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Fターム[2H048GA43]の内容

光学フィルタ (54,542) | 干渉フィルタ (5,046) | 構造 (1,594) | 多層膜の構造 (737) | 多層膜の屈折率が3種類以上あるもの (61)

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【課題】長波長域においても分解能を向上できる干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】固定ミラー54と、固定ミラー54とギャップGを介して対向配置される可動ミラー55とを備える。固定ミラー54は、1層のTiO膜57と、1層のAg合金膜58とが積層されて形成される。また、可動ミラー55は、1層のTiO膜57と、1層のAg合金膜58とが積層されて形成される。 (もっと読む)


【課題】性能低下が抑制される干渉フィルターを提供すること。
【解決手段】干渉フィルター5は、ギャップGを介して対向する2つの反射膜56,57と、反射膜56,57を支持する基板51,52と、を備え、反射膜56,57は、純銀膜561,571と銀合金膜562,572とを含み、基板51,52には、基板51,52側から順に純銀膜561,571、及び銀合金膜562,572が設けられ、銀合金膜562,572は、銀(Ag)、サマリウム(Sm)、及び銅(Cu)を含有するAg−Sm−Cu合金膜、又は銀(Ag)、ビスマス(Bi)、及びネオジム(Nd)を含有するAg−Bi−Nd合金膜であることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】高分解能で、かつ低コストで製造可能な干渉フィルターを提供する。
【解決手段】エタロン5は、下部基板51と、下部基板51に対向する上部基板52と、下部基板51に設けられる下部反射膜56と、上部基板52に設けられるとともに、下部反射膜56に対してギャップを介して対向する上部反射膜57と、を備え、下部基板51の上部基板52に対向する面のうち、少なくとも下部反射膜56が設けられる下部反射膜形成面511Aには、上部基板52に対向する表面が平滑面となる平滑膜512が設けられ、下部反射膜56は、平滑膜512の表面に設けられる。 (もっと読む)


【課題】膜われ,膜剥がれが無く、波面収差が小さく、しかも環境による特性変化や光損失の小さい多層膜を有する光学素子とその製造方法を提供する。
【解決手段】多層膜MCは、屈折率が1.6以上の材料から成る第1高屈折率層H1と、成膜方法が真空蒸着(イオンアシストなし)であり、酸化チタンと酸化ランタンとの混合物、酸化チタンと酸化ジルコニウムとの混合物、酸化チタンと酸化ディスプロシウムとの混合物、又は酸化アルミニウムと酸化ランタンとの混合物から成る第2高屈折率層H2と、成膜方法が真空蒸着(イオンアシストあり)であり、SiO2から成る第1低屈折率層L1と、成膜方法が真空蒸着(イオンアシストなし)であり、MgF2から成る第2低屈折率層L2と、をL1とH1の積層構造、L2とH2の積層構造としてそれぞれ複数有し、
L1,L2の合計膜厚についての特定の条件を満足する。 (もっと読む)


【課題】 光フィルターの製造時又実使用時にはオゾンまたは紫外線から一対の反射膜を保護して、光フィルター特性を劣化させることがない光フィルター及びその製造方法並びに分析機器及び光機器を提供すること。
【解決手段】 光フィルター10は、対向する第1,第2基板20,30と、第1,第2基板に設けられた第1,第2反射膜40,50と、第1,第2基板に設けられた第1,第2接合膜100,110と、第1,第2反射膜の表面に形成された第1,第2バリア膜120,130とを有する。第1バリア膜はオゾンまたは紫外線の透過率が第1反射膜よりも低く、第2バリア膜はオゾンまたは紫外線の透過率が第2反射膜よりも低い。 (もっと読む)


【課題】 光フィルターの製造時にはオゾンまたは紫外線から反射膜を保護して、反射膜が劣化することを抑制することができる光フィルターの製造方法並びに分析機器及び光機器を提供すること。
【解決手段】 光フィルター10の製造方法は、第1反射膜40が形成された第1基板20を準備し、第2反射膜50が形成された第2基板30を準備し、第1基板の第1接合領域に第1接合膜100を形成し、第2基板の第2接合領域に第2接合膜110を形成し、第1マスク部材を用いて第1接合膜に、オゾンまたは紫外線を照射し、第2マスク部材を用いて第2接合膜にオゾンまたは紫外線を照射し、第1接合膜と第2接合膜とを接合して第1基板と第2基板とを貼り合わせることを含む。 (もっと読む)


【課題】特定波長帯の光を選択的に指向反射するのに対して、特定波長帯域以外の光を透過することができる光学体を提供する。
【解決手段】光学体は、凹凸面を有する第1の光学層と、第1の光学層の凹凸面上に形成された波長選択反射層と、波長選択反射層が形成された凹凸面上に、該凹凸面を埋めるように形成された第2の光学層とを備える。波長選択反射層は、金属層と、金属層上に形成された、金属酸化物を主成分とする保護層と、保護層上に形成された、酸化亜鉛以外の金属酸化物を主成分とする高屈折率層とを備える。 (もっと読む)


