裏部材３とで形成され、表面部材２及び裏部材３により平面ミラー４を覆った状態で支持機構７に対して着脱可能に形成されている。 （もっと読む）

【課題】暗い場所での鏡の使用が容易なバックライト付き鏡を提供する。
【解決手段】バックライト付き鏡１は、芯部２と、鏡部５と、電源部６とを備えている。鏡部５は、光を透過可能な反射膜３と、反射膜３の背面側に設けられたＥＬバックライト４とを有する。鏡部５は、芯部２に一端部が固着され、巻き取り可能にフレキシブル性を有する。電源部６は、芯部２に設けられ、ＥＬバックライト４に電力を供給する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成及び制御を用いて、複数の駆動電極により所望する反射面の形状に変えることのできる可変形状鏡システムを提供することである。
【解決手段】可変形状鏡システムは、可変形状鏡１と、駆動電圧指示信号１を受けて第１の分割電極３ａに増幅した駆動電圧Ｖ１として印加する増幅器２１と、第２の分割電極３ｂに増幅した駆動電圧Ｖ２を印加する増幅器２２と、第３の分割電極３ｃに増幅した駆動電圧Ｖ３を印加する増幅器２３と、駆動電圧指示信号１を受けて増幅器２２，２３に駆動電圧指示信号２，３をそれぞれに印加する演算器２４と、で構成され、１つの駆動電圧指示信号を分割された各分割電極３ａ，３ｂ，３ｃに対して、所望するミラー形状に基づいた演算処理により駆動電圧を生成して可変形状鏡を駆動することで、反射面の曲率に応じた所望の最適な非球面成分を実現する。 （もっと読む）

ＥＵＶマイクロリソグラフィのための照明光学系は、放射線源から物体視野に照明光ビームを誘導するのに使用される。少なくとも１つのＥＵＶミラー（１３）は、照明光ビームを形成するための非平面ミラートポグラフィを有する反射面（２９）を有する。ＥＵＶミラー（１３）は、その前に配置された少なくとも１つのＥＵＶ減衰器を有する。ＥＵＶミラー（１３）の反射面（２９）に対面する減衰器面は、ミラートポグラフィを補完するように設計された減衰器トポグラフィを有し、それによって減衰器面のうちの少なくともある一定の区画は、反射面（２９）から一定の間隔の位置に配置される。その結果は、可能な限り少ない望ましくない放射線損失しか伴わずに物体視野にわたる照明パラメータ、例えば、照明強度分布又は照明角度分布の望ましくない変化を補正することができる照明光学系である。 （もっと読む）

【課題】光学素子の形状を高精度に制御性良く調整することができ、周辺部材の変形を招きにくい光学装置、ステージ装置、光学系及び露光装置を提供する。
【解決手段】投影光学系８５は、一つの光学素子１Ａを、それを保持すると共に光学素子１Ａの形状を調整する光学装置３０Ａを介して鏡筒８６に固定している。光学装置３０Ａは、光学素子１Ａを保持する保持部３Ａと、鏡筒８６の一部に固定される固定部４Ａと、を有して光学素子１Ａを支持する剛性部材としての支持部材２Ａと、鏡筒の一部６Ａには接続されずに、支持部材２Ａの表面又は内部に取り付けられて支持部材２Ａに内力を発生させることによって光学素子１Ａに変形力を加えるアクチュエータ素子７Ａと、を有する。 （もっと読む）