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Fターム[2H045AB16]の内容

機械的光走査系 (27,008) | 振動ミラー走査手段 (6,561) | ガルバノ (6,155) | 構造、形状 (2,565) | 鏡面部、電磁力作用部一体型 (523)

Fターム[2H045AB16]に分類される特許

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【課題】可動部上にミラー等の反射膜が形成されるアクチュエータを、反射膜の損傷を適切に抑制又は防止しながら製造する。
【解決手段】
反射膜(170)が形成される可動部(120)と、可動部を取り囲む支持部(110)と、可動部が揺動可能なように可動部と支持部とを接続するトーションバー(130)とを備えるアクチュエータの製造方法は、基板(201)上に可動部、支持部及びトーションバーを形成する第1工程(S106)と、可動部上に、反射膜を形成する第2工程(S105)と、可動部のうち反射膜が形成される側に、(i)反射膜の表面から突き出る高さを有し且つ(ii)他の構造物が反射膜に接触することを抑制する突起部(180)を形成する第3工程(S103)とを備える。 (もっと読む)


【課題】磁石の剥離を防止することができ、磁路を設けることで磁石に作用する磁界の磁束密度を高くすることができ、可動部を第1の軸の周りに回動(搖動)させることのできるミラーデバイス、ミラーデバイスの製造方法、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】ミラーデバイス1は、光反射性を有する光反射部12を備える可動板11と、1対の軸部材13a、13bと、可動板11に設けられ、両極が第1の軸を挟んで配置された永久磁石20と、可動板11と永久磁石20との間に介在して可動板11と永久磁石20とを接合し、半田で構成された半田層21と、可動板11と半田層21との間に介在し、可動板11よりも半田の濡れ性が高く、軟磁性体を含む下地層22とを備え、可動板11の平面視で、下地層22は、永久磁石20を包含し、下地層22の少なくとも一部が永久磁石20から突出している。 (もっと読む)


【課題】装置の小型化および低コスト化を図りつつ、第2の軸部材に複合応力が生じることを防止または抑制することができ、可動板を第1の軸および第1の軸に直交する第2の軸の周りに回動(搖動)させることのできるミラーデバイス、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】ミラーデバイス1は、枠状部材14と、1対の第2の軸部材15a、15bと、光反射性を有する光反射部12を備える可動板11と、1対の第1の軸部材13a、13bと、枠状部材14に設けられ、長手形状をなす第2永久磁石20aと、可動板11に設けられ、長手形状をなす第1永久磁石20cとを備え、第2永久磁石20aは、その軸線が第2の軸部材15a、15bの軸線に対して直交するように配置され、第1永久磁石20cは、その軸線が第1の軸部材13a、13bの軸線に対して傾斜するように配置されている。 (もっと読む)


【課題】装置の小型化および低コスト化を図りつつ、駆動の際、可動板に撓みが生じることを防止または抑制することができ、可動板を第1の軸および第1の軸に直交する第2の軸の周りに回動(搖動)させることのできるミラーデバイス、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】ミラーデバイス1は、枠状部材14と、1対の第2の軸部材15a、15bと、光反射性を有する光反射部12を備える可動板11と、1対の第1の軸部材13a、13bと、枠状部材14に設けられ、長手形状をなす第2永久磁石20a、20bと、可動板11に設けられ、長手形状をなす第1永久磁石20cとを備え、第2永久磁石20a、20bは、その軸線が第2の軸部材15a、15bの軸線に対して傾斜するように配置され、第1永久磁石20cは、その軸線が第1の軸部材13a、13bの軸線に対して直交するように配置されている。 (もっと読む)


【課題】1つのドライブ回路で圧電型と電磁型のどちらでも対応することのできるアクチュエータ駆動システムを提供する。
【解決手段】電磁型アクチュエータを駆動させるための電磁型制御信号を出力する前置回路30と、この前置回路30から出力される電磁型制御信号によって前記電磁型アクチュエータを駆動させるドライブ回路20とを備えたアクチュエータ駆動システムであって、前置回路30は、圧電型アクチュエータを駆動させるための圧電型制御信号に基づいてドライブ回路20を動作させて、ドライブ回路20から圧電型アクチュエータを駆動させる圧電型駆動電圧を出力させる。 (もっと読む)


【課題】製造における可動部の形状ばらつきを従来よりも小さくして、可動部の回動時の慣性モーメントを低減することができるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー1は、光反射性を有する光反射部211と、光反射部211を備え、かつ所定の回動中心軸まわりに回動可能な板状の可動部21と、可動部21に連結し、かつ前記可動部21の回動に伴って捩り変形する連結部23、24と、連結部23、24を支持する支持部22と、を有し、可動部21は、可動部21の板厚方向からの平面視にて四角形の四隅の部分をそれぞれ矩形に欠いた形状(十字状)をなす。 (もっと読む)


