【課題】分光特性の再現性が良く、さらに帯電抑制を図る。
【解決手段】光学フィルタ１には、透明基板２と、透明基板２上に形成されたフィルタ群３とが備えられている。フィルタ群３は、ＩＡＤ蒸着法により形成された高屈折率材料からなる第１薄膜３１と、ＥＢ蒸着法により形成された低屈折率材料のＳｉＯ₂からなる第２薄膜３２とが交互に複数積層されてなる。 （もっと読む）

【課題】蒸着時の突沸を防止して膜上のパーティクルを低減すると同時に、蒸着材料の使用効率を向上させる装置を提供する。
【解決手段】電子ビーム蒸着装置において、蒸着材料が充填される坩堝、前記蒸着材料に電子ビームを照射して該蒸着材料を蒸発させるための電子銃、及び前記坩堝に対向して配置され、蒸発した前記蒸着材料が成膜される基板を保持する基板保持部を備え、前記電子ビームの出力電力が１．２〜３．０ｋＷの範囲で、前記成膜の条件に基づいて加速電圧が数値２ｋＶ以上〜６ｋＶ未満の範囲で設定されるよう構成した。 （もっと読む）

【課題】青色光が眼に与える影響を低減するための手段の提供。
【解決手段】レンズ基材上に直接または間接に多層蒸着膜を有する眼鏡レンズ。前記多層蒸着膜は、レンズ基材側から、SiO₂を主成分とする蒸着源を用いる蒸着により形成された、膜厚25〜32nmの第一層、Ta₂O₅またはZrO₂を主成分とする蒸着源を用いる蒸着により形成された、膜厚7〜9nmの第二層、SiO₂を主成分とする蒸着源を用いる蒸着により形成された、膜厚360〜390nmの第三層、Ta₂O₅またはZrO₂を主成分とする蒸着源を用いる蒸着により形成された、膜厚10〜13nmの第四層、SiO₂を主成分とする蒸着源を用いる蒸着により形成された、膜厚34〜38nmの第五層、Ta₂O₅またはZrO₂を主成分とする蒸着源を用いる蒸着により形成された、膜厚42〜45nmの第六層、SiO₂を主成分とする蒸着源を用いる蒸着により形成された、膜厚110〜115nmの第七層、をこの順に含み、前記多層蒸着膜を有する側のレンズ表面において420〜450nmの波長域の入射光を反射する性質を有する。 （もっと読む）

【課題】迅速な分光測定が可能な分光測定装置を提供する。
【解決手段】分光測定装置１は、固定反射膜を有する固定基板、可動反射膜を有する可動基板、固定反射膜及び可動反射膜の間の反射膜間ギャップのギャップ量を変更する静電アクチュエーターを備えた波長可変干渉フィルター５と、波長可変干渉フィルター５により取り出された光の光強度を検出する検出部１１と、静電アクチュエーターに対して連続的に変化するアナログ電圧を印加する電圧設定部２１及び電圧制御部１５と、静電アクチュエーターに印加された電圧を監視する電圧監視部２２と、電圧監視部２２により監視される電圧が所定の測定対象電圧になった際に検出部１１により検出された光強度を取得する光強度取得部２４と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】 ウエットプロセスを経ることなく簡単な工程で製造でき、且つＩＲカット機能およびＵＶカット機能を有する樹脂ガラスを提供すること。
【解決手段】 樹脂ガラス１は、透明樹脂ガラス基板１０と、透明樹脂ガラス基板１０の表面に、所定の屈折率を有する材質で形成された低屈折率薄膜と低屈折率薄膜の屈折率よりも高い屈折率を有する材質で形成された高屈折率薄膜とを交互にドライコーティングすることにより形成された積層体膜と、積層体膜の表面にドライコーティングされ、低屈折率薄膜を構成する材質または高屈折率薄膜を構成する材質と同じ材質で形成された保護膜と、を備える。また、外部から入射する可視光が前記積層体膜を透過し紫外光および赤外光が前記積層体膜で反射されるように構成される。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳミラーの設計を変更することなく、所望の波長の光をＭＥＭＳミラーへ入射することが可能な波長選択スイッチ（ＷＳＳ）を提供すること。
【解決手段】本願発明の一実施形態に係るＷＳＳは、入出力ファイバアレイと、合分波用回折格子と、ＭＥＭＳミラーアレイとを備え、さらに当該ＭＥＭＳミラーアレイの前段に遮光マスクを備えることを特徴とする。また、本願発明の別の一実施形態に係るＷＳＳは、入出力ファイバアレイと、合分波用回折格子と、ＭＥＭＳミラーアレイとを備え、さらに当該ＭＥＭＳミラーアレイの前段に折り返しミラーを備え、前記ＷＳＳを構成する光学素子の何れかにおいて、誘電体多層膜などから成るバンドストップフィルタを集積することを特徴とする。本願発明の更に別の実施形態に係るＷＳＳは、ＭＥＭＳミラーアレイの前段且つ信号光の光路の途中にバンドパスフィルタを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ノイズを含まず分光精度が高い光学フィルターデバイスを提供する。
【解決手段】光の反射特性および透過特性を有する一対の第１反射膜２５が設けられ、第１反射膜２５間のギャップ寸法を変位させることができる第１波長可変干渉フィルター２０と、光の反射特性および透過特性を有する一対の第２反射膜３５が設けられ、第２反射膜３５間のギャップ寸法を変位させることができる第２波長可変干渉フィルター３０と、を備え、第１波長可変干渉フィルター２０と同じ光軸上に、第２波長可変干渉フィルター３０が配置され、第１反射膜２５は誘電体多層膜、第２反射膜３５は金属膜で形成されている。 （もっと読む）

