【課題】可動部上にミラー等の反射膜が形成されるアクチュエータを、反射膜の損傷を適切に抑制又は防止しながら製造する。
【解決手段】
反射膜（１７０）が形成される可動部（１２０）と、可動部を取り囲む支持部（１１０）と、可動部が揺動可能なように可動部と支持部とを接続するトーションバー（１３０）とを備えるアクチュエータの製造方法は、基板（２０１）上に可動部、支持部及びトーションバーを形成する第１工程（Ｓ１０６）と、可動部上に、反射膜を形成する第２工程（Ｓ１０５）と、可動部のうち反射膜が形成される側に、(i)反射膜の表面から突き出る高さを有し且つ(ii)他の構造物が反射膜に接触することを抑制する突起部（１８０）を形成する第３工程（Ｓ１０３）とを備える。 （もっと読む）

【課題】可動部上にミラー等の反射膜が形成されるアクチュエータを、反射膜の損傷を適切に抑制又は防止しながら製造する。
【解決手段】
反射膜（１７０）が形成される可動部（１２０）と、可動部を取り囲む支持部（１１０）と、可動部が揺動可能なように可動部と支持部とを接続するトーションバー（１３０）とを備えるアクチュエータの製造方法は、基板（２０１）上に可動部、支持部及びトーションバーを形成する第１工程（Ｓ１０６）と、可動部上に、反射膜を形成する第２工程（Ｓ１０５）と、可動部のうち反射膜が形成される側に、(i)反射膜の表面から突き出る高さを有し且つ(ii)他の構造物が反射膜に接触することを抑制する突起部（１８０）を形成する第３工程（Ｓ１０３）とを備える。 （もっと読む）

【課題】可動部上にミラー等の反射膜が形成されるアクチュエータを、反射膜の損傷を適切に抑制又は防止しながら製造する。
【解決手段】
反射膜（１７０）が形成される可動部（１２０）と、可動部を取り囲む支持部（１１０）と、可動部が揺動可能なように可動部と支持部とを接続するトーションバー（１３０）とを備えるアクチュエータの製造方法は、基板（２０１）上に可動部、支持部及びトーションバーを形成する第１工程（Ｓ１０６）と、可動部上に、反射膜を形成する第２工程（Ｓ１０５）と、可動部のうち反射膜が形成される側に、(i)反射膜の表面から突き出る高さを有し且つ(ii)他の構造物が反射膜に接触することを抑制する突起部（１８０）を形成する第３工程（Ｓ１０３）とを備える。 （もっと読む）

