【課題】可動部上にミラー等の反射膜が形成されるアクチュエータを、反射膜の損傷を適切に抑制又は防止しながら製造する。
【解決手段】
反射膜（１７０）が形成される可動部（１２０）と、可動部を取り囲む支持部（１１０）と、可動部が揺動可能なように可動部と支持部とを接続するトーションバー（１３０）とを備えるアクチュエータの製造方法は、基板（２０１）上に可動部、支持部及びトーションバーを形成する第１工程（Ｓ１０６）と、可動部上に、反射膜を形成する第２工程（Ｓ１０５）と、可動部のうち反射膜が形成される側に、(i)反射膜の表面から突き出る高さを有し且つ(ii)他の構造物が反射膜に接触することを抑制する突起部（１８０）を形成する第３工程（Ｓ１０３）とを備える。 （もっと読む）

【課題】可動部上にミラー等の反射膜が形成されるアクチュエータを、反射膜の損傷を適切に抑制又は防止しながら製造する。
【解決手段】
反射膜（１７０）が形成される可動部（１２０）と、可動部を取り囲む支持部（１１０）と、可動部が揺動可能なように可動部と支持部とを接続するトーションバー（１３０）とを備えるアクチュエータの製造方法は、基板（２０１）上に可動部、支持部及びトーションバーを形成する第１工程（Ｓ１０６）と、可動部上に、反射膜を形成する第２工程（Ｓ１０５）と、可動部のうち反射膜が形成される側に、(i)反射膜の表面から突き出る高さを有し且つ(ii)他の構造物が反射膜に接触することを抑制する突起部（１８０）を形成する第３工程（Ｓ１０３）とを備える。 （もっと読む）

【課題】光の利用効率を低減することなく走査速度を上げる。
【解決手段】入射されたビームを所定の切替タイミングで複数の方向に切り替えて偏向可能な偏向素子１と、偏向素子１により偏向されたビームの各光路ＬＡ〜ＬＤ上に互いに異なる角度で配置された複数の角度設定ミラー１３を有し、各角度設定ミラー１３によって光路ＬＡ〜ＬＤごとにビームを同一平面上における相対的な角度を付与して反射して同一箇所に集合させるミラーアレイ３と、前記平面に対して垂直な軸線回りに切替タイミングに同期して揺動可能に設けられ、ミラーアレイ３により同一箇所に異なる方向から入射させられる各ビームを反射して同一の軌跡に沿って走査する第１スキャナ５とを備える光走査装置１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】捩り撓みヒンジで連結されて相対的に回転する微細加工部材の改良された構造体を提供する。
【解決手段】基準フレームを動的プレート５８に連結し、フレームを捩りバーでではなく、折返し捩り撓みヒンジ９６でプレート５８に連結する。そして、折返し捩り撓みヒンジ９６はプレート５８をフレーム側から支持するもので、３つの基本ヒンジ素子１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃから成り、各基本ヒンジ素子１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃの縦軸９８の向きは、プレート５８の回転軸６２に垂直ではなく、折返し捩り撓みヒンジ９６の中間部１０４が、基本ヒンジ素子１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃの直隣接端１０６を相互に連結し、基本ヒンジ素子１０２ｂは、フレームに対して、軸６２を中心とするプレート５８の角回転を測定する捩りセンサ１０８を備えるように構成する。 （もっと読む）

【課題】 反射面を二軸周りに揺動するときの回転角を減少させることなく、反射面の二軸周りの揺動を精度良く検知できる光偏向器を提供する。
【解決手段】 光偏向器１は、第１圧電アクチュエータ３１及び第２圧電アクチュエータ５１の駆動で二軸周りに揺動する反射面２ａと、当該揺動を検知する第１検知部７１ｙ及び第２検知部７１ｘを有する第１支持部４とを備える。第２圧電アクチュエータ５１には、第１圧電アクチュエータ３１に導通する第１駆動配線Ｗｙと、第２圧電アクチュエータ５１に導通する第２駆動配線Ｗｏ，Ｗｅと、第１検知部７１ｙに導通する第１検知配線Ｗｍｙと、第２検知部７１ｘに導通する第２検知配線Ｗｍｘと、第１接地線Ｗｇｙとが並行に配置される。第１接地線Ｗｇｙは、第１駆動配線Ｗｙ及び第２駆動配線Ｗｏ，Ｗｅと、第１検知配線Ｗｍｙ及び第２検知配線Ｗｍｘとの間に配置される。 （もっと読む）