【課題】基板の撓みを抑制可能な波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、及び波長可変干渉フィルターの製造方法を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定反射膜５４を有する固定基板５１と、可動反射膜５５を有する可動基板５２と、固定基板５１及び可動基板５２を接合する接合部５３と、を具備し、可動基板５２は、可動部５２１と、保持部５２２と、基板外周部５２５と、を備え、保持部５２２は、均一厚み寸法の平坦部５２２Ａと、平坦部５２２Ａの外周側に設けられ、基板外周部５２５に向かうに従って厚み寸法が増大する曲面部５２２Ｂと、を備え、接合部５３は、固定基板５１及び可動基板５２の互いに対向する面のうち、各基板外周縁に沿った外周領域に設けられ、かつ、接合部５３の内周縁５３Ａが、曲面部５２２Ｂの外周縁５２２Ｅよりも内側に設けられた。 （もっと読む）

【課題】反射膜の帯電を防止可能な波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定基板５１と、可動基板５２と、固定基板５１に設けられた固定反射膜５４と、可動基板５２に設けられ、固定反射膜５４と反射膜間ギャップＧ１を介して対向する可動反射膜５５と、反射膜間ギャップＧ１を変化させる静電アクチュエーター５６と、可動基板５２にに設けられ、接地された可動電極５６２と、を備え、可動電極５６２は、平面視において、光干渉領域Ａｒ１を覆って可動基板５２に設けられ、可動反射膜５５は、可動電極５６２を介して可動基板５２に設けられ、固定反射膜５４は、可動電極５６２に電気的に接続された。 （もっと読む）

【課題】絞り機能を有し、しかも生産性にも優れる光学フィルタ、また、そのような光学フィルタを用いた高信頼性の撮像装置を提供する。
【解決手段】光学フィルタ１００は、被写体または光源からの光が入射する撮像素子が内蔵された撮像装置に用いられる光学フィルタである。光学フィルタ１００は、被写体または光源と撮像素子との間に配置された、入射光に対し透過性を有するフィルタ本体１０と、この光学フィルタ本体１０の少なくとも一方の面に光硬化性樹脂により一体に形成された、撮像素子に入射する光の一部を遮断する遮光層２０とを有する。光学フィルタ本体１０には、光硬化性樹脂を硬化させる光を反射する機能層１２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】近赤外線から遠赤外線までの広帯域における赤外線遮断機能を有する低コストの赤外線光学フィルタを提供する。
【解決手段】８００ｎｍ〜２００００ｎｍの波長域の赤外線を制御する赤外線光学フィルタであって、半導体基板１と、当該半導体基板１の一表面側に形成された広帯域遮断フィルタ部２と、当該半導体基板２の他表面側に形成された狭帯域透過フィルタ部３とを備えている。広帯域遮断フィルタ部２は、屈折率が異なる複数種類の薄膜２ａ，２ｂが積層された多層膜からなり、当該複数種類の薄膜２ａ，２ｂのうち１種類の薄膜２ａが遠赤外線を吸収する遠赤外線吸収材料（Ａｌ_２Ｏ_３、Ｔａ_２Ｏ_５、ＳｉＯ_２の群から選択される酸化物もしくはＳｉ_３Ｎ_４からなる窒化物）により形成され、残りの１種類の薄膜２ｂが上記遠赤外線吸収材料よりも屈折率の高い高屈折率材料であるＳｉにより形成されている。半導体基板１は、Ｓｉ基板である。 （もっと読む）

