【課題】屈折率が３以下の材料を使用した場合、曲がり導波路においては光路を曲げることができない、分岐導波路においては分岐することができない、仮に光路を曲げたり分岐したりすることが可能であったとしても、ほとんど実用に耐えないものしか実現できないと言った問題点があった。
【解決手段】曲がり導波路あるいは分岐導波路として作用させるために導波路内の曲がり部分・分岐部分に導波路と異なる屈折率を持つ構造物を設ける事を特徴としている。この構造物により曲がり部分・分岐部分の電磁界分布の乱れを低減することにより、低屈折率材料を用いても曲がり導波路および分岐導波路を実現する。 （もっと読む）

【課題】成膜中に生じる被処理基板の反りおよび支持具からの電界による影響を小さくできる基板ホルダが提供される。
【解決手段】基板ホルダ１１は、搭載部品１３と、スペーサ１５と、金属シート２５とを備える。搭載部品１３は、金属製のベース１９と金属製の支持具２１とを含む。ベース１９は、被処理基板Ｗを搭載するための搭載面１９ａを有する。支持具２１は、ベース１９に取り付けられている。この取り付けは、ボルトといった固定具２３を用いて行われる。スペーサ１５は、ベース１９と支持具２１とにより保持されており、また搭載部品１３と共に用いることによって被処理基板Wを保持する。支持基板１７は、搭載面１９ａ上に位置しており、また被処理基板Wに支持する支持面１７ａを有する。金属シート２５は、ベース１９の搭載面１９ａ上に設けられている。 （もっと読む）

【課題】 欠陥や歪みのないコアを形成して、光透過率の良好な光導波路を作製する。
【解決手段】 基板１１上に、クラッド層１２を形成する工程と、クラッド層１２に光導波路のコアのパターンに応じたマスク１３を形成し、コアを埋め込むための溝１４を形成する工程と、選択エピタキシャル成長により溝１４にコア１５を形成する工程と、選択エピタキシャル成長によりコア１５の上に上部クラッド１６を形成する工程とを備えた。マスク１３の材料は、白金、金のいずれかであり、光導波路に電界を加えるための電極として用いる。 （もっと読む）

【課題】 光路長誤差に起因するマッハツェンダー型干渉計の位相差を簡便に調整できる方法を提供すること。
【解決手段】 マッハツェンダー型干渉計を構成する光導波路を備え、マッハツェンダー型干渉計における少なくとも一方のアームを構成する光導波路の直上を含む領域に、この光導波路を形成する物質よりその屈折率が低い液状の透明樹脂にて構成されかつ塗布後の形態が１０マイクロメーターから２００マイクロメーターの直径を有する円形状若しくはドーム状の液滴を一個ずつ分割して光導波路に沿って塗布し、これにより光導波路の実効屈折率が異なる領域を生じさせてマッハツェンダー型干渉計の位相差を調整する光導波路素子の位相差調整方法であって、圧電効果を有する物質で構成された毛細管にパルス状の電気信号を印加することでその吐出ヘッドから毛細管中に満たされた透明樹脂を吐出させる機構を利用して上記液滴を塗布することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】出力側にグレーティングを備えず、かつ、制御を容易にする。
【解決手段】導波路２０内に、出力部３０、活性部４０、位相制御部７０、第１グレーティング部５０及び第２グレーティング部６０を、順に備えている。第１グレーティング部は、第１グレーティング部に対して外部からのバイアス電圧が非印加であるオフ状態において、それぞれ異なる非透過波長域を有する、波長可変の複数のサブグレーティング５５ａ〜５５ｄを、備えている。第２グレーティング部６０は、複数の反射波長ピークを有する波長可変グレーティングである。 （もっと読む）

