【課題】より低減された光の透過率及びより低減されたサイズを備えた積層体を設計する方法を提供する。
【解決手段】第一の表面領域及び第二の表面領域を有する基板、第一の表面領域に設けられた第一の被覆層、並びに第二の表面領域に設けられた第二の被覆層を含む、積層体を設計する方法であって、基板の材料を選択すること、第一の被覆層の材料を選択すること、第二の被覆層の材料を選択すること、並びに、基板、第一の被覆層、及び第二の被覆層を透過する光の波長を選択すること、基板、第一の被覆層、及び第二の被覆層を透過する光の波長、並びに、基板、第一の被覆層、及び第二の被覆層を透過する光の波長についての、基板の材料の複素屈折率、第一の被覆層の材料の複素屈折率、及び第二の被覆層の材料の複素屈折率に基づいて、基板、第一の被覆層、及び第二の被覆層を透過する光の透過率が極小であるように、基板の厚さ、第一の被覆層の厚さ、及び第二の被覆層の厚さを決定することを含む、積層体を設計する方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】チャンネルの阻止帯域を縮減することが可能な光フィルターを提供する。
【解決手段】光フィルター１は、ガラス基板１０およびろ過膜２０を備える。ろ過膜２０は、ガラス基板１０に配置され、高屈折率フィルムと低屈折率フィルムとが交互に積層して構成した複数のファブリペロー共振器２２を有する。高屈折率フィルムおよび低屈折率フィルムは、基本の光学的厚さが入射光の中心波長の四分の一（即ちλ₀／４）である。ファブリペロー共振器２２は、順によってガラス基板１０に重なり、二層の高反射フィルム２２１と、二層の高反射フィルム２２１の間に位置する一層の隔離層２２２とを有する。これにより、光フィルター１は、チャンネルの阻止帯域を縮減することができる。 （もっと読む）

【課題】光通信、光集積回路基板に利用可能な光路長の温度依存性が小さい材料を提供する。
【解決手段】ＳｒＴｉＯ_３にＹＡｌＯ_３を添加した（Ｓｒ_１−Ｘ，Ｙ_Ｘ）（Ｔｉ_１−Ｘ，Ａｌ_Ｘ）Ｏ_３複合酸化物材料は、０＜Ｘ＜０．５０の範囲において光路長温度係数（ＯＰＤ、ここでＯＰＤ＝１／Ｓ・ｄＳ／ｄＴ＝ＣＴＥ ＋ １／ｎ・ｄｎ／ｄＴであって、Ｓが光路長、ＣＴＥが線熱膨張係数、ｎが屈折率、ｄｎ／ｄＴが屈折率の温度係数である）が制御可能であり、特に０．０４＜Ｘ＜０．５０の範囲においてはその絶対値が６ｐｐｍ／℃以下と光路長の温度依存性が極めて小さく、光通信用フィルター、光集積回路基板などに利用可能である。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で分解能の低下を抑制可能な波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、平坦な固定対向面５１Ａを有する固定基板５１と、固定対向面５１Ａに対向する平坦な可動対向面５２Ａを有する可動基板５２と、固定対向面５１Ａに設けられた固定電極５６１と、可動対向面５２Ａに設けられ、電極間ギャップＧ２介して固定電極５６１に対向する可動電極５６２と、可動対向面５２Ａに設けられ、固定対向面５１Ａ及び可動対向面５２Ａと平行で、かつ固定対向面５１Ａに対向する平坦な反射膜固定面５７Ａを有し、固定電極５６１より厚み寸法が大きい中間層５７と、反射膜固定面５７Ａに設けられた可動反射膜５５と、固定対向面５１Ａに設けられ、反射膜間ギャップＧ１を介して可動反射膜５５に対向する固定反射膜５４と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】本願発明の目的は、上記課題に鑑みなされたものであり、その目的は、安価で大面積化が可能で、温湿度変化後にも、柔軟性が維持され、かつ可視光透過性に優れ、赤外線遮蔽性に優れる赤外線遮蔽フィルムおよび赤外線遮蔽体を提供することにある。
【解決手段】基材上に、第一の金属酸化物の粒子および第一のバインダーを含有する低屈折率層と、該低屈折率層に隣接し第二の金属酸化物の粒子および第二のバインダーを含有し、該低屈折率層より屈折率が０．２以上高い高屈折率層とを有するユニットを有する赤外線遮蔽フィルムであって、該低屈折率層および該高屈折率層の少なくとも１層が、樹脂粒子を含有することを特徴とする赤外線遮蔽フィルム。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶ光以外の他の光を取り除き、ＥＵＶ光のみをマスクに供給することができる露光装置を提供する。
【解決手段】ミラー５１０の表面には、Ｍｏ／Ｓｉの多層膜が設けられており、この多層膜にブレーズド溝５１３が形成される。ＥＵＶ光源装置１から入射する光２０３，３０１は、ミラー５１０に入射し、反射または回折する。ＥＵＶ反射光２０４（ＥＵＶ回折光を含む）と、他の波長の光３０１Ａ，３０１Ｂとは、反射角度または回折角度が異なるため、進行方向が異なる。アパーチャやダンパによって他の光３０１Ａ，３０１Ｂを除去することにより、純度の高いＥＵＶ光をマスク６００に照射することができる。 （もっと読む）

