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Fターム[2H048GA48]の内容

光学フィルタ (54,542) | 干渉フィルタ (5,046) | 構造 (1,594) | 平行透明基板の両面に多層膜反射面を持つもの (127)

Fターム[2H048GA48]に分類される特許

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【課題】広い波長帯域の光から特定の波長を抽出可能な波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター5は、第一反射膜551及び第三反射膜553を有する第一基板51と、第一反射膜551に第一ギャップG1を介して対向する第二反射膜552を有する第二基板52と、第三反射膜553に第二ギャップG2を介して対向する第四反射膜554を有する第三基板53と、第一ギャップG1を変更する静電アクチュエーター56とを備え、平面視において各反射膜が重なる光干渉領域Ar0を有し、第一及び第二反射膜551,552により構成される波長可変干渉部57の複数の測定対象波長域のうちいずれか1つは、第三及び第四反射膜553,554により構成される波長固定干渉部58の複数の透過可能波長域のうちのいずれか1つと重なる。 (もっと読む)


【課題】 被照射面上の位置毎に瞳強度分布を調整して、所望の照明条件を実現することのできる照明光学系。
【解決手段】 光源からの光により被照射面を照明する照明光学系は、光源と被照射面との間の光路中に配置されたオプティカルインテグレータと、オプティカルインテグレータと被照射面との間の光路中に配置されて、照明光学系の照明瞳における瞳強度分布と被照射面における照度分布との少なくとも一方の分布を調整する調整ユニットとを備えている。調整ユニットは、照明光学系の光軸方向に近接して配置された一対の光学面を有し、入射した光を一対の光学面の間で多重干渉させて射出する。 (もっと読む)


【課題】 波長温度特性を向上させ、また消光比の変化量が従来よりも少なくする。
【解決手段】 ガラス又は水晶からなる第一の透明部材及び第二の透明部材と、第一の透明部材と第二の透明部材との間に設けられる中空部材とを備え、第一の透明部材が中空部材と対向する面及びこの面と平行となる反対側の面に反射膜を備えつつ反射膜に第一接合膜を備え、第二の透明部材が中空部材と対向する面及びこの面と平行となる反対側の面に反射膜を備えつつ中空部材を向く側の反射膜に第二接合膜を備え、中空部材が第一の透明部材と対向する面及び第二の透明部材と対向する面に第三接合膜を備え、第一接合膜と第三接合膜とが接合され、第二接合膜と第三接合膜とが接合され、前記中空部材の中空の内部が気密状態となり、第一の透明部材及び第二の透明部材の厚みをt、中空部材の開口幅をaとしたとき、t/a≧0.3で構成されることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】迅速な分光測定が可能な分光測定装置を提供する。
【解決手段】分光測定装置1は、固定反射膜を有する固定基板、可動反射膜を有する可動基板、固定反射膜及び可動反射膜の間の反射膜間ギャップのギャップ量を変更する静電アクチュエーターを備えた波長可変干渉フィルター5と、波長可変干渉フィルター5により取り出された光の光強度を検出する検出部11と、静電アクチュエーターに対して連続的に変化するアナログ電圧を印加する電圧設定部21及び電圧制御部15と、静電アクチュエーターに印加された電圧を監視する電圧監視部22と、電圧監視部22により監視される電圧が所定の測定対象電圧になった際に検出部11により検出された光強度を取得する光強度取得部24と、を備えた。 (もっと読む)


【課題】より所望のFSRに近いFSRを得ることが可能なエタロンフィルタを提供する。
【解決手段】エタロンフィルタ1は、基板3と、基板3の入出射面に配置された第1反射膜5A及び第2反射膜5Bとを有する。基板の厚みdは、一般に知られている理論式FSR=c/2ndに基づいて得られる厚みdよりも小さい。なお、cは光速、nは前記基板の屈折率である。 (もっと読む)


【課題】FSRの調整を好適に行うことができるエタロンフィルタの製造方法を提供する。
【解決手段】エタロンフィルタ1の製造方法は、基板3の設計上の厚みdを決定するステップST1と、第2反射膜5Bを構成する、設計上の複数の薄膜7の組み合わせについてΔFSRが互いに異なる複数の候補を用意するステップST2と、基板3を形成するステップST3と、基板3の実際の厚みdを測定するステップST4と、第1反射膜5Aを形成するステップST5と、厚みdと厚みdとの比較に基づいて複数の候補から一の候補を選択するステップST6〜ST8と、選択された候補の複数の薄膜7の組み合わせで前記第2反射膜を形成するステップST9とを有する。なお、ΔFSRは、第1反射膜5A及び第2反射膜5Bが設けられていない場合に比較したFSRの変化量である。 (もっと読む)