【課題】捻り振動を用いた光走査装置において、温度変化による走査特性の変化を自律的に抑制する。
【解決手段】光ビームを反射させる反射面を有する光反射部１３と、光反射部１３を捻り振動させるための回転軸となる弾性連結部１６ａ，１６ｂとを備え、上記回転軸を中心にして光反射部１３を振動させることにより、上記反射面により反射された光ビームを走査する光走査装置において、熱アクチュエータ機構を備える。熱アクチュエータ機構は、例えば弾性連結部１６ａ，１６ｂと一体に構成され、熱膨張率が互いに異なる２種類の材料の部材が積層されてなる構造を有し、自身の収縮または膨張により、弾性連結部１６ａ，１６ｂに関して温度変化に伴うバネ定数の変化を相殺する形状に変化させることで、温度変化に伴う共振周波数の変化を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】ガルバノミラーを急停止することに伴う加工ラインの蛇行を低減する。
【解決手段】Ｙ軸ガルバノミラーユニット14を支持するためのＹ軸ガルバノマウント18はベースプレート20の一端部に位置する台座ブロック24から横方向に延出している。このＹ軸ガルバノマウント18は幅狭であり、Ｙ軸ガルバノミラーユニット14の軸部ケース142の長手方向の一部がＹ軸ガルバノマウント18によって固定され、軸部ケース142の他の部分は解放されている。Ｙ軸ガルバノマウント18によって軸部ケース142が固定される部位は、Ｙ軸ガルバノミラーユニット14の重心よりも後端側の部位に設定される。 （もっと読む）

【課題】 反射面を二次元方向に揺動するときの回転角を減少させることなく、反射面の二次元方向の揺動を検知できる光偏向器を提供する。
【解決手段】 光偏向器１は、反射面２ａを有するミラー部２を支持する第１支持部４と、ミラー部２を第１支持部４に対して第１軸Ｙ周りに揺動させる第１圧電アクチュエータ３１，３２と、第１支持部４を支持する第２支持部６と、第１支持部４を第２支持部６に対して第２軸Ｘ周りに揺動させる第２圧電アクチュエータ５１，５２とを備える。第１支持部４上には、第１圧電アクチュエータ３１，３２の圧電駆動により伝達される第１振動を検知する第１検知部７１ｙ，７２ｙと、第２圧電アクチュエータ５１，５２の圧電駆動により伝達される第２振動を検知する第２検知部７１ｘ，７２ｘとが配置される。 （もっと読む）

【課題】 反射面を揺動するときの回転角を減少させることなく、反射面の揺動を検知できる光偏向器を提供する。
【解決手段】 光偏向器１は、反射部２を支持する第１支持部４と、これを支持する第２支持部６と、一端が第１支持部４に、他端が第２支持部６にそれぞれ連結され、圧電駆動により第１支持部４を第２支持部６に対して第２軸Ｘ周りに揺動させる第２圧電アクチュエータ５１，５２とを備える。第２圧電アクチュエータ５１，５２の圧電駆動により、第２支持部６に伝達される振動を検知する検知部７１，７２が第２支持部６に配置される。 （もっと読む）