【課題】光通信、光集積回路基板に利用可能な光路長の温度依存性が小さい材料を提供する。
【解決手段】ＳｒＴｉＯ_３にＬａＡｌＯ_３を添加した（Ｓｒ_１−Ｘ，Ｌａ_Ｘ）（Ｔｉ_１−Ｘ，Ａｌ_Ｘ）Ｏ_３複合酸化物材料は、０＜Ｘ＜０．８０の範囲において光路長温度係数（ＯＰＤ、ここでＯＰＤ＝１／Ｓ・ｄＳ／ｄＴ＝ＣＴＥ ＋ １／ｎ・ｄｎ／ｄＴであって、Ｓが光路長、ＣＴＥが線熱膨張係数、ｎが屈折率、ｄｎ／ｄＴが屈折率の温度係数である）が制御可能であり、特に０．０４＜Ｘ＜０．８０の範囲においてはその絶対値が６ｐｐｍ／℃以下と光路長の温度依存性が極めて小さく、光通信用フィルター、光集積回路基板などに利用可能である。 （もっと読む）

【課題】容易に配線を接続可能な波長可変干渉フィルター、光モジュール、光分析装置、及び波長可変干渉フィルターの製造方法を提供すること。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５では、第１基板５１の第２基板５２との対向面に第１電極５３、第１電極５３から延出する第１電極引出部５３１Ｌ，５３２Ｌ、および少なくとも一部が第２電極引出部５４２Ｌと対向する第３電極引出部５４３Ｌを設け、第２基板５２の第１基板５１との対向面に第２電極５４および第２電極５４から延出する第２電極引出部５４２Ｌを設け、第２電極引出部５４２Ｌおよび第３電極引出部５４３Ｌが設けられた引出部形成溝５１５と、引出部形成溝５１５と外部とを連通する貫通孔５２４と、貫通孔５２４に接続される引出部形成溝５１５に配置され第２電極引出部５４２Ｌと第３電極引出部５４３Ｌとを導通させる導電性部材とを備える。 （もっと読む）

【課題】分解能の低下を抑制できる光モジュール、および光分析装置を提供する。
【解決手段】測色センサーは、固定反射膜５６を有する固定基板５１、固定基板５１に対向し、可動反射膜５７を有する可動基板５２、および固定基板５１に設けられた第一電極５４４を備えた波長可変干渉フィルター５と、モジュール基板３０と、波長可変干渉フィルター５およびモジュール基板３０を接合する異方性導電層３０１を備え、固定基板５１は、モジュール基板３０に対向する固定対向電極５１６Ａと、第一電極５４４および固定対向電極５１６Ａを電気的に接続する導電接続部５１６と、を有し、モジュール基板３０は、固定対向電極５１６Ａに対向するモジュール電極３０２を有し、異方性導電層３０１は、固定対向電極５１６Ａと、モジュール電極３０２とを導通させる。 （もっと読む）

