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Fターム[2H043AD01]の内容

光学要素の取付・調整 (3,938) | 光学的なもの (428) | 調節の目的 (162)

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【課題】光学素子の調整量を抑制しながら良好な光学特性を実現可能な露光装置を提供する。
【解決手段】原版のパターンを基板に露光する露光装置であって、光学素子を含み、前記原版のパターンを前記基板に投影する投影光学系と、前記光学素子の位置、姿勢及び形状の少なくとも1つを調整する調整部と、前記光学素子の調整量の1次関数で表される前記投影光学系の1次光学特性値の上限である第1のダミー変数、前記調整量の上限である第2のダミー変数、及び、前記調整量の2次関数で表される前記投影光学系の2次光学特性値の上限である第3のダミー変数によって表される目的関数の値が最小となる場合の前記光学素子の調整量を算出し、算出された前記調整量に基づいて前記調整部を制御する制御部とを有する。 (もっと読む)


【課題】 露光後に基板を観察することなく変位計測手段(変位センサ)の原点ずれを校正することが可能な投影露光装置を提供する。
【解決手段】 本発明の投影露光装置は、光学要素を有し前記光学要素を制御することにより結像特性を補正する投影光学系を介して、第1物体のパターンを第2物体に投影して露光する投影露光装置であって、前記光学要素の変位を計測する変位計測手段と、前記変位計測手段の計測基準を記憶する記憶手段と、前記投影光学系の結像特性を計測する結像特性計測手段と、前記結像特性計測手段の計測結果に基づいて前記計測基準を校正する校正手段とを有する。 (もっと読む)


【課題】塵埃の付着を防止する機能を有する光学部品を提供する。
【解決手段】
撥水性を有する第1領域と、前記第1領域に接して備えられ前記第1領域よりも撥水性が低い第2領域とを含み、光透過性を有する透過部と、前記第2領域の電気を導通させる電気導通部とを有する光学部品。 (もっと読む)


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