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Fターム[2H045AB53]の内容

機械的光走査系 (27,008) | 振動ミラー走査手段 (6,561) | ガルバノ (6,155) | 駆動、制御 (2,201) | 走査位置制御 (177)

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【課題】可動部上にミラー等の反射膜が形成されるアクチュエータを、反射膜の損傷を適切に抑制又は防止しながら製造する。
【解決手段】
反射膜(170)が形成される可動部(120)と、可動部を取り囲む支持部(110)と、可動部が揺動可能なように可動部と支持部とを接続するトーションバー(130)とを備えるアクチュエータの製造方法は、基板(201)上に可動部、支持部及びトーションバーを形成する第1工程(S106)と、可動部上に、反射膜を形成する第2工程(S105)と、可動部のうち反射膜が形成される側に、(i)反射膜の表面から突き出る高さを有し且つ(ii)他の構造物が反射膜に接触することを抑制する突起部(180)を形成する第3工程(S103)とを備える。 (もっと読む)


【課題】可動部上にミラー等の反射膜が形成されるアクチュエータを、反射膜の損傷を適切に抑制又は防止しながら製造する。
【解決手段】
反射膜(170)が形成される可動部(120)と、可動部を取り囲む支持部(110)と、可動部が揺動可能なように可動部と支持部とを接続するトーションバー(130)とを備えるアクチュエータの製造方法は、基板(201)上に可動部、支持部及びトーションバーを形成する第1工程(S106)と、可動部上に、反射膜を形成する第2工程(S105)と、可動部のうち反射膜が形成される側に、(i)反射膜の表面から突き出る高さを有し且つ(ii)他の構造物が反射膜に接触することを抑制する突起部(180)を形成する第3工程(S103)とを備える。 (もっと読む)


【課題】画像センサ等の撮影領域を少ない消費電力で照明できる照明装置を提供する。
【解決手段】光ビームを出射する光源2、CCDカメラ11の撮影領域Aに対して光源1から出射された光ビームを反射しその反射光ビームを2次元走査するガルバノミラー4と、ガルバノミラー4による撮影領域Aの走査周期とCCDカメラ11の画像データを取込む画像取込み部12の画像の取込みタイミングとを同期させる同期制御部6とを備えて構成した。 (もっと読む)


【課題】画像の台形歪みを防止するための制御を容易にすることで、回路規模を小さくすることができる画像形成装置の駆動方法を提供すること。
【解決手段】反射面に光を反射させて投射面21に画像を形成する画像形成装置の駆動方法であって、第1方向を走査する反射面を駆動する第1駆動工程と、第2方向を走査する反射面を駆動させる第2駆動工程と、を有し、第1駆動工程では第1方向を走査する反射面の駆動は、反射面に外部から駆動力を付与する駆動期間と、反射面に駆動力を付与しないで走査させる惰性駆動期間と、を有していて、駆動力を反射面に付与するかまたは付与しないかの制御を行う。 (もっと読む)


【課題】走査速度の変動を伴うレーザ走査に起因して残存する局所的なスペックルノイズを有効に低減しつつ、画像の明るさの不均一性を解消する。
【解決手段】中央画素P512に関しては、画素表示期間T2内において、オン期間と、オフ期間とを含む波形パターンPT1が選択される。中央画素P512よりも遅い走査速度で走査されるサイド画素P0,P1023に関しては、画素表示期間T2よりも長い画素表示期間T1内において、オン期間と、オフ期間とを含む波形パターンPT2が選択される。ここで、波形パターンPT1におけるオン期間は、波形パターンPT1におけるオン期間よりも細分化されており、波形パターンPT1に占めるオン期間の時間比率は、波形パターンPT2に占めるオン期間の時間比率よりも小さい。 (もっと読む)


【課題】反射面の傾き変位を精度よく検出できる光走査装置を提供すること。
【解決手段】反射面30aを備えた可動板30と、一対のトーション梁31,32と、2組の一対のカンチレバー21,22、23,24と、支持枠10と、可動板30の変位に応じて生じる機械的変位を電気信号に変換するセンサ部41d,42d,43d,44dと、を備えた光走査装置であって、トーション梁31,32と可動板30とを連結する連結部41a,42a,43a,44aが、可動板30の往復傾動時にトーション梁31,32と可動板30との相対変位に応じて変位可能なように、その中間部がトーション梁31および可動板30に対しスリット41c,42c,43c,44cを介在させた離間状態で設けられ、連結部41a,42a,43a,44aにセンサ部41d,42d,43d,44dが設けられていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】双方向の線順次走査を行う画像表示装置において、スペックルノイズを有効に低減しつつ、投射スポットの位置ずれを適切に補正する。
【解決手段】レーザ制御部は、順方向走査時には、波形パターンGPT,BPTを時間軸上で反転させて波形パターンを設定する。さらに、レーザ制御部は、逆方向走査時には、順方向走査時の波形パターンを、時間軸上で反転させて波形パターンを設定する。波形パターンRPT,GPT,BPTは、画素表示期間内にレーザ光源の駆動開始タイミングおよび駆動終了タイミングを有している。画素表示期間の開始タイミングから駆動開始タイミングまでのオフ期間と、駆動終了タイミングから画素表示期間の終了タイミングまでのオフ期間は、時間軸上で非対称に設けられている。 (もっと読む)