【課題】シリコン半導体の製造などに用いられる熱処理装置などに好適に使用できる新規な熱線反射部材を提供する。
【解決手段】熱線反射部材１は、基材１０と、熱線反射層２０を備える。熱線反射層２０は、基材１０の上に配されている。熱線反射層２０は、シリコン層２２と酸化シリコン層２１とが交互に積層されてなる。酸化シリコン層２１は、第１の領域２１ａと、第２の領域２１ｂとを含む。第２の領域２１ｂは、第１の領域２１ａとシリコン層２２との間に位置する。第２の領域２１ｂの屈折率ｎ２は、第１の領域２１ａの屈折率ｎ１よりも高い。 （もっと読む）

【課題】コストがかかり過ぎず、かつ、入射角依存性および耐熱性に優れた近赤外線カットフィルタを提供する。
【解決手段】ガラス基板上に、有機高分子層と、誘電体多層膜からなる近赤外線反射膜とを有する近赤外線カットフィルタ。 （もっと読む）

【課題】経時しても着色せず、安定した柔軟性があり、近赤外反射性に優れ、可視光透過率が高い近赤外反射フィルム及びその近赤外反射フィルムを設けた近赤外反射体を提供する。
【解決手段】基材上に、高屈折率層と低屈折率層とから構成されるユニットを少なくとも１つ有する近赤外反射フィルムにおいて、該高屈折率層に金属酸化物粒子を含有し、該高屈折率層と低屈折率層の少なくとも１層に温度応答性ポリマーを含有することを特徴とする近赤外反射フィルム。 （もっと読む）

【課題】微小な傾斜構造体を製造する。
【解決手段】基板の上方に犠牲膜を形成する工程（ａ）と、第１の膜であって、基板に接続された第１の部分と、犠牲膜の上方に位置する第２の部分と、第１の部分及び第２の部分の間に位置する第３の部分と、を含み、且つ、第３の部分の一部、又は、第２の部分と第３の部分との境界部分に、第１の部分より膜厚が薄い領域を有する第１の膜を形成する工程（ｂ）と、犠牲膜を除去する工程（ｃ）と、工程（ｃ）の後に、膜厚が薄い領域において第１の膜を曲げて、第１の膜の第２の部分を基板に対して傾斜させる工程（ｄ）と、を含む。 （もっと読む）

【課題】斜めに入射する光が隣接する画素領域に混入することを抑制することができ、且つ、感度の低下を抑制することができる固体撮像装置及びその製造方法を提供することである。
【解決手段】実施形態に係る固体撮像装置は、主面に複数の光電変換部が設けられた基板と、前記複数の光電変換部毎に設けられ、屈折率の異なる複数の層が積層され、所定の波長領域の光を選択的に透過させる干渉フィルタと、を備えている。そして、隣接する前記干渉フィルタ同士の間には、空隙が設けられている。 （もっと読む）

【課題】黒色乃至ダーク調の着色を透明基材（基板）の裏面に容易に形成することができる蒸着光学多層膜を備えた着色製品及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】透明基材２１の裏面に蒸着光学多層膜を備えて着色された着色製品。蒸着光学多層膜が、誘電体材料で形成された反射率減衰膜２７と、該反射率減衰膜２７を挟んで内側および外側に、同種の又は異種の金属材料で形成された光吸収膜２５および隠蔽膜２９を備えている。隠蔽膜２９の外面側には、通常、保護膜３１を備えている。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧の増大を招くことなく、優れた光学特性を有する波長可変フィルタを提供すること。
【解決手段】第２の基板３は、その厚さ方向での位置が異なる２つの面を可動部２１側に有し、２つの面のうち、一方に駆動電極３３が設けられ、他方に検出電極４０が設けられており、検出電極４０と可動部２１との間の静電容量に基づいて、駆動電極３３と可動部２１の間に電位差を生じさせることにより、これらの間に静電引力を生じさせて、可動部２１を変位させるとともに、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間で光反射を繰り返し、干渉を生じさせて、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間の距離に応じた波長の光を外部に出射し得るよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】より所望のＦＳＲに近いＦＳＲを得ることが可能なエタロンフィルタを提供する。
【解決手段】エタロンフィルタ１は、基板３と、基板３の入出射面に配置された第１反射膜５Ａ及び第２反射膜５Ｂとを有する。基板の厚みｄは、一般に知られている理論式ＦＳＲ＝ｃ／２ｎｄに基づいて得られる厚みｄ_１よりも小さい。なお、ｃは光速、ｎは前記基板の屈折率である。 （もっと読む）

【課題】 薄くて、耐熱性および分光特性に優れた近赤外線カットフィルターを提供する。
【解決手段】 ポリイミド樹脂フィルムと誘電体多層膜からなる近赤外線反射膜を有し、かつ、前記ポリイミド樹脂フィルムの厚みが、８０μｍ以下である、近赤外線カットフィルター。 （もっと読む）