【課題】画像センサ等の撮影領域を少ない消費電力で照明できる照明装置を提供する。
【解決手段】光ビームを出射する光源２、ＣＣＤカメラ１１の撮影領域Ａに対して光源１から出射された光ビームを反射しその反射光ビームを２次元走査するガルバノミラー４と、ガルバノミラー４による撮影領域Ａの走査周期とＣＣＤカメラ１１の画像データを取込む画像取込み部１２の画像の取込みタイミングとを同期させる同期制御部６とを備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】可動部の最大振れ角を変更しても、当該最大振れ角の検出精度を維持することができる光走査装置および画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光走査装置１は、板状体で構成され、その一方の面に設けられた、レーザー光ＳＳを反射する光反射部３１１ｅを有し、回動中心軸Ｊ３回りに回動し、その最大振れ角の大きさが可変の可動板３１１ａと、可動板３１１ａが最大振れ角で回動していることを検出する回動検出手段２とを備えている。回動検出手段２は、光反射部３１１ｅに向かってレーザー光ＳＳを照射する光源２１と、光源２１からのレーザー光ＳＳが光反射部３１１ｅで反射した反射光を受ける受光部２２と、可動板３１１ａの最大振れ角に応じて受光部２２の位置を変更する変位駆動部２３とを有している。 （もっと読む）

【課題】振動ミラーにより光ビームを走査することで対象物上に光のパターンを投影する三次元形状計測装置において、投影する光のパターンの環境条件等による変化を補償する。
【解決手段】ＭＥＭＳミラー１４で走査されるスリット光が実効的な走査範囲のＡ端を通るタイミングを光ファイバ２０Ａ及び光検出器３６Ａにより検出する。時間間隔計測部３８は、往復走査されるスリット光がＡ端を通過するタイミング同士の時間間隔を計測する。走査角度判定部４０は、計測された時間間隔に対応する走査角度変化パターンを求め、そのパターンからレーザー駆動信号の位相に対応する走査角度を求める。変調パターン信号生成部４２は、求められた走査角度に対応するレーザー発光強度を投影パターンから求める。レーザー駆動回路３２は、求められたレーザー発光強度に従って、レーザー１０の発光を制御する。 （もっと読む）

【課題】低速走査素子の異常共振に起因する画像品質の劣化を簡易な構成で抑制することができる画像表示装置を提供する。
【解決手段】高速走査素子および低速走査素子を備えた画像表示装置は、高速スキャナコントローラ５１、低速スキャナコントローラ５２、およびＲＧＢレーザコントローラ５３を有する。低速スキャナコントローラ５２では、駆動元波形生成手段６１が生成した駆動元波形にノッチフィルタ処理を行って、駆動信号を生成する。重畳信号決定手段７１が決定した波形、電流振幅、および周波数に基づいて、高周波発生手段７３が温度調整信号を生成する。加算器７４が駆動信号と温度調整信号とを加算して、合成信号を生成する。 （もっと読む）

【課題】走査ミラーの共振周波数を短時間で容易に計測して駆動周波数を設定することができる光走査装置、および共振周波数設定方法を提供する。
【解決手段】ヘッドマウントディスプレイは、起動時点において設定された起動用共振周波数を駆動周波数として、垂直走査駆動部による垂直走査ミラーの揺動動作を起動する（Ｓ２）。次いで、垂直走査ミラーの駆動周波数を線形領域へ向けて一方向に順次変化させていく（Ｓ３）。垂直走査ミラーの振れ角が増加から減少へ変化すると（Ｓ５：ＹＥＳ）、駆動周波数の増減方向を切り替える（Ｓ１１）。ヘッドマウントディスプレイは、垂直走査ミラーの振れ角が最大となる駆動周波数を、垂直走査ミラーの共振周波数として計測する（Ｓ１３：ＹＥＳ、Ｓ２１）。計測した共振周波数を、その後の垂直走査ミラーの駆動周波数に設定する（Ｓ２２）。 （もっと読む）