【課題】低コスト、低消費電力、低熱応力で、量産性に優れた熱光学効果型光導波路素子、および、その製造方法を提供する。
【解決手段】熱光学効果型光導波路素子（１）は、基材（１０）上に光導波路（２０）およびこの光導波路に熱光学効果をもたらす薄膜ヒータ（４０）を備え、薄膜ヒータ（４０）に対応する光導波路コア（２３）に沿って実質的に平行に熱分離溝（３０）を設けた。また、熱光学効果型光導波路素子（１）の製造方法は、基材（１０）上に、クラッド用の感光性ポリマー材料（２５ｄ）を塗布し、熱分離溝をパターニングしたフォトリソグラフィ処理により、熱分離溝（３０）を備えた下部クラッド層（２２）を形成する工程と、同様にして、熱分離溝（３０）を備えた上部クラッド層（２４）を形成する工程と、を少なくとも含む。 （もっと読む）

【課題】 結合係数が大きく、高密度に集積することができ、広い波長選択幅を持つ光合分波素子及びそれを用いた光回路を提供すること。
【解決手段】 基板（１）と、下部クラッド（２）と、光を伝搬する第１コア（３）と、光を伝搬し、第１コア（３）の表面の所定領域にのみ接触して第１コア（３）に積層され、第１コア（３）と共にＹ字型分岐導波路を形成する第２コア（５）と、第１コア（３）及び第２コア（５）が所定領域で接触して形成する結合部（８）に形成されたグレーティング（６）と、テーパー部（７ａ、７ｂ）を有し、下部クラッド（２）の上に形成される第１コア（３）及び第２コア（５）の間に、所定領域を除いて形成される上部クラッド（４）とを備え、グレーティング（６）が、光の基本モード及び１次モード間の反射機能を有する。 （もっと読む）

【課題】 低価格化と量産化が可能な光回路を提供する。
【解決手段】 金属箔上に設けられた溝付きポリイミド基材の溝内に溝の長手方向以外の四周が金属膜で覆われたポリイミドからなる光伝送路が形成されてなることを特徴とする光回路基板、および、金属箔の一方の面に溝付きポリイミド層を形成する溝付きポリイミド層を有する金属箔形成工程、前記溝付きポリイミド層を有する金属箔の少なくとも溝の全内面に金属膜を形成する金属膜形成工程、内面に金属膜が形成された前記溝内あるいはさらにその上部のみにポリイミドを充填、キュアーするポリイミド充填工程、前記溝内に形成されたポリイミドの長手方向以外の露出面を金属膜で覆い、溝内に形成された金属膜とともに、溝内のポリイミドの長手方向以外の四周を金属膜で覆って光伝送路を形成する光伝送路形成工程を有することを特徴とする光回路基板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】光導波路の無駄をなくすことができる光路変換ミラーおよびそれを用いた光路変換装置ならびに光路変換ミラーの製法を提供する。
【解決手段】第１樹脂層１と第２樹脂層２との間に光反射面となる金属膜３が挟持されてなる光路変換ミラーＭを、光導波路１０の光軸上でその一端面１０ａの外側近傍に配置することにより、光路変換装置が構成されている。光導波路１０の両端面１０ａ，１０ｂは、光導波路１０の光軸に対して直角の状態で維持されており、傾斜面（マイクロミラー）に加工されていない。 （もっと読む）

【課題】電力変換効率が高く、且つ光出射面からの光取り出し効率を向上させた半導体発光素子、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】半導体発光素子は、活性層を含み、スラブ構造を有する多層膜１０と、多層膜１０の第１の主面上に設けられた２次元フォトニック結晶１１と、多層膜１０の第２の主面上に設けられた高反射率ｐ電極２と、２次元フォトニック結晶１１の主面上に設けられたｎ電極９とを備え、多層膜１０は、水平面内において複数の領域に分離されている。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、複数の光信号を一度に整形し，また強度変調を施すことができること及び，光ルーティングに用いられる，光ラベルを一括して処理し，異なるネットワークへ光情報を転送しうるモジュールを提供することを目的とする。
【解決手段】 上記の課題は，基板２と，基板上に形成した光導波路３と，ミラー４とを有するPLCモジュールであって，光導波路は，２つのスラブ導波路(５,６)と，アレイ導波路７と，一方のスラブ導波路と連結され，プレーナ光波回路モジュール外から光信号が入力し，所定の処理を施された後に，前記光信号が前記プレーナ光波回路モジュール外へ出力されるの入力導波路８と，２つのスラブ導波路のうち残りのスラブ導波路（第２のスラブ導波路６）と，ミラー４とを連結するＬ本の光導波路を具備する出力導波路９と，を備え，出力導波路９は，強度変調器10及び位相変調器11を備えるプレーナ光波回路モジュールによって解決される。 （もっと読む）