【課題】テラヘルツ波の周波数を正確に校正することができるエタロンフィルタと、周波数校正システム、周波数校正方法を提供する。
【解決手段】ダイヤモンド基板等の光及びテラヘルツ帯で透過性を有する２枚の基板にスペーサーを接合することで２枚の基板の間に空隙を設けたエタロンフィルタを構成する。このエタロンフィルタに光源からの光を透過させて光の自由スペクトル間隔を測定し、また、テラヘルツ波をエタロンフィルタに照射することで、テラヘルツ波の自由スペクトル間隔を測定する。光を透過したときの自由スペクトル間隔と、テラヘルツ波を透過したときの自由スペクトル間隔を比較することで、テラヘルツ波の周波数を制御する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、反射膜間のギャップ寸法を変化させた場合でも分解能の低下を抑制できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定電極５４１および可動電極５４２を備えた静電アクチュエーター５４を具備する。そして、固定電極５４１は、平面視で同一形状に形成される複数の固定部分電極５４３を備え、これらの固定部分電極５４３は、等角度間隔で配置され、可動電極５４２は、平面視において固定部分電極５４３と同一形状に形成され、かつ固定部分電極５４３と重なる複数の可動部分電極５４４を備え、互いに対向する固定部分電極５４３および可動部分電極５４４により部分アクチュエーター５５が構成される。そして、これらの部分アクチュエーター５５は、２つの前記電圧印加用部分アクチュエーター間で電気的に直列に接続される。 （もっと読む）

【課題】基板に生じる撓みを低減させた波長可変干渉フィルターの製造方法、波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置を提供する。
【解決手段】固定基板１１と、可動部１２１および保持部１２２を有する可動基板１２と、固定反射膜１６と、可動反射膜１７と、固定反射膜１６および可動反射膜１７のギャップＧを可変させる静電アクチュエーター１４と、を備えた波長可変干渉フィルター１の製造方法であって、第一熱膨張係数を有する素材により、可動基板１２よりも大きい剛性を有する固定基板１１を製造する固定基板製造工程と、第一熱膨張係数よりも値が大きい第二熱膨張係数を有する素材により、可動基板１２を製造する可動基板製造工程と、固定基板１１および可動基板１２を第一温度まで加熱した状態で接合する接合工程を備える。 （もっと読む）

【課題】各波長域に対応する複数の液晶パネルにおける液晶層の層厚の面内ばらつきに起因する色相ムラを効果的に解消することのできる投射型表示装置および光学ユニットを提供すること。
【解決手段】投射型表示装置において、各色光が入射する３つの反射型の液晶パネル１００（赤色用液晶パネル１００Ｒ、緑色用液晶パネル１００Ｇ、青色用液晶パネル１００Ｂ）では、青色用液晶パネル１００Ｂにおいて共通電極２１を構成するＩＴＯ膜の膜厚は、赤色用液晶パネル１００Ｒおよび緑色用液晶パネル１００Ｇにおいて共通電極２１を構成するＩＴＯ膜の膜厚に比して薄い。また、赤色用液晶パネル１００Ｒおよび緑色用液晶パネル１００Ｇで共通電極２１の構成するＩＴＯ膜の膜厚は等しい。 （もっと読む）

【課題】分光領域の変形を抑制して分解能を向上することができ、且つ、製品ごとの分解能のばらつきを低減することのできるファブリペロー干渉計の製造方法を提供する。
【解決手段】可動ミラー構造体を形成する工程として、第１高屈折率層を犠牲層上に形成する工程と、第１低屈折率層を、第１高屈折率層上における分光領域の可動ミラー形成位置及び周辺領域に形成する工程と、第２高屈折率層を、第１低屈折率層を含んで第１高屈折率層を覆うように形成する工程と、エッチングにより、周辺領域の第１低屈折率層上に位置する第２高屈折率層の少なくとも一部を、第１低屈折率層をエッチングストッパとして除去する工程と、エッチングにより、第２高屈折率層の除去された部分を介して、周辺領域の第１低屈折率層を除去する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】基板に生じる撓みを低減して分解能を向上させた波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供する。
【解決手段】エタロン５（波長可変干渉フィルター）は、固定基板５１と、固定基板５１に対向する可動基板５２と、固定基板５１に設けられた固定反射膜５６と、可動基板５２に設けられ、固定反射膜５６とギャップを介して対向する可動反射膜５７と、固定基板５１に設けられた固定電極５４１と、可動基板５２に設けられ、固定電極５４１と対向する可動電極５４２と、を備え、可動電極５４２は、圧縮応力を有する圧縮電極層と、引張応力を有する引張電極層と、が積層されて構成された。 （もっと読む）