【課題】画像非表示状態において、共振型偏向素子の共振周波数追従制御や駆動電圧による振幅制御にかかる消費電力を抑えることができる走査型画像表示装置を提供する。
【解決手段】光束を出射する光源部と、共振型偏向素子を備えた走査部と、共振型偏向素子の偏向面の揺動状態を検出する揺動状態検出部と、駆動信号の周波数を制御する駆動周波数制御部と、駆動信号の電圧を制御する振幅制御部と、を備え、画像信号の出力が停止した画像非表示状態では、駆動周波数制御部を機能させた状態で振幅制御部の機能を停止し、偏向面の揺動振幅が所定の振れ角になるまで、駆動信号の電圧を小さくすることを特徴とする走査型画像表示装置。 （もっと読む）

【課題】同軸系タイプのビーム光投受光装置のコンパクト化及び組立て調整作業の容易化を図る。
【解決手段】光源２１０からスキャンミラー２４０に向かう投光ビームの光路と、対象領域内の物体から反射しスキャンミラー２４０から受光素子２６０に向かう戻り光の光路を分離する投受光分離部材を、１つのプリズム２３０で形成し、プリズム２３０は、投光ビームをスキャンミラー２４０方向に反射する反射領域２３１（外側反射面）と、スキャンミラー２４０からの戻り光を透過する透過領域２３２と、この透過領域２３２を透過した戻り光をプリズム内部で受光素子２６０方向に反射する内側反射面Ｄと有する構成である。 （もっと読む）

【課題】駆動を検出するための検出用電極を備える振動ミラー素子を容易に製造することが可能な振動ミラー素子を提供する。
【解決手段】この振動ミラー素子１００は、ミラー部１と、ミラー部１を駆動する駆動部４および５とを備え、駆動部４および５には、電圧の印加により駆動部４および５を変形させて駆動させるための駆動用電極４４および５４と、駆動部４および５の変形量を検出するための検出用電極４５および５５とがそれぞれ配置されている。 （もっと読む）

【課題】省電力駆動が可能な画像形成装置を提供すること。
【解決手段】表示面Ｓ１に形成された描画領域Ｓ１１にレーザー光ＬＬを走査することにより画像を表示するよう構成された画像形成装置１であって、レーザー光ＬＬを出射する光出射部３と、光出射部３から出射されたレーザー光ＬＬを水平方向に主走査するとともに、垂直方向に副走査することにより、描画領域Ｓ１１に２次元的に走査する光走査部４と、描画領域Ｓ１１に表示する画像の描画領域Ｓ１１上での水平方向の最大幅に、描画領域Ｓ１１上での主走査の振幅を対応させて光走査部４を駆動する駆動制御部５とを有する。 （もっと読む）

【課題】人間に対して画像の内容を認識させやすくすることができる画像形成装置を提供すること。
【解決手段】画像形成装置１は、光を出射する光源ユニット（光走査部）３と、表示面９１に対して、光源ユニット３から出射した光を走査する光走査部４と、光の走査により表示面９１に形成される画像をその中心付近を回転軸として回転させることにより、画像の向きを変更する作動制御装置５（変更手段）とを有する。また、画像形成装置１は、画像の位置を変更する描画位置変更手段６を有し、作動制御装置５は、描画位置変更手段６の作動状態に基づいて、画像の向きを変更する。 （もっと読む）

【課題】用いる画像データが静止画や変化の少ない動画に関するものであっても、画像に
対して人間が注目するような演出を行うことができる画像形成装置を提供すること。
【解決手段】画像形成装置１は、光を出射する光源ユニット３と、光源ユニット３から出
射した光を反射させる光反射部４１１ｅが回動可能に設けられ、その回動により、表示面
９１に対して、光反射部４１１ｅで反射した光を水平方向に第１の速度で走査するととも
に水平方向に直交する垂直方向に第１の速度よりも遅い第２の速度で走査する光走査部４
と、水平方向に走査する光反射部４１１ｅの振れ角を変更することにより、表示面９１に
表示される画像の水平方向での長さを変更する作動制御装置５とを有する。 （もっと読む）