【課題】 圧電アクチュエータを用いた光偏向器において、デバイスサイズの増大や偏向・走査性能の低下を防止しつつ、振動や衝撃を緩和して破損を効果的に回避できる光偏向器を提供する。
【解決手段】 光偏向器Ａ１は、反射面を有するミラー部１と、トーションバー２ａ、２ｂに一端が連結され他端が支持部１０に連結されて支持された圧電アクチュエータ８ａ、８ｂとを備え、圧電アクチュエータに駆動電圧を印加することでトーションバーを介してミラー部を回転駆動する。ミラー部１と支持部１０との間の空隙に設けられる衝撃緩和部９ａ、９ｂは、支持部１０のトーションバーと直交する方向のミラー部１と対向する部分に、弾性を有する感光性の高分子材料をフォトリソグラフィ処理によりパターニング加工して形成される。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化および低コスト化を図り、製造にかかる手間を低減しつつ、磁石の剥離を防止することができ、可動板を第１の軸および第１の軸に直交する第２の軸の周りに回動（搖動）させることのできるミラーデバイス、ミラーデバイスの製造方法、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】ミラーデバイス１は、枠状部材１４と、１対の第２の軸部材１５ａ、１５ｂと、光反射性を有する光反射部１２を備える可動板１１と、１対の第１の軸部材１３ａ、１３ｂと、枠状部材１４に設けられ、長手形状をなす磁石２０と、可動板１１との接触を防止する空間２３を形成するように枠状部材１４と磁石２０との間に介在して枠状部材１４と磁石２０とを接合し、半田で構成された第１の半田層２１ａおよび第２の半田層２１ｂと、第１の下地層２２ａおよび第２の下地層２２ｂとを備えている。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳミラーの必要径を最小限に抑えることができる光走査装置を提供する。
【解決手段】レーザー光源２５と、レーザー光源２５から出射される光ビームＬを偏向するＭＥＭＳミラーと、ＭＥＭＳミラーによって偏向された光ビームＬ１を感光ドラム（被走査面）２ａ上に結像させる走査レンズ３０，３１と、レーザー光源２５から出射してＭＥＭＳミラーによって偏向された光ビームＬ２を検知するＢＤセンサ（光検知素子）３２を備えた光走査装置１３において、ＭＥＭＳミラーからＢＤセンサ３２に向かう光路Ａをレーザー光源２５からＭＥＭＳミラーに向かう光路Ｂと走査領域Ｒで囲まれる領域外に配置するとともに、走査領域Ｒに対して光路Ｂと同側に配置し、光路Ａが設けられた側を書出側として感光ドラム（被走査面）２ａを片側走査するよう構成する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成によって櫛歯電極間に精度よく段差構造が形成され、かつ、全体の小型化を可能とするマイクロスキャナを提供すること。
【解決手段】反射ミラー（１０）の自由端に形成された第１の櫛歯電極（１３ａ，１３ｂ）と、第１の櫛歯電極（１３ａ，１３ｂ）と対向し互いの櫛歯が交互に噛み合うように配置された第２の櫛歯電極（１５ａ，１５ｂ）と、第２の櫛歯電極（１５ａ，１５ｂ）と梁（１８）を介して結合された接触部（１９）と、接触部（１９）の上部または下部の少なくとも一方と向かい合う位置に固定配置された電極部（２０）と、を有し、接触部（１９）と電極部（２０）との間に静電引力を発生させて、接触部（１９）を変位させる構成とする。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成によって櫛歯電極間に精度よく段差構造が形成され、かつ、全体の小型化を可能とするマイクロスキャナを提供すること。
【解決手段】反射ミラー（１０）の自由端に形成された櫛歯電極を有する第１の櫛歯部（１３ａ，１３ｂ）と、第１の櫛歯部（１３ａ，１３ｂ）と対向し互いの櫛歯が噛み合うように配置された櫛歯電極を有する第２の櫛歯部（１５ａ，１５ｂ）と、反射ミラー（１０）および第２の櫛歯部（１５ａ，１５ｂ）の一方の面に対向するようにスペースを開けて配置された透光性基板（２２）と、透光性基板（２２）を固定端として第２の櫛歯部（１５ａ，１５ｂ）の一部であって第２のトーションバー（１６）の軸から外れた位置を押圧する押圧部材（２３）と、具備する構成とする。 （もっと読む）

【課題】振動系を有する基体上に導体パターンを設けた構成において、光反射面の静的なたわみを低減することができるアクチュエーター、光スキャナー、および画像形成装置を提供すること。
【解決手段】静的なたわみを低減することができるアクチュエーターは、揺動軸まわりに揺動可能な可動部、前記可動部から延出する連結部、および連結部を支持する支持部、を含む基体と、光反射面を有する光反射部、および前記光反射部から延出し前記可動部に固定される固定部、を含むミラー保持体と、前記可動部に設けられるコイルと、前記コイルに作用する磁界を発生する磁石とを備える。 （もっと読む）

【課題】製造における可動部の形状ばらつきを従来よりも小さくして、可動部の回動時の慣性モーメントを低減することができるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、光反射性を有する光反射部２１１と、光反射部２１１を備え、かつ所定の回動中心軸まわりに回動可能な板状の可動部２１と、可動部２１に連結し、かつ前記可動部２１の回動に伴って捩り変形する連結部２３、２４と、連結部２３、２４を支持する支持部２２と、を有し、可動部２１は、可動部２１の板厚方向からの平面視にて四角形の四隅の部分をそれぞれ矩形に欠いた形状（十字状）をなす。 （もっと読む）