【課題】 信頼性が高く、容易でありかつ低コストな光導波路の製造方法及びこれに用いられる型の製造方法を提供すること。
【解決手段】 クラッド１１とコア９との接合体１２からなり、コア９を通して光が導かれるように構成されている光導波路１５の製造方法において、支持体１上に感光性レジスト２を配する工程と、感光性レジスト２をコア形状にパターニングする工程と、このパターニングされた感光性レジスト２の端面３ａを傾斜面３に加工する工程と、この感光性レジスト２上に型材５を設ける工程と、型材５と感光性レジスト２とを剥離する工程と、型材５において、傾斜面３が転写してなる傾斜面３’の周辺部に存在する突起部６を除去する工程と、これによって作製された型７を用いてコア９を成形する工程とを有する、光導波路の製造方法。 （もっと読む）

【課題】信頼性および耐久性に優れる光導波路を容易かつ安価に形成し得る光導波路の形成方法、かかる光導波路の形成方法により形成された光導波路、この光導波路を備える光回路基板および電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明の光導波路の形成方法は、基板２上に、第１のクラッド層１１を形成する第１の工程と、第１のクラッド層１１上に、第１のクラッド層１１より屈折率が大きいコア層１２を形成する第２の工程と、コア層１２を被覆するように、コア層１２より屈折率が小さい第２のクラッド層１３を形成する第３の工程とを有し、第１の工程、第２の工程および第３の工程において、第１のクラッド層１１、コア層１２および第２のクラッド層１３を、それぞれ、気化したシリコーンオイルをプラズマ重合させることにより形成する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で面型の受発光素子を利用できるようにすると共に、光クロストークの低減を図ることができる光導波路モジュールを提供する。
【解決手段】導波路シート２は、第１のコア４ａと第２のコア４ｂを備え、第１のコア４ａの他方の端部側の辺に第１の傾斜端面７ａが形成され、第１の傾斜端面７ａに露出した第１のコア４ａの端面によって第１の反射面９ａが形成されて、第１の反射面９ａに対向して面型発光素子１２が実装される。また、第２のコア４ｂの一方の端部側の辺に第２の傾斜端面７ｂが形成され、第２の傾斜端面７ｂに露出した第２のコア４ｂの端面によって第２の反射面９ｂが形成され、第２の反射面９ｂに対向して面型受光素子１３が実装される。更に、第１の傾斜端面７ａ及び第２の傾斜端面７ｂの下面には、各反射面の直下に窓部８ａを備えた遮光膜８が形成される。 （もっと読む）

【課題】光ファイバを確実に固定できる光導波路を提供する。
【解決手段】光導波路１は、複数本のコア３を備え、各コア３ａに対応してガイド溝５を備える。ガイド溝５は、光ファイバ４の直径と同等の幅を有するガイド部５ａと、ガイド溝５の側壁面に溝部５ｃを形成することで構成され、光ファイバ４の直径より大きな幅を有する幅広部５ｂを備える。光ファイバ４は、ガイド溝５に挿入されることで光導波路１との光学的な結合が行われる。また、光ファイバ４は接着剤６で光導波路１に固定されるが、接着剤６が幅広部５ｂに充填されることで、光ファイバ４の下面側にも接着剤６が回り込む。 （もっと読む）