【課題】性能低下が抑制される干渉フィルターを提供すること。
【解決手段】干渉フィルター５は、ギャップＧを介して対向する２つの反射膜５６，５７と、反射膜５６，５７を支持する基板５１，５２と、を備え、反射膜５６，５７は、純銀膜５６１，５７１と銀合金膜５６２，５７２とを含み、基板５１，５２には、基板５１，５２側から順に純銀膜５６１，５７１、及び銀合金膜５６２，５７２が設けられ、銀合金膜５６２，５７２は、銀（Ａｇ）、サマリウム（Ｓｍ）、及び銅（Ｃｕ）を含有するＡｇ−Ｓｍ−Ｃｕ合金膜、又は銀（Ａｇ）、ビスマス（Ｂｉ）、及びネオジム（Ｎｄ）を含有するＡｇ−Ｂｉ−Ｎｄ合金膜であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】形態操作による半導体光路の修正を提供する。
【解決手段】光デバイスは、基板と、基板の上に位置付けされた半導体層とを含む。光路は、導波路コア領域をさらに含む半導体層を含む。コア領域は、第１の型の形態および第１の屈折率を有する第１の半導体領域を含む。第１の半導体領域は、第２の型の形態と、第１の屈折率とは異なった第２の屈折率とを有する第２の半導体領域に隣接して位置付けされている。 （もっと読む）

【課題】高分解能で、かつ低コストで製造可能な干渉フィルターを提供する。
【解決手段】エタロン５は、下部基板５１と、下部基板５１に対向する上部基板５２と、下部基板５１に設けられる下部反射膜５６と、上部基板５２に設けられるとともに、下部反射膜５６に対してギャップを介して対向する上部反射膜５７と、を備え、下部基板５１の上部基板５２に対向する面のうち、少なくとも下部反射膜５６が設けられる下部反射膜形成面５１１Ａには、上部基板５２に対向する表面が平滑面となる平滑膜５１２が設けられ、下部反射膜５６は、平滑膜５１２の表面に設けられる。 （もっと読む）

【課題】光学実装工程を簡易化し、歩留まりを向上させ、コストを削減する。
【解決手段】光受信器は、表面に受光素子５０１〜５０４が形成され、裏面にＶ溝７００〜７０４が形成された基板５００１と、凸部８００〜８０４が形成された基板５００２を備える。Ｖ溝７００の一方の斜面にはミラー３００が形成され、他方の斜面には無反射膜６００が形成され、Ｖ溝７０４の一方の斜面にはバンドリジェクションフィルタ２０４が形成され、Ｖ溝７０１〜７０３の一方の斜面にはバンドリジェクションフィルタ２０１〜２０３が形成され、他方の斜面には無反射膜６０１〜６０３が形成される。基板５００２は、凸部８００〜８０４がバンドリジェクションフィルタ２０１〜２０４と無反射膜６００〜６０３とミラー３００とに接するよう基板５００１と接合される。 （もっと読む）

【課題】３波長を制御することが出来る光モジュールを製造コストの大幅な増加を伴うことなく、実現する。
【解決手段】シリコン単結晶基板４の主面４１、４２は、（１１１）結晶面に対して所定の角度θを持つように形成されている。シリコン単結晶基板４の主面４１、４２をエッチングすることによって傾斜面７，８が形成される。シリコン単結晶基板の第１の傾斜面７には第１のフィルタ膜９と第２のフィルタ膜１０が形成され、第２の傾斜面８には反射膜１１が形成されてフィルタ素子１８を構成している。実装基板１７には発光素子１４と第１の受光素子１５と第２の受光素子１６が形成されている。このような構成によれば、フィルタ素子１８と実装基板１７を接着した３波長を制御することが出来る光モジュールを安価に製造することが出来る。 （もっと読む）