【課題】性能の劣化を生じることなく、走査光の走査量を正確に測定することが可能であり、かつ小型で安価な光走査装置を提供する。
【解決手段】複数の光学素子１と、該光学素子を保持するホルダ２と、ホルダ２を光学素子１の光軸に垂直な方向に移動可能に支持する支持手段３，４，５，６と、ホルダ２を光学素子１の光軸に垂直な方向に移動させる駆動手段と、発光素子とを備え、前記発光素子からの光が光学素子１を透過し、光学素子１を移動させることにより、透過光を走査して照射する光走査装置において、
支持手段が、複数の山と谷を有する波板状に形成されたバネ構造体であり、
山と谷の高さ方向が、ホルダ２の光学素子１を搭載した面と平行になるように配置された第１のバネ構造体３，５と、垂直になるように配置された第２のバネ構造体４，６とからなることを特徴とする光走査装置である。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化および低コスト化を図りつつ、駆動の際、可動板に撓みが生じることを防止または抑制することができ、可動板を第１の軸および第１の軸に直交する第２の軸の周りに回動（搖動）させることのできるミラーデバイス、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】ミラーデバイス１は、枠状部材１４と、１対の第２の軸部材１５ａ、１５ｂと、光反射性を有する光反射部１２を備える可動板１１と、１対の第１の軸部材１３ａ、１３ｂと、枠状部材１４に設けられ、長手形状をなす第２永久磁石２０ａ、２０ｂと、可動板１１に設けられ、長手形状をなす第１永久磁石２０ｃとを備え、第２永久磁石２０ａ、２０ｂは、その軸線が第２の軸部材１５ａ、１５ｂの軸線に対して傾斜するように配置され、第１永久磁石２０ｃは、その軸線が第１の軸部材１３ａ、１３ｂの軸線に対して直交するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】全体の小型化を可能とする光走査装置を提供すること。
【解決手段】被写体に照射する照射光が入射し所定方向へ反射する第１の反射面を有し、該第１の反射面で反射する照射光を第１の軸方向に走査するように前記第１の反射面を回転駆動させる第１のマイクロスキャナ（１０）と、一方の集光点が前記第１の反射面上の照射光位置に設定され、他方の集光点が前記第１のマイクロスキャナ（１０）と干渉しない位置に設定された凹面鏡（５０）と、前記凹面鏡（５０）の他方の集光点に配置された第２の反射面を有し、前記凹面鏡（５０）から前記第２の反射面に入射して反射する照射光を第１の軸方向と異なる第２の軸方向に走査するように前記第２の反射面を回転駆動させる第２のマイクロスキャナ（２０）と、を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】センサ配線のノイズを低減し、ミラーの傾きを高精度に検出することが可能な光走査装置及び光走査制御装置を提供することを目的としている。
【解決手段】ミラー及び前記ミラー支持部を挟むように対をなして設けられた第１の駆動梁と、第１の駆動梁の片側を前記捻れ梁と連結する連結梁と、連結梁上に形成されており、第１の駆動梁に駆動電圧が印加されて前記ミラーが揺動しているとき、捻れ梁の軸周りの揺動による連結梁の変位を検出する第１の圧電センサを有し、第１の圧電センサ手段は、上部電極配線がミラー及びミラー支持部を挟む一方の第１の駆動梁に向かって引き出され、下部電極配線がミラー及びミラー支持部を挟む他方の第１の駆動梁に向かって引き出される。 （もっと読む）

【課題】２軸動作が可能なマイクロミラー素子より構成されるミラーアレイが、配線数の増加を抑制した状態で形成できるようにする。
【解決手段】第１可動梁１３１を駆動するための第１駆動電極１１１が、基板１０１の側に第１可動梁１３１に対向して配置され、第２可動梁１４１を駆動するための第３駆動電極１１３が、基板１０１の側に第２可動梁１４１に対向して配置されている。一方、第３可動梁１６１を駆動するための第２駆動電極１１２は、基板１０１の側とは反対側で第３可動梁１６１に対向して配置され、第４可動梁１７１を駆動するための第４駆動電極１１４も、基板１０１の側とは反対側で第４可動梁１７１に対向して配置されている。 （もっと読む）