【課題】ミラー部が揺動される際に、構造体の振動を抑制することが可能な光スキャナを提供すること。
【解決手段】平板状の構造体と、構造体の一部が固定される台座と、駆動部とを備える光スキャナである。構造体は、ミラー部と、ミラー部を両持ち支持する捩れ梁部と、捩れ梁部の端部に連結され、ミラー部から離間する方向に延出する本体部とを有する。本体部には、捩れ梁部の端部よりもミラー部から離間した位置に貫通孔が形成される。貫通孔よりもミラー部から離間した位置には、台座に対して固定される被固定部が設けられる。橋渡し部分は、捩れ梁部の長手方向に沿う方向に伸長し、貫通孔を橋渡しすることで本体部と被固定部分とを接続する。 （もっと読む）

【課題】冷媒通過による潤滑不良やグリース漏れを生じることなく永久磁石の温度上昇を抑制することができるようにする。
【解決手段】永久磁石１２を保持する回転軸１１の一方にミラー１００が、他方にエンコーダ板１７がそれぞれ取り付けられた回転子２０と、自身の内部空間に前記回転子を回転可能に収納した固定子３０と、を備え、回転子２０が所定の角度範囲内で微小回転するガルバノスキャナ１において、回転軸１１の軸方向に設けられた中空部２と、中空部２に配置され、エンコーダ板１７側の端部から供給される回収不要の冷媒を中空部２内に噴射するノズル６０と、噴射された冷媒が回転子２０内を通過し、回転子２０の端部側から排出される冷却経路４０，４１，４２と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成でスペックルノイズの低減が可能な走査型表示装置を提供する。
【解決手段】走査素子１１０、走査素子１１２、位相分布変化素子１１１で構成される位相分布変化装置１０９を光ビームの光路に挿入する。走査素子１１０は、位相分布変化素子１１１上に光ビームを走査する。位相分布変化素子１１１は、光ビームが入射する位置によって異なる位相分布を光ビームに付加する。走査素子１１２を走査素子１１０と同期制御させ、光ビームの進行方向の変化を相殺する。即ち、位相分布変化装置１０９は、光ビームの進行方向を保持したまま、その位相分布を動的に変化させる。その結果、レーザ光ビームの干渉現象に起因するスペックルノイズパターンを動的に変化させ、時間的平均化効果により、スペックルノイズを低減する。 （もっと読む）

【課題】捻り梁に支持されたミラーを圧電素子により捻り振動させ光を走査する光走査装置において、走査角を大きくしたり、低電圧でより大きい走査角を実現するには圧電素子に加わる電界強度を大きくすることが有効であり、圧電層を薄くする必要がある。しかし、圧電板を１００μｍ以下に薄くすると機械強度が低下し、機械強度を維持しながら圧電層を薄くして積層構造にすると静電容量が大きくなってしまし消費電力が大きくなってしまうという課題があった。
【解決手段】圧電厚膜を基板上に形成したユニモルフもしくはバイモルフ圧電素子を、捻りヒンジに支持されたミラーを形成させたミラーフレームに貼り付けて構成させる。 （もっと読む）

【課題】光の照射に起因する温度上昇を抑制する。
【解決手段】本発明の光走査装置は、支持部と、光を反射するミラーが装着されるミラー装着部と、ミラー装着部の両端に互いに対向して形成され、ミラー装着部を支持部に対して回動可能に支持する一対のばね部と、ミラー装着部を回動駆動する駆動部と、を有し、一対のばね部の各々は、永久磁石が装着される、スリットが形成された板状の磁石装着部と、磁石装着部を支持部に対して回動可能に支持する第１のばねと、第１のばねと略同位置直線上に設けられ、ミラー装着部を磁石装着部に対して回動可能に支持する第２のばねと、を有し、駆動部は、ミラー装着部の回動軸に沿って永久磁石を囲むように配置されたヨークと、ヨークに巻き付けられ、導通によってヨークを励磁して、永久磁石に作用する磁場を発生させるコイルと、を有する。 （もっと読む）