【課題】先端部の外径を小さく形成することを可能にすると共に、前歯部や臼歯部等の口腔内組織を撮影する際に容易に撮影することができるプローブを提供すること。
【解決手段】プローブ30は、レーザ光を、被写体照射用の計測光と参照ミラー照射用の参照光とに分配し、被写体Sからの散乱光と参照ミラー21で反射した反射光とを合成させた干渉光を解析して光干渉断層画像を生成する光干渉断層画像生成装置1に使用され、被写体Sに照射して戻ってきた散乱光を回収する。光ファイバ60Aと、光ファイバ60Aからのレーザ光の照射方向を変化させる走査手段33と、走査手段33からの計測光を被写体に照射して散乱光を回収するノズル37と、光ファイバ60A、走査手段33及びノズル37を保持するハウジング3と、を備えている。ハウジング3には、先端部にノズル37が着脱可能に配置されている。 (もっと読む)


【課題】光走査装置の製造コストの抑制、及び小型化を図る。
【解決手段】光走査装置は、光束を発する半導体レーザーと、揺動軸を有し、該揺動軸の軸回りに所定の振れ角で正弦揺動しつつ前記半導体レーザーから発せられる光束を反射して偏向走査させるMEMSミラーと、前記偏向走査された光束を被走査面上に結像させる結像光学系とを備える。制御部60は、光走査装置を制御する露光制御部61と、前記結像光学系の光軸に対するMEMSミラーの振れ角の中心の回転ズレ量を記憶する記憶部62を備える。露光制御部61は、前記被走査面への書き出しタイミング及び部分等倍度を前記回転ズレ量に応じて補正して、半導体レーザーの発光タイミングを制御する。 (もっと読む)


【課題】製造における可動部の形状ばらつきを従来よりも小さくして、可動部の揺動時の慣性モーメントを低減することができるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー1は、揺動軸まわりに揺動可能な板状の可動板21と、可動板21から延出し、かつ可動板21の揺動に伴って捩り変形する連結部23、24と、連結部23、24を支持する支持部22と、可動板21の板面に固着された磁石411、412と、通電により磁石411、412に作用する磁界を発生させて可動板21を揺動させるコイル42とを有し、可動板21は、その板厚方向からの平面視にて、揺動軸に対して垂直な方向で両側へ突出する1対の突出部215、216と、揺動軸に対して平行な方向で両側に突出する1対の突出部213、214とを有する十字状をなし、磁石411、412は、突出部213、214に固着されている。 (もっと読む)


【課題】光走査装置の製造コストの抑制、及び小型化を図る。
【解決手段】光走査装置は、光束を発する半導体レーザーと、揺動軸を有し、該揺動軸の軸回りに所定の振れ角で往復揺動しつつ前記半導体レーザーから発せられる光束を反射して略等速で偏向走査させるMEMSミラーと、前記偏向走査された光束を被走査面上に結像させる結像光学系とを備える。制御部60は、光走査装置を制御する露光制御部61と、前記結像光学系の光軸に対するMEMSミラーの振れ角の中心の回転ズレ量を記憶する記憶部62を備える。露光制御部61は、前記被走査面への書き出しタイミングを前記回転ズレ量に応じて補正して、半導体レーザーの発光タイミングを制御する。 (もっと読む)


【課題】振動系を有する基体上に導体パターンを設けた構成にいて、比較的簡単に、長寿命化を図ることができるアクチュエーター、アクチュエーターの製造方法、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー(アクチュエーター)1の製造方法は、基板をエッチングした後に平坦化処理することにより、所定の軸まわりに回動可能な可動部と、前記可動部に連結された連結部と、前記連結部を支持する支持部とを有する基体を形成する第1の工程と、基体上に絶縁層を形成する第2の工程と、基体の一方の面の絶縁層上に導電性を有する導体部を形成する第3の工程とを有している。 (もっと読む)


【課題】製造における可動部の形状ばらつきを従来よりも小さくして、可動部の回動時の慣性モーメントを低減することができるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー1は、所定の回動中心軸まわりに回動可能な板状の可動板21と、可動板21に連結し、かつ可動板21の回動に伴って捩り変形する連結部23、24と、連結部23、24を支持する支持部22と、可動板21の板面上に設けられた永久磁石41と、永久磁石41に作用する磁界を発生させて可動板21を回動させるコイル42とを有し、可動板21は、可動板21の板厚方向からの平面視にて十字状をなす。 (もっと読む)


【課題】振動系を有する基体上に導体パターンを設けた構成において、比較的簡単に、長寿命化を図ることができるアクチュエーターの製造方法、アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー1の製造方法は、基板をエッチングした後に平坦化処理することにより、所定の軸まわりに回動可能な可動部、可動部に連結された連結部、連結部を支持する支持部、可動部および連結部に対して基板を貫通する貫通孔225を介して離間するとともに支持部に対して構造的な強度が前記支持部よりも弱い脆弱部を介して接続された除去可能な除去部26、を含む基体302を形成する第1の工程と、基体302の上方に導体パターン8を形成する第2の工程と、除去部26を除去する第3の工程とを有する。 (もっと読む)