【課題】接続構造に接続されたマイクロ振動装置の現在の姿勢を雑音なしに高い正確度で検知することができるようにする。
【解決手段】マイクロ振動装置のための接続構造において、接続構造の一端はマイクロ振動構造に、他端はバネ部材に少なくとも間接的に接続可能であり、接続構造はマイクロ振動構造の回転軸に対して平行に配置された少なくとも1つの脚部と、回転軸に対して垂直に配置された少なくとも1つの別の脚部と、接続構造の捩れを測定する少なくとも1つの抵抗素子とを含んでおり、回転軸に平行な方向における接続構造の広がりは、回転軸に対して垂直な方向における接続構造の広がりの少なくとも2.5倍であり、抵抗素子は接続構造が捩れたときに比較的大きな機械的応力が生じる領域に配置されている。 (もっと読む)


【課題】簡易な構成で画像データの書出開始を制御することが可能な光走査装置、駆動制御回路及び書出制御方法を提供することを目的としている。
【解決手段】光源からの光を走査させて画像を投影させる光走査装置であって、共振振動により揺動され、前記光を走査させるミラーと、前記光源を駆動させるタイミングを制御する駆動制御手段と、を有し、前記駆動制御手段は、前記ミラーを揺動させる正弦波形のミラー駆動電圧を生成する生成手段と、前記ミラー駆動電圧を生成するための正弦波値が格納された正弦波値記憶手段と、前記正弦波値記憶手段のアドレスをカウントするアドレスカウント手段と、前記光源の駆動を指示するタイミングを決定するタイミング信号生成手段と、を有し、前記タイミング信号生成手段は、前記アドレスカウント手段のアドレスが所定のアドレスとなったとき、前記タイミング信号を生成し出力する。 (もっと読む)


【課題】簡素な構成にて、可動部を走査開始位置に迅速に戻すことが可能なビーム照射装置を提供する。
【解決手段】ミラーアクチュエータ100は、支軸111、112の周りに回動可能なミラーホルダ110と、ミラーホルダ110に装着されたミラー113と、ミラーホルダ110に配されたコイル114とを有する。第1FPC10は、コイル114に電気的に接続されるとともに、撓み方向にバネ性を有し、このバネ性を用いてミラーホルダ110を支軸111、112の周りの走査開始位置に向かって付勢するように配置されている。この付勢により、ミラーホルダ110は、走査終了位置から走査開始位置に迅速に戻される。 (もっと読む)


【課題】加工対象物に対するレーザ光の照射を高速でオン・オフすることができるレーザ加工装置及びその加工方法を提供する。
【解決手段】レーザ加工装置1は、ガルバノミラー4とプリント基板10との間でレーザ光を吸収可能な光吸収部材7と、プリント基板10に対するレーザ光の照射を一時的に中断するために、光吸収部材7にレーザ光を照射させるようにガルバノミラー4によるレーザ光の偏向角度を制御する制御部8とを備える。 (もっと読む)


【課題】 検出コイルの設置スペースを大きく確保することができ、S/N比を増大させて可動部の正確な位置検出を行うことのできるプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】 デバイス基板に設置された枠状の固定部2と、固定部2の内側にトーションバー5を介して可動自在に支持され駆動手段により駆動される可動部6と、可動部6に設置され可動部6を駆動するための渦巻き状に形成された駆動コイル7と、駆動コイル7のコイル配線の間に沿って設置され可動部6の動作を検出する検出コイル9と、を備えている。 (もっと読む)


【課題】従来の反射ミラー駆動機構は、コイル磁石から発生される磁力の向き及び大きさを制御して反射ミラーの角度を決定してレーザ光線を走査させるので、より確実に反射ミラーを回転揺動させるためにヒンジの反発力よりも大きな駆動力が必要となり、消費電力が大きくなっている。
【解決手段】本発明による反射ミラー駆動機構では、反射ミラー30は、フレクチャヒンジ体20を介して枠体10に取付けられている。フレクチャヒンジ体20には、トルカ40と角度検出器50とが設けられており、駆動制御部60は、角度検出器50からの角度信号50aに基づいてとるか40への入力電流609aを制御して、反射ミラー30を共振周波数fで回転揺動させる。 (もっと読む)


【課題】簡素な構成にて目標領域におけるレーザ光の走査位置を精度良く検出できるビーム照射装置を提供する。
【解決手段】レーザ光源から出射されたレーザ光は、ミラーに入射する。アクチュエータは、レーザ光が入射するミラーを回動させることにより、目標領域においてレーザ光を走査する。一方、半導体レーザ303から出射されたサーボ光は、ホログラム素子200に入射する。ホログラム素子200は、ミラーの回動に伴って回動し、出射面には、回折パターンが設定されている。光検出器309は、ホログラム素子200を透過したサーボ光を受光して、その受光位置に応じた信号を出力する。こうすると、光検出器309に入射するサーボ光の走査幅が広げられるため、光検出器309上におけるサーボ光の受光位置が精度良く検出される。結果、目標領域におけるレーザ光の走査位置も精度良く検出され得る。 (もっと読む)