本発明は、光学系、特にマイクロリソグラフィ投影露光装置の光学系の偏光特性を特性決定する構成体及び方法であって、光学系に入射する放射線の所定の偏光状態を設定する少なくとも1つの偏光状態発生器(130、230、330)と、光学系から出る放射線の出射偏光状態を測定するよう構成された偏光状態検出器(140、240、340)とを備え、光学系は、15nm未満の使用波長用に設計され、偏光状態発生器及び/又は偏光状態検出器は、入射光ビームに対するそれらの偏光光学作用が少なくとも10°の光ビームの角度スペクトルにわたって実質的に一定であるよう設計される構成体及び方法に関する。 (もっと読む)


【課題】波長板を構成する圧電基板に開口フィルタを成膜しても反りが生じないようにすることを目的とする。
【解決手段】波長板を形成する第1の水晶基板3の一方の表面上には、位相調整膜6と波長選択膜7とからなる開口フィルタ5が成膜されている。また、第1の水晶基板3の他方の面には、第1の水晶基板3の一方の面に成膜された開口フィルタ5により生ずる圧縮応力を打ち消すために所定の材質の矯正用光学薄膜8を成膜するようにした。 (もっと読む)


反射性フィルムは、強め合う又は弱め合う干渉によって光を選択的に反射する内側層を含み、層はフィルムの第1ゾーンから第2ゾーンまで延びる。第1ゾーンにおいて、層は実質的に反射性偏光子として動作し、第2ゾーンにおいてこれらは実質的にミラーとして動作する。層はしたがって、第1ゾーンにおいて、1つの偏光状態の垂直入射光が実質的に反射され、垂直な偏光状態の垂直入射光が実質的に透過する第1反射特性、及び第2ゾーンにおいて、任意の偏光状態の垂直入射光が実質的に反射される第2反射特性を提供する。フィルムは、第2ゾーンにおける第2厚さと実質的に同じである第1ゾーンにおける第1厚さを有し得る。あるいは、第2厚さは、第1厚さよりも実質的に薄い場合がある。関連する方法、物品及びシステムもまた開示される。
(もっと読む)


【課題】従来とは異なる方法により耐紫外線性が高くかつ高反射率の可視光ミラーを実現する。
【解決手段】可視光ミラー10を基板11とミラースタック層部12と紫外線吸収層部13とから構成する。ミラースタック層部12は、上記基板11上に形成され、紫外線の照射により可視光吸収の増大が誘起される誘電体材料の層を含んだ多層膜ミラーである。紫外線吸収層部13は、上記ミラースタック層部12上に被覆形成され、紫外線を吸収する誘電体材料の層を少なくとも1層含み、紫外線領域の所定の波長帯域における透過率が50%以下である。 (もっと読む)


【課題】積層する膜の総数を少なく、各膜の厚みを薄くし、傾斜した波長分離膜に光の入射で生じるP、S偏光成分の光学特性の分離幅を小さく、かつ光入射角のずれによる透過帯域及び阻止帯域のシフト幅を小さく、阻止帯域を従来よりも広くし、Siのトータル膜厚を薄くし、Siによる急峻な透過損失を低減させることができる波長分離膜及びそれを用いた光通信用フィルタを得る。
【解決手段】高屈折率材料の第1の薄膜と、低屈折率材料の第2の薄膜と、中間の屈折率材料の第3の薄膜とを複数層積層した構造を有する波長分離膜で、高屈折率材料がシリコンで、低屈折率材料が、酸化珪素、フッ化マグネシウム、及び酸化アルミニウムから選ばれる少なくとも1種で、中間の屈折率材料が、酸化チタン、酸化タンタル、酸化ニオブ、酸化ジルコニウム、酸化ハフニウム、及び酸化アルミニウムから選ばれる少なくとも1種である。 (もっと読む)


【課題】最終層である光学多層膜フィルタの表面にITO等の透明電極材料を用いずに光学ローパスフィルタからの静電気を除去する。
【解決手段】水晶基板20に透明薄膜である高い屈折率の二酸化チタン32を1層目に蒸着し、2層目に低い屈折率の二酸化ケイ素33を蒸着し、交互に積層して複層にし、最終層のn層に低い屈折率のフッ化マグネシウム31を積層し、(n−1)層には低い屈折率の二酸化ケイ素33を積層する。n層と(n−1)層は光学多層膜フィルタ30のなかで唯一、低い屈折率の物質同士を重ね、2種類の物質で所定の薄厚を形成する。 (もっと読む)