【課題】 光源手段から画像情報に応じて光変調された光束を２次元走査が可能な走査手段で偏向走査し、被投射面に対して投射画像を斜め方向から投射して２次元画像を形成するとき、歪みが少なく良好な投射画像を得ること。
【解決手段】 光源手段から発せられた光束を互いに直交する方向に走査する走査手段と、該走査手段により走査された走査光束を被投射面に投射する投射系と、投射系は互いに平行偏心したパワーのある第１，第２の光学要素と、基準面内で第１，第２の光学要素の光軸から離れた位置に近軸曲率中心を有するパワーのある反射手段を有し、中心光束は被投射面の法線に対して斜方向から入射しており、走査基準点を通り、第１，第２の光学要素の光軸に対して平行な軸を基準軸とするとき、第１の光学要素と、第２の光学要素の光軸を適切に設定したこと。 （もっと読む）

【課題】水平方向の広い角度を走査した場合においても垂直方向において変動の少ない光ビームスキャナを提供する。
【解決手段】光源と、前記光源からの光を走査する光スキャナと、前記光源より出射された光ビームを前記光スキャナに入射させるための入力光学系と、を有し、前記光スキャナは、回転軸を中心に回転する回転ミラーであって、前記光源より入射した光ビームを反射するミラーを有しており、前記回転ミラーが前記回転軸を中心に回転することにより、前記光ビームは、前記ミラーのミラー面において異なる位置に照射されるものであって、前記ミラーにおけるミラー面は、前記回転軸に垂直な面に平行な方向において、前記ミラーの一方の側から他方の側に向かって、前記回転軸に平行な方向に対するミラー面傾き角が徐々に増加していることを特徴とする光ビームスキャナを提供することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】加工難易度を上げずに小型化を実現した円筒型圧電素子の製造方法及び円筒型圧電素子を提供する。
【解決手段】円筒型圧電素子の製造方法は、円筒型圧電材料の内周面に基準電極5-21を設け、円筒型圧電材料の外周面に、周方向に所定の幅を持ち且つ軸方向には一方端から他方端へ亘る複数の駆動用電極5-1,5-2を設け、円筒型圧電材料の外周面のうち、円筒型圧電材料の軸方向における一方端近傍部位に、軸方向について複数の駆動用電極5-1,5-2に対して直列に且つ電気的に導通する態様で分極用電極5-11を設け、分極用電極5-11と基準電極5-21との間に所定の電圧を印加し、円筒型圧電材料のうち複数の駆動用電極5-1,5-2に対応する領域を分極し、円筒型圧電材料のうち分極用電極5-11を除去する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ミラー部に加わる応力を緩和し、破損や材料疲労を低減させることができる光走査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】ミラー反射面１０を有するミラー部４０〜４３を両側からトーションバー５０により支持し、該トーションバー５０を軸Ｘとして揺動させ、前記ミラー反射面１０で反射する光を走査させる光走査装置であって、
前記ミラー部４０〜４３は、前記ミラー反射面１０の中心を通り前記軸Ｘと垂直な垂直軸Ｙと前記ミラー反射面１０の端部との交点と前記トーションバー５０との間に前記トーションバー５０のねじれ運動により発生する応力を緩和する応力緩和領域２０、２２〜２４を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】捻り振動を用いた光走査装置において、温度変化による走査特性の変化を自律的に抑制する。
【解決手段】光ビームを反射させる反射面を有する光反射部１３と、光反射部１３を捻り振動させるための回転軸となる弾性連結部１６ａ，１６ｂとを備え、上記回転軸を中心にして光反射部１３を振動させることにより、上記反射面により反射された光ビームを走査する光走査装置において、熱アクチュエータ機構を備える。熱アクチュエータ機構は、例えば弾性連結部１６ａ，１６ｂと一体に構成され、熱膨張率が互いに異なる２種類の材料の部材が積層されてなる構造を有し、自身の収縮または膨張により、弾性連結部１６ａ，１６ｂに関して温度変化に伴うバネ定数の変化を相殺する形状に変化させることで、温度変化に伴う共振周波数の変化を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】 シリコン貫通電極などの複雑な構造をとることなく、MEMSデバイスの光スキャナをワイヤーレスで実装することができる小型・薄型にパッケージ化した光偏向器を提供する。
【解決手段】 光偏向器は、光スキャナチップ２１のミラー部２１ａの光反射面側に開口部１６を有し、両面に互いに電気的接続された複数の電極１２，１３を有する第１の基板１１と、その開口部１６に光反射面が向くように第１の基板１１上に実装された光スキャナチップ２１と、光スキャナチップ２１の光反射面と反対側の面に装着された第２の基板３１とでパッケージ化される。光スキャナチップ２１の電極２２は、第１の基板１１の一方の面の電極１２と金属の溶融又は圧接によって接続され、第１の基板１１の他方の面の電極１３，１４を介して給電される。 （もっと読む）