【課題】チャンネルの阻止帯域を縮減することが可能な光フィルターを提供する。
【解決手段】光フィルター1は、ガラス基板10およびろ過膜20を備える。ろ過膜20は、ガラス基板10に配置され、高屈折率フィルムと低屈折率フィルムとが交互に積層して構成した複数のファブリペロー共振器22を有する。高屈折率フィルムおよび低屈折率フィルムは、基本の光学的厚さが入射光の中心波長の四分の一(即ちλ0/4)である。ファブリペロー共振器22は、順によってガラス基板10に重なり、二層の高反射フィルム221と、二層の高反射フィルム221の間に位置する一層の隔離層222とを有する。これにより、光フィルター1は、チャンネルの阻止帯域を縮減することができる。 (もっと読む)


【課題】光フィルター装置におけるスペクトル測定の測定時間を短縮させ、測定精度を向上させること。
【解決手段】可変エタロン4と、可変エタロン駆動回路13と、受光素子5と、受光素子5に接続されたI−V変換回路6と、I−V変換回路6に接続されゲイン切り替え機能を有する増幅回路7と、増幅回路7に接続されたADコンバーター8と、増幅回路7およびADコンバーター8に接続されたマイコン11と、マイコン11に接続され増幅回路7のゲインのデータであるゲインテーブル14を有する電圧設定メモリー10と、を備え、受光素子5で検出された電流に基づき受光電圧の事前測定を行い、電圧設定メモリー10に記憶させた事前測定で得られた受光電圧に対する増幅回路7のゲインのゲインテーブル14を参照し、事前測定で得られた受光電圧をADコンバーター8のダイナミックレンジに合うように増幅回路7のゲインを調整する。 (もっと読む)


【課題】誘電体多層膜フィルタを用いた波長多重光信号の分波で、波長間隔が狭くても受信に十分な実装精度を確保することが可能な光分波が可能な光受信装置と光受信方法を提供する。
【解決手段】波長多重により伝送された波長の異なる複数の信号光(λ1〜λ4)を、それぞれの波長の信号光に分波して受信するものであって、波長多重された複数の信号光を、透過信号光(λ1,λ3)と反射信号光(λ2,λ4)に分波するエタロン13と、透過信号光と反射信号光のそれぞれを、波長の異なる複数の信号光に分波する誘電体多層膜フィルタ15a,15bと、分波された波長の異なる複数の信号光をそれぞれ受光する受光素子(18a〜18d)と、受光素子で受光した信号を増幅する増幅器(19a〜19d)を備えている。 (もっと読む)


【課題】対向する光学膜の貼り付きを防止する。
【解決手段】第1基板20と、第1基板20に対向する第2基板30と、第1基板20に設けられた第1光学膜40と、第2基板30に設けられ、第1光学膜40と対向する第2光学膜50と、を含み、第1光学膜40は、所望波長帯域の光に対する反射特性および透過特性を有し、第1光学膜40の最表面の誘電体膜43は第1光学膜40の周端部43aにおいて、第1光学膜40に光が入射する光入射部43bよりも厚みが厚く形成されている。 (もっと読む)


【課題】光通信、光集積回路基板に利用可能な光路長の温度依存性が小さい材料を提供する。
【解決手段】SrTiOにSrZrOを添加したSr(Ti1−X,Zr)O複合酸化物材料は、光路長温度係数(OPD、ここでOPD=1/S・dS/dT=CTE + 1/n・dn/dTであって、Sが光路長、CTEが線熱膨張係数、nが屈折率、dn/dTが屈折率の温度係数である)が制御可能であり、特に0.20<X<0.69の範囲においてはその絶対値が6ppm/℃以下と光路長の温度依存性が極めて小さく、光通信用フィルター、光集積回路基板などに利用可能である。 (もっと読む)


【課題】光通信、光集積回路基板に利用可能な光路長の温度依存性が小さい材料を提供する。
【解決手段】SrTiOにYAlOを添加した(Sr1−X,Y)(Ti1−X,Al)O複合酸化物材料は、0<X<0.50の範囲において光路長温度係数(OPD、ここでOPD=1/S・dS/dT=CTE + 1/n・dn/dTであって、Sが光路長、CTEが線熱膨張係数、nが屈折率、dn/dTが屈折率の温度係数である)が制御可能であり、特に0.04<X<0.50の範囲においてはその絶対値が6ppm/℃以下と光路長の温度依存性が極めて小さく、光通信用フィルター、光集積回路基板などに利用可能である。 (もっと読む)


【課題】簡単な構成で分解能の低下を抑制可能な波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター5は、平坦な固定対向面51Aを有する固定基板51と、固定対向面51Aに対向する平坦な可動対向面52Aを有する可動基板52と、固定対向面51Aに設けられた固定電極561と、可動対向面52Aに設けられ、電極間ギャップG2介して固定電極561に対向する可動電極562と、可動対向面52Aに設けられ、固定対向面51A及び可動対向面52Aと平行で、かつ固定対向面51Aに対向する平坦な反射膜固定面57Aを有し、固定電極561より厚み寸法が大きい中間層57と、反射膜固定面57Aに設けられた可動反射膜55と、固定対向面51Aに設けられ、反射膜間ギャップG1を介して可動反射膜55に対向する固定反射膜54と、を具備した。 (もっと読む)