【課題】装置を大型化することなく、スペックルを確実に抑制することができる画像表示装置を提供する。
【解決手段】本発明の画像表示装置1は、レーザ光源2R,2G,2Bと、レーザ光を被投射面上で2次元方向に走査して画像を描画する走査手段(MEMSミラー3、ガルバノミラー4)と、を備え、MEMSミラー3が、レーザ光をスクリーン7上で所定の周期で走査するレーザ光走査運動を行いつつ、レーザ光の走査周期の倍数以外の一定周期を持つ運動、レーザ光の走査周期の約数以外の一定周期を持つ運動、一定周期を持たない運動のいずれかを含むレーザ光入射角変化運動を行うことにより、走査手段からスクリーン7の所定の描画点に対するレーザ光の入射角が時間的に変化する。 (もっと読む)


【課題】小型化を実現するとともに、二次元で高トルクを発生することにより、二次元の大きな偏向角度を得ることができる電磁共振型の光スキャナを提供する。
【解決手段】固定部10に回転可能に支持された可動部30の反射面で入射光を反射させることにより、光を走査させる光スキャナ1において、可動部30は、2軸のジンバル機構により上記反射面とともに回転する構成を有し、固定部10は、永久磁石によって発生する定常磁束と、コイルに電流を流すことによって発生する駆動磁束との合成により、可動部30を回転させる電磁トルクを発生させる構成を有し、y軸まわりの電磁トルクを発生させる駆動磁束は、可動部30の共振周波数に合わせた周波数の交流電圧が上記コイルに与えられることにより発生し、x軸まわりの電磁トルクを発生させる駆動磁束は、段階的に変化する直流電圧が上記コイルに与えられることにより発生している。 (もっと読む)


【課題】装置を大型化することなく低速走査方向の点像のずれを小さくすることができる投影装置を提供する。
【解決手段】R,G,Bレーザ光の点像SPR,SPG,SPBは楕円形状とされている。点像SPR,SPBは長軸LZR,LZBが低速走査方向と平行にされている。これにより、点像SPR,SPBの低速走査方向の幅を高速走査方向の幅よりも広くする。こうすることで、点像SPR,SPG,SPBの低速走査方向へのずれが小さくなり、低速走査方向において点像SPR,SPG,SPBの重なる領域が増大する結果、階調性の高い画像を得ることができる。 (もっと読む)


【課題】目標領域におけるレーザ光の走査位置を精度良く検出できるビーム照射装置を提供する。
【解決手段】ビーム走査用のミラー113に伴って回動する透明体200を配する。この透明体200にサーボ光を照射し、透明体200によって屈折されたサーボ光をPSD308にて受光する。PSD308の受光光量に応じた出力(SUM出力)を生成し、この出力が基準値(Vref)に一致するよう、半導体レーザ303の出力を制御する。このように制御することで、透明体200が回動しても、PSD308の受光光量は略一定となり、PSD出力に含まれる誤差を抑制できる。また、PSD308の受光光量が極端に低下した場合、SUM出力の替わりにモニター用PD303aの出力をサーボ光の出力制御に用いる。これにより、半導体レーザ303に過電流が流れることを防ぐことができる。 (もっと読む)


【課題】回転軸の一方の方向の寸法を抑えた光走査装置における偏向面駆動部。
【解決手段】第1走査部20と、主走査用に第1走査部20を第1方向に平行な軸周りに回転自在に保持する第2走査部40と、副走査用に第2走査部40を第2方向に平行な軸周りに回転自在に保持するフレーム50を備える。第1走査部20は、入射光の光路を反射により偏向する走査ミラー30と、第2方向に突出した櫛歯で構成された第1櫛歯部を有する。第2走査部40は、第2方向に突出した櫛歯で構成された第2櫛歯部と、第1方向に突出した櫛歯で構成された第3櫛歯部を有する。フレーム50は、第1方向に突出した櫛歯で構成された第4櫛歯部を有する。第1櫛歯部を構成する櫛歯は第2櫛歯部を構成する櫛歯と交互に、第3櫛歯部を構成する櫛歯は第4櫛歯部を構成する櫛歯と交互に配置される。第1、第3櫛歯部、及び走査ミラーは、第1方向に並べられる。 (もっと読む)


【課題】径方向の寸法を抑える構造の共焦点光学装置を提供する。
【解決手段】共焦点光学装置1は、端面が共焦点ピンホールとして使用される光ファイバケーブル3を備える。光ファイバケーブル3から出射された光を反射する第1反射部(接触面)と、光ファイバケーブルから出射された光の光路に平行な第1方向xに平行な軸周りと、第1方向xに垂直な第2方向yに平行な軸周りに回転する走査ミラーを有し、回転により走査ミラーにおける第1反射部からの光の反射方向を変える偏向面駆動部13と、走査ミラーからの反射光を対物光学系5に向けて反射する第2反射部(接触面)とを有する光走査装置8を備える。 (もっと読む)


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