【課題】捻り振動を用いた光走査装置において温度変化による走査特性の変化を抑制する
【解決手段】光を反射させる反射面を有するミラー３１と、ミラー３１を捻り振動させるための回転軸ｋとなる弾性連結部１６ａ，１６ｂを備え、回転軸ｋを中心にしてミラー３１を揺動させて光を走査する。そしてミラー支持枠３２と熱アクチュエータ３３が、ミラー３１と弾性連結部１６ａ，１６ｂとを連結するとともに、温度が高くなるほどミラー３１の回転軸ｋ周りの慣性モーメントが低くなるようにミラー３１を変位させる。なお、ミラー３１の慣性モーメントを変化させるために、ミラー３１の反射面は、円以外の形状（図では楕円形状）を有し、熱アクチュエータ３３は、反射面に垂直な回転軸を中心にミラー３１を回転させる。 （もっと読む）

【課題】ワークで反射されたレーザの反射光が再びワークに照射されて照射痕を残すことを防止して、品質の高いプリント基板を加工可能なレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】ガルバノスキャナ２及びｆθレンズ５を有する加工ヘッド２５_１に、レーザの吸収率の高い遮蔽板２６_１を設けて、該遮蔽板２６_１がワークＷで反射したレーザの反射光９を吸収する。 （もっと読む）

【課題】高解像度化を図ることができる、小型の走査型表示装置を提供する。
【解決手段】走査型表示装置は、光源部１１と、光源部１１からの光ビームを投射面１３上で第１の方向および／または第１の方向と交差する第２の方向に走査する走査手段１２と、走査手段１２を制御し、光源部１１の発光タイミングを制御して、投射面１３上に画像を表示させる制御部１０と、を有する。走査手段１２は、第１の走査周期で第１の方向の走査を行う第１の走査素子と、第１の走査周期より短い第２の走査周期で第２の方向の走査を行う第２の走査素子と、第２の走査周期より短い第３の走査周期で第１の方向の走査を行う、最大走査角が第１の走査素子よりも小さい第３の走査素子と、を有する。制御部１０は、第３の走査周期に同期して光源部１１の発光タイミングを制御し、第２の方向において、一方の側から他方の側へ向かう１度の走査で、複数の走査線を描画させる。 （もっと読む）

【課題】先端部の外径を小さく形成することを可能にすると共に、前歯部や臼歯部等の口腔内組織を撮影する際に容易に撮影することができるプローブを提供すること。
【解決手段】プローブ３０は、レーザ光を、被写体照射用の計測光と参照ミラー照射用の参照光とに分配し、被写体Ｓからの散乱光と参照ミラー２１で反射した反射光とを合成させた干渉光を解析して光干渉断層画像を生成する光干渉断層画像生成装置１に使用され、被写体Ｓに照射して戻ってきた散乱光を回収する。光ファイバ６０Ａと、光ファイバ６０Ａからのレーザ光の照射方向を変化させる走査手段３３と、走査手段３３からの計測光を被写体に照射して散乱光を回収するノズル３７と、光ファイバ６０Ａ、走査手段３３及びノズル３７を保持するハウジング３と、を備えている。ハウジング３には、先端部にノズル３７が着脱可能に配置されている。 （もっと読む）