【課題】アシスト法を用いて成膜される高屈折率層のプラズマによる低屈折率層へのエッチングを阻止して、光学特性の劣化を防止した光学薄膜の形成方法、およびその光学薄膜を備えた光学素子を提供する。
【解決手段】光学基材上に、MgF2より成る低屈折率層とNb25より成る高屈折率層との間に、真空蒸着法を用いて形成された酸化物質のAl23層を有するNb25/MgF2/Al23構造の誘電体多層膜は、Al23層がイオンアシスト法を用いて成膜されるNb25層のプラズマによるMgF2層へのエッチングを阻止するバリヤ層として機能する。そして、この誘電体多層膜が形成された光学素子は、例えば、光ピックアップの波長405nmの青色半導体レーザに対応した偏光ビームスプリッタとして用いられる。 (もっと読む)


【課題】非偏光の光が入射しても光の利用効率を向上させることが可能なプロジェクタを提供すること。
【解決手段】光源11と、光源11から射出された光のうち一方向に振動する偏光光を透過させ、他方向に振動する偏光光を反射させる偏光分離素子40R,40G,40Bと、偏光分離素子40R,40G,40Bにより分離された一方向に振動する偏光光を変調する第1光変調素子51R,51G,51Bと、偏光分離素子40R,40G,40Bにより分離された他方向に振動する偏光光を変調する第2光変調素子52R,52G,52Bと、所定の波長の光を反射あるいは透過させる第1波長選択膜66及び第2波長選択膜67を有し、第1光変調素子51R,51G,51B及び第2光変調素子52R,52G,52Bにおいて変調された一方向に振動する偏光光と他方向に振動する偏光光とを合成する非偏光色合成手段60と、投射手段70とを備えることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】ディスプレイ装置用色補償フィルム、これを含むディスプレイ装置用フィルタ、およびディスプレイ装置を提供する。
【解決手段】本発明は、厚さが780nm以下であって第1屈折率を有する薄膜層と、薄膜層の一面に形成され、薄膜層よりも大きい厚さを有して第2屈折率でなされた第1厚膜層と、薄膜層の他面に形成され、薄膜層よりも大きい厚さを有して第3屈折率を有する第2厚膜層とを含むディスプレイ装置用色補償フィルムを提供する。また、本発明は、ディスプレイ装置用色補償フィルムを含むディスプレイ装置用光学フィルタを提供する。 (もっと読む)


【課題】高屈折率膜と低屈折率膜との境界で剥離を起こさない光学多層膜基材を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の光学多層膜基材は、基材上に、高屈折率膜と低屈折率膜とを交互に積層した光学多層膜を形成した光学多層膜基材において、下層に位置する高屈折率膜とその上層に位置する低屈折率膜との間に、高屈折率材料と低屈折率材料とからなる混合膜を形成してなることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】非化学量論比を有するSiOX1Y1薄層光学フィルターを提供する。
【解決手段】本発明の光学フィルターは、基板および基板を覆う第1の非化学量論比を有するSiOX1Y1薄層フィルム(ここで、X1+Y1<2であり、Y1>0)から構成されている。上記薄層フィルムは、約1.46から3までの範囲における屈折率(n1)と、複素屈折率(N1=n1+ik1)とを有している。ここで、上記k1は、0から0.5までの範囲の減衰係数である。また、上記薄層フィルムは、1〜10nmの大きさのナノ粒子を有している。第2の非化学量論比を有するSiOX2Y2薄層フィルム(第2の薄層フィルム)は、上記薄層フィルムを覆うように形成されていてもよい。上記Y1≠Y2である。また、上記薄層フィルムおよび第2薄層フィルムは、ドープされていなくとも、されていてもよい。 (もっと読む)


【課題】ITOにはその特性上、450nm以下の短波長域に吸収があるため、透過色としては黄色くなってしまう問題があったので、透過色に黄色味の無い、ニュートラルな色味を有する透明導電性積層体を提供する。
【解決手段】透明な基板2の一方の面に基板の屈折率と比較して高屈折率材料3、低屈折率材料4をこの順番で積層し、最外層に透明導電膜5を形成した、透明導電性基板1において、その透過光をD65光源2°視野のL*a*b*表色系で表した時のb*が2以下である、透明導電性積層体。 (もっと読む)


【課題】一体式アクリレートポリマーフィルムを有する多色干渉フィルターを提供する。
【解決手段】第一の少なくとも一部白色光反射性の層、前記少なくとも一部白色光反射性の層上に、モノマーより形成された架橋した透明なアクリレート層、このアクリレート層は干渉カラーを形成するに十分な厚さを有する、及びアクリレート層の第一の少なくとも一部白色光反射性の層とは反対の面上の第二の少なくとも一部白色光反射性の層を含む干渉カラーフィルター。 (もっと読む)


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