【課題】受光部の長手方向の寸法を大きくした場合であっても、容易に受光部とスライドガラスの面を平行状態に保つことが可能であり、精度よく合焦できる顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】画素が列をなして配置されるラインセンサ１０４の長手方向（Ｙ軸方向）の直線と、試料１２０が配置されたスライドガラス１０３がなす面との傾きを傾き検出部２０２により検出し、この傾きを傾き調整部２０３により調整することにより、ラインセンサ１０４とスライドガラス１０３の面とが平行状態になるようにする。 （もっと読む）

【課題】ＴＩＳの平均値以外の重ね合わせ測定精度に関わる指標も考慮し、総合的に最適な焦点位置を決定できる重ね合わせずれ量算出方法を提供する。
【解決手段】重ね合わせずれ量の相関係数、基板面内のTISの３σ、繰り返し測定再現性を考慮し、（焦点位置決定値）＝−（相関係数）＋（基板面内TISバラツキ）＋（繰り返し測定再現性）と、上記焦点位置決定値を定義する。この焦点位置決定値を測定マークに対する光学顕微鏡の最適な焦点位置決定指標として用いる。この焦点位置決定値が最小となる焦点位置を最適な焦点位置と決定し、その最適焦点位置における基板面内のTISの平均値を個々の重ね合わせずれ量に対して補正を行う。 （もっと読む）