【課題】投光タイミングのテーブルがなくても、容易に、光ビームの照射対象領域の各画素に光ビームを照射することができる光走査装置を提供する。
【解決手段】反射ミラーを互いに直交する第１軸及び第２軸の各軸回りに揺動し、光ビームを照射対象領域内でリサージュ走査可能に形成された光走査部１と、各軸回りの揺動位相を検出する位相検出部２と、反射ミラーに光ビームを投光する光源部３と、第２軸回りの揺動周期Ｔ_ｙの半周期におけるリサージュ走査軌跡に、第１軸回りの走査方向で互いに略平行な走査線対Ｓ，Ｓが存在するように、各軸回りの揺動周期Ｔ_ｘ，Ｔ_ｙを設定し、Ｔ_ｙの半周期毎に第２軸回りの走査振幅を一定量ずつ変化させ、光走査部１を駆動させる走査制御部４と、位相検出部２で検出する揺動位相に基づいて走査線対Ｓ，Ｓの走査時に対応する位相区間だけ、光源部３から光ビームを投光させる光源制御部５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】二つの可動部を有するプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、二つの可動部の駆動コイルに通電する（駆動信号を供給する）ための配線の耐久性を向上させる。
【解決手段】プレーナ型電磁アクチュエータ１は、固定部２１と、第１トーションバー２４ａ，２４ｂに揺動可能に支持された第１可動部２２と、第２トーションバー２５ａ，２５ｂに揺動可能に支持された第２可動部２３とを有する。駆動部４は、二つの周波数成分を有する一つの駆動信号を一対の電極端子５ａ，５ｂに入力する。入力された駆動信号は一対の配線１０，１１を介して第１可動部２２の第１駆動コイル８及び第２可動部２３の第２駆動コイル９に供給され、これにより、第１可動部２２と第２可動部２３が異なる周期で揺動する。 （もっと読む）

【課題】 反射面を二次元方向に揺動するときの回転角を減少させることなく、反射面の二次元方向の揺動を検知できる光偏向器を提供する。
【解決手段】 光偏向器１は、反射面２ａを有するミラー部２を支持する第１支持部４と、ミラー部２を第１支持部４に対して第１軸Ｙ周りに揺動させる第１圧電アクチュエータ３１，３２と、第１支持部４を支持する第２支持部６と、第１支持部４を第２支持部６に対して第２軸Ｘ周りに揺動させる第２圧電アクチュエータ５１，５２とを備える。第１支持部４上には、第１圧電アクチュエータ３１，３２の圧電駆動により伝達される第１振動を検知する第１検知部７１ｙ，７２ｙと、第２圧電アクチュエータ５１，５２の圧電駆動により伝達される第２振動を検知する第２検知部７１ｘ，７２ｘとが配置される。 （もっと読む）

【課題】標本面における照射位置と照射角度をそれぞれ独立して制御するレーザー顕微鏡の技術を提供することを課題とする。
【解決手段】レーザー顕微鏡１は、レーザー光を射出するレーザー光源１６と、標本１１にレーザー光を照射する対物レンズ１０と、対物レンズ１０の瞳共役面にレーザー光を集光させる集光レンズ２２と、レーザー光を光軸と直交する方向に平行に移動させる平行平板２３と、レーザー光を標本１１に照射する照射位置を移動させて標本１１を走査する走査手段２４と、平行平板２３を回転させて、レーザー光が平行に移動するシフト量を制御する制御装置２６と、を含む。 （もっと読む）

【課題】ミラー部の共振周波数を調整することなく、ミラー部を傾向して光を走査するスキャナー性能が高いレベルで安定する光走査装置の製造方法および性能調整方法を提供する。
【解決手段】固定枠４と、該固定枠に連結され、電気機械変換部と弾性変形部とが一体化された駆動部５と、該駆動部５と軸部８を介して連結され主に第一方向に傾動可能な可動枠６と、該可動枠６とトーションバー７を介して連結され第一方向と直交する第二方向に主に傾向するミラー部３と、を備える光走査装置２とし、駆動部５の共振周波数を、組み付けたミラー部３のミラー部共振周波数に応じた所定の駆動部共振周波数に調整する光走査装置の製造方法および性能調整方法とした。 （もっと読む）