【課題】2次元走査ミラーで生じる画像の歪みを良好に補正できる高い光学性能を有し、設置や組み込みの容易な小型の歪み補正プリズムと、それを備えた小型・薄型の光学装置を提供する。
【解決手段】歪み補正プリズムPRは、第1,第2プリズムP1,P2から成る接合プリズムである。第1光学面S1−1と第3光学面S2−1とが接合されており、第1,第2光学面S1−1,S1−2に対して垂直な平面は第1走査方向Vに対して平行である。第1,第2光学面S1−1,S1−2で形成される頂角K1が、第3,第4光学面S2−1,S2−2で形成される頂角K2よりも大きく、頂角K1とK2との差が第2,第4光学面S1−2,S2−2で形成される頂角K3と等しく、第1プリズムの分散が第2プリズムの分散よりも小さい。 (もっと読む)


【課題】投光タイミングのテーブルを予め複数記憶させる必要がなく、かつ、投光タイミングのテーブル生成待ちによる装置の停止を抑制する。
【解決手段】2軸回りに揺動可能に形成され光源部5からのレーザ光を二次元走査可能な光走査部2と、揺動用の各駆動信号の周波数の少なくとも一方を対応する軸回りの共振周波数に合わせ各駆動信号を出力する駆動部3と、投光タイミングのテーブルを記憶可能な領域を2つ有する記憶部6と、一方の領域のテーブルで投光タイミングを指令する光源制御部7と、各共振周波数に対する駆動信号の周波数のずれ量の少なくとも一方を検出するずれ量検出部8と、ずれ量が第1閾値より大きい場合、テーブル生成を開始し他方の領域に記憶させるタイミングテーブル生成部9と、ずれ量が第2閾値より大きい場合、テーブル読込先を切替える切替部10及び各駆動周波数を変更する周波数変更部4とを備える。 (もっと読む)


【課題】反射ミラー面の反復偏向手段によって光ビームを2次元的に走査することで投射スクリーン上に2次元画像を投影表示する機能を備えた走査型画像表示装置において、反射ミラー面の2次元反復偏向駆動に起因する大きな画像歪を良好に補正する。
【解決手段】光ビーム走査用偏向ミラー装置9と投射スクリーン20の間の反射光ビーム光路中に、光ビーム入射側の光学面11と光ビーム出射側の光学面12との相対傾き角がδとして規定されたくさび型プリズム10を配置する。 (もっと読む)


【課題】消費電力を抑えることができる表示装置を提供すること。
【解決手段】表示装置1は、光を出射する光出射部3と、光出射部3から出射した光を反射させる光反射部411e、421eが回動中心軸まわりに回動可能に設けられ、かつ、表示面91上にて、光反射部411e、421eで反射した光を水平方向に走査するとともに垂直方向に走査する光走査部4と、光反射部411e、421eの回動の振幅を変更する作動制御装置5とを有し、作動制御装置5が光反射部411eの回動の振幅を変更することにより、表示面91の第1の領域に光を走査する第1の状態と、表示面91の第1の領域と第1の領域と異なる第2の領域とに光を走査する第2の状態とを切り換える。 (もっと読む)


【課題】消費電力を抑えることができる表示装置を提供すること。
【解決手段】表示装置1は、光を出射する光出射部3と、光出射部3から出射した光を反射させる光反射部411e、421eが回動中心軸まわりに回動可能に設けられ、かつ、表示面91上にて、光反射部411e、421eで反射した光を水平方向に走査するとともに垂直方向に走査する光走査部4と、光反射部411e、421eの回動の振幅を変更するとともに、光出射部3から出射される単位時間当たりの光量を調整する作動制御装置5とを有し、作動制御装置5が光反射部411eの回動の振幅を変更することにより、表示面91の第1の領域に光を走査する第1の状態と、表示面91の第1の領域と第1の領域に隣接する第2の領域とに光を走査する第2の状態とを切り換える。 (もっと読む)


【課題】画像解像度や測距精度を低下させることなく、かつ、駆動信号の大きさを高めることなく走査画角を大きくする。
【解決手段】第1光反射面2aを有した第1可動板2cを備え、楕円を含む基準平面に第1光反射面2aの反射点を投影した点が楕円の一方の焦点F1と一致するように配置され、第1可動板2cの揺動により第1光反射面2aへの入射光を反射走査する第1走査手段2と、楕円の長軸側の円弧状に湾曲形成した反射面4aを有し第1走査手段2からの入射光を反射する楕円ミラー4と、第2光反射面3aを有した第2可動板3cを備え、基準平面に第2光反射面3aの反射点を投影した点が一方の焦点F1と楕円ミラー4間の他方の焦点F2と一致し、かつ、基準平面に対して第1走査手段2と反対側に位置するように配置された第2走査手段3と、各走査手段に駆動信号を供給する駆動手段5とを備える。 (もっと読む)


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