【課題】周波数安定度の高い原子発振器を得ることが可能な原子発振器用の光学モジュールを提供する。
【解決手段】光学モジュール2は、量子干渉効果を利用する原子発振器用の光学モジュール2であって、所定の波長を有する基本波F、当該基本波の側帯波W1,W2、を含む光L1を出射する光源10と、光源10からの光が入射し、当該入射した光のうち側帯波W1,W2を透過させる波長選択部20と、アルカリ金属ガスを封入し、波長選択部20を透過した光L2が照射されるガスセル30と、ガスセル30に照射された光のうちガスセル30を透過した光の強度を検出する光検出部40と、を含み、波長選択部20は、所定の波長範囲の光を透過させる光フィルター部20aと、光フィルター部20aが透過させる光の波長範囲を変化させる光フィルター特性制御部20bと、を有する。 (もっと読む)


【課題】温度変化が大きい環境で使用する場合においても分光精度の高い干渉フィルターを備える光モジュールを提供すること。
【解決手段】本発明の光モジュール(測色センサー)は、干渉フィルター5、並びに干渉フィルター5の第一基板が固定され、第一熱膨張係数とは異なる値である第二熱膨張係数を有する透明基板7、を備え、干渉フィルター5は、ゲル状樹脂からなる接着層6を介して透明基板7に固定され、接着層6は、干渉フィルター5と透明基板7との間の熱膨張係数の差により生ずる応力を緩和する。 (もっと読む)


【課題】外部から干渉フィルターへ伝達される振動を低減することができ、光学ギャップを精度良く保持することができる光モジュールを提供すること。
【解決手段】本発明の光モジュール(測色センサー)は、可動反射膜57を備える可動基板52、および可動反射膜57にギャップを介して対向する固定反射膜56を備える固定基板51を備え、可動基板52と固定基板51とが接合された状態にある干渉フィルター5と、干渉フィルター5を保持する筐体6と、を備える。可動基板52は、固定基板51の外周縁よりも外側に突出する、2つの突出部524を備える。この突出部524は、突出方向の先端側に設けられ、筐体6に固定される固定部525と、固定部525よりも突出方向の基端側に設けられ、固定部525よりも厚み寸法が小さい振動防止部526と、を備える。振動防止部526には緩衝材7が設けられている。 (もっと読む)


【課題】基板に生じる撓みを低減して分解能を向上させた波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】エタロン5(波長可変干渉フィルター)は、固定基板51と、固定基板51に対向する可動基板52と、固定基板51に設けられた固定反射膜56と、可動基板52に設けられ、固定反射膜56とギャップを介して対向する可動反射膜57と、固定基板51に設けられた固定電極541と、可動基板52に設けられ、固定電極541と対向する可動電極542と、を備え、可動電極542の固定電極541側の面には可動絶縁膜544が積層され、可動電極542は圧縮応力を有し、可動絶縁膜544は引張応力を有して構成された。 (もっと読む)


【課題】簡素な構成で電極間の導通を可能にする波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】エタロン5は、固定基板51と、固定基板51に対向する可動基板52とを備える。固定基板51は、接合膜531,532を介して可動基板52に接合される第1接合面515と、第1電極561の一部が形成される第1電極面516とを備える。可動基板52は、接合膜531,532を介して第1接合面515に接合される第2接合面524と、第2電極562の一部が形成される第2電極面525とを備える。固定基板51及び可動基板52が接合膜531,532により接合された状態において、第1電極面516に形成された第1電極561と、第2電極面525に形成された第2電極562とが接触する (もっと読む)


【課題】容易に配線を接続可能な波長可変干渉フィルター、光モジュール、光分析装置、及び波長可変干渉フィルターの製造方法を提供すること。
【解決手段】波長可変干渉フィルター5では、第1基板51の第2基板52との対向面に第1電極53、第1電極53から延出する第1電極引出部531L,532L、および少なくとも一部が第2電極引出部542Lと対向する第3電極引出部543Lを設け、第2基板52の第1基板51との対向面に第2電極54および第2電極54から延出する第2電極引出部542Lを設け、第2電極引出部542Lおよび第3電極引出部543Lが設けられた引出部形成溝515と、引出部形成溝515と外部とを連通する貫通孔524と、貫通孔524に接続される引出部形成溝515に配置され第2電極引出部542Lと第3電極引出部543Lとを導通させる導電性部材とを備える。 (もっと読む)


【課題】電極間の絶縁を維持しつつ、低コストで、構造を簡素化できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】第1基板51に設けられた固定ミラー54と、第2基板52に設けられ、固定ミラー54と所定のギャップGを介して対向する可動ミラー55と、第1基板51に設けられた第1電極561と、第2基板52に設けられ、第1電極561に対向する第2電極562と、を備える。第1基板51は、第2基板52に接合される第1接合面513を有し、第2基板52は、第1接合面513に接合される第2接合面524を有する。第1基板51には、第1接合面513、及び第1電極561の第2電極562に対向する面に絶縁性を有する第1接合膜531が形成され、第1接合面513及び第2接合面524は、第1接合膜531により接合された。 (もっと読む)


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