【課題】品質良く光反射面が動作する光スキャナーを提供する。
【解決手段】光反射面９ａを支持する可動部８と、可動部８に一端が接続され、光反射面９ａと平行に延在する可動梁１０と、可動梁１０の他端に連結された変位部５と、変位部５に固定された永久磁石７と、可動梁１０の延長方向に変位部５から隔てて配置され、変位部５を駆動する駆動部１１と、変位部５に接続され可動梁１０と直交して変位部５を支持する駆動梁６と、駆動梁６が連結された固定部３と、固定部３が固定された基台２と、固定部３を基台２に固定する連結部４と、を備え、固定部３は第１孔部３ａを有し、基台２は第２孔部２ａを有し、連結部４は第１孔部３ａより大きい頭部４ａと第１孔部３ａを通過する本体部４ｂとを有し、本体部４ｂが第１孔部３ａを貫通し第２孔部２ａに挿入され、本体部４ｂの他端が基台２と接着剤４ｃを介して固着され、固定部３は頭部４ａと基台２とに挟まれて配置される。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の動きが阻害され難く、圧電素子の電極に接合された導体が破断し難い光スキャナを提供する。
【解決手段】圧電素子１３が発生する振動により、ミラーを共振させて揺動させ、ミラーで反射した光を走査させる光スキャナであって、圧電素子１３の電極に接合する導体３０は、金属箔３０ａと、この金属箔３０ａの両面に層状に形成された樹脂製の被覆体３０ｂ、３０ｃとから構成されている。樹脂製の被覆体３０ｂ、３０ｃにより導体３０の強度が上がり、導体３０が破断し難い。また、導体３０は、導電体３０ａがヤング率の低い樹脂製の被覆体３０ｂ、３０ｃで被覆され、層状に形成されているので、導体３０の変形性が保たれ、接続された導体３０により圧電素子１３の動きが阻害され難い。 （もっと読む）

【課題】光反射領域を確保しながら可動板の回動時の慣性モーメントを低減するとともに、可動板の寸法精度を簡単に優れたものとすることができるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、光反射性を有する光反射部２１１を備える可動板２１と、支持部２２と、可動板２１を支持部２２に対して回動可能に連結する１対の連結部２３、２４とを有し、可動板２１は、可動板２１の回動中心軸（軸線Ｘ）に対して垂直な方向で両側へ突出する１対の突出部２１５、２１６と、軸線Ｘに対して平行な方向で両側に突出する１対の突出部２１３、２１４とを有する十字状をなし、突出部２１３〜２１６の突出長さが最適化されている。 （もっと読む）

【課題】部品点数の増加やコストアップを招くことなく、ＭＥＭＳミラー近傍の温度を求めて高い走査性能を得ることができる光走査装置を提供すること。
【解決手段】光ビームを出射するレーザーダイオード（ＬＤ）２５と、オートバイアスコントロール（ＡＢＣ）機能を備えるＬＤドライバと、前記レーザーダイオード２５から発せられる光ビームを偏向するＭＥＭＳミラー２６と、該ＭＥＭＳミラー２６によって偏向された光ビームを走査面上に結像させる走査レンズ２９，３０を備えた光走査装置１３において、ＬＤドライバによって前記レーザーダイオード２５に対する閾値電流を求め、求められた閾値電流に基づいて前記ＭＥＭＳミラー２６の駆動制御を行う。 （もっと読む）

【課題】製造における可動部の形状ばらつきを従来よりも小さくして、可動部の回動時の慣性モーメントを低減することができるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、光反射性を有する光反射部２１１と、光反射部２１１を備え、かつ所定の回動中心軸まわりに回動可能な板状の可動部２１と、可動部２１に連結し、かつ前記可動部２１の回動に伴って捩り変形する連結部２３、２４と、連結部２３、２４を支持する支持部２２と、を有し、可動部２１は、可動部２１の板厚方向からの平面視にて四角形の四隅の部分をそれぞれ矩形に欠いた形状（十字状）をなす。 （もっと読む）