【課題】基板と素子、素子と光導波路の位置合わせが容易で、薄型化が可能で歩留まりの良い光導波路形成基板を提供すること。
【解決手段】本発明の光導波路形成基板の製造方法は、基板２の開口２５に、基板２より厚さが厚い素子１をその上面側が開口２５から突出するように挿入する工程と、基板２の下面側に導体層３を形成し、素子１の下面側の端子１０５を導体層３の所定部位に電気的に接続する工程と、基板２の上面側の素子１を除く部分に接着層７および絶縁層６を介して導体層５を形成する工程と、素子１の上面側の端子１０３をワイヤ８にて導体層５の所定部位に電気的に接続する工程と、導体層５上および素子１の上面上に光導波路またはその一部（例えばクラッド層９１）を形成する工程とを有する。前記導体層５の形成は、その上面が素子１の上面とほぼ同一面を形成するように行われる。 （もっと読む）

【課題】フレキブルで装置間、装置内ボード間、ボード内チップ間の光接続が容易で、搭載する発光素子や受光素子と光導波路との効率的光結合を達成できる光軸のアライメントが簡便に取れる光導波路樹脂フィルムを提供する。
【解決手段】屈折率がｎ_１であるクラッディング層、屈折率ｎ_cであるコア層、屈折率がｎ_２であるクラディング層がこの順に積層され、ｎ_１＜ｎ_c、ｎ₂＜ｎ_cを満たす光導波路樹脂フィルムであって、発光素子および／または受光素子を搭載する窪みと、コア層にミラーを有し、ミラーが伝搬してきた導波光を反射し受光素子へ導く、および／またはミラーが発光素子から出射された光を伝搬することを特徴とする光導波路樹脂フィルム。 （もっと読む）

本発明は、光導波路を伝搬した光を限られた基板サイズの範囲内で十分なパワーを保って所望の基板側面から導き出すことのできる光導波路デバイスを提供すること目的とする。このため、本発明の光導波路デバイスは、光導波路の形成された基板に対して、光導波路の光出力側の端部近傍に溝を形成し、その溝の側壁を反射面として光導波路から出力される光を反射して、当該反射光が所望の基板側面から出射されるようにしたものである。
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【課題】 容易かつ低コストに製造することができ、また安定した光伝送を行うと共に、その速度の向上を図ることができる光導波装置、光導波モジュール及び光・電気複合デバイスを提供すること。
【解決手段】 シリコン基体２に、互いに屈折率の異なるシリコン酸化膜によって形成されたコア３及びクラッド４ａ、４ｂからなる光導波層５が設けられ、前記クラッドとしての前記シリコン酸化膜の屈折率が、コア３としての前記シリコン酸化膜の屈折率より小さい、光導波装置１。光導波層５と、この光導波層５の一部分を除去して設けられた凹部１０内に成膜された受光素子構成層９とがシリコン基体２に設けられている、光導波モジュール８。本発明の光導波モジュール８において、光導波層５及び受光素子９を含むシリコン基体２上に、絶縁膜１６を介して半導体層１７が接合されている、光・電気複合デバイス１４。 （もっと読む）

【課題】 微細なリソグラフィ技術を用いたパタン形成方法によって光導波路を作製するに際し、高精細で形状の優れたパタンを得ることを可能とするとともに保存安定性に優れた放射線硬化性樹脂組成物、該樹脂組成物を用いた光導波路及び光導波路の製造方法を提供する。
【解決手段】 分子内に炭素-炭素不飽和結合、ケイ素‐水素結合及びオキセタニル基を有するシリコンポリマ、光酸発生剤及び脱水剤を含有する放射線硬化性樹脂組成物。下部クラッド層、コア部分及び上部クラッド層とを含む光導波路において、前記下部クラッド層、コア部分あるいは上部クラッド層の少なくとも一つが、前記の放射線硬化性樹脂組成物の硬化物である光導波路。 （もっと読む）