【課題】長時間観察可能で、且つ、浸液の蒸発による光学性能の劣化を抑制することができる液浸対物レンズの技術を提供することを課題とする。
【解決手段】液浸対物レンズ１０は、最も標本１側に形成されて光軸ＡＸと直交する先端平面４と光軸ＡＸと平行な側面５とを有す。液浸対物レンズ１０は、先端平面４と側面５の間の部分である先端部６に凹部７を有す。浸液３は、先端平面４から凹部７よりも光軸ＡＸから離れた位置に形成される斜面８にまで及ぶ。即ち、凹部７内も浸液３で満たされる。 （もっと読む）

【課題】多数の部分画像を組み合わせてなるマップ画像を短時間で生成する。
【解決手段】試料を収容した１以上の容器を搭載し該容器の位置を調節可能な電動ステージ５と、容器内の試料に照射するレーザ光を走査するスキャナ７と、走査されたレーザ光を試料に集光する対物レンズ８と、レーザ光の照射により試料において発生した蛍光を検出して試料の画像を取得する画像取得部９と、これらを収容する暗箱１０とを備える顕微鏡２と、電動ステージ５に対する容器の搭載位置を記憶する記憶部と、記憶された容器の搭載位置に基づいて、画像取得部９により取得する容器内の部分画像の取得位置を設定する画像取得位置設定部と、設定された取得位置に基づいて、容器毎に複数枚の部分画像を取得するように顕微鏡２を制御する制御部３と、容器毎に取得された複数枚の部分画像を配列しマップ画像を生成するマップ画像生成部とを備える顕微鏡システム１を提供する。 （もっと読む）

【課題】長い物体距離や大きな開口数という高い光学性能を達成するとともに、全長の短いコンデンサレンズ、及び、このコンデンサレンズを有する顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】顕微鏡装置１０に用いられ、標本からの観察光を集光するコンデンサレンズＣＬは、観察光が集光されて出射する側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３と、から構成され、所定の条件を満足することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】散乱を抑制するために長波長の光を用いた場合であっても、光の吸収を抑制することができる顕微鏡の技術を提供する。
【解決手段】非線形光学顕微鏡である２光子励起顕微鏡１００は、光源部２が１２００ｎｍ以上の波長を有し且つ数十から数百フェムト秒のパルス幅を有するパルス光を射出し、作動距離２ｍｍ以上の対物レンズ９が光源部２から射出されたパルス光を標本１２に照射する。２光子励起顕微鏡１００の標本１２と対物レンズ９の間には、光源部２から射出されるパルス光の波長に対して純水が有する内部透過率よりも高い内部透過率を有する浸液であるシリコーンオイル１１が満たされている。 （もっと読む）

【課題】人工授精における一連の操作のように、液浸を用いる観察と用いない通常の観察の両方に対応でき、しかも通常の観察を行う間は試料を直接加温でき、精度の高い温度管理が可能な顕微鏡観察用加温装置を提供する。
【解決手段】仮想線で示す穴開き加温プレート部５上のデッシュＤを、実線で示すように透明加温プレート部７の中央部へ移動させる。このとき、デッシュＤを穴開き加温プレート部５と透明加温プレート部７上においてＬ方向へスライドさせるようして移動する。穴開き加温プレート部５の上面と透明加温プレート部７の上面とが同一平面上に設けられ、段差部がないので、デッシュＤをスムーズにスライド可能であり、迅速にデッシュＤを透明加温プレート部７の中央部に備えることができる。デッシュＤを持ち上げる必要がないので、デッシュＤに加わる振動を最小限に抑えることが可能で、精子Ｈ、卵子Ｅに悪影響が及ぶのを防止できる。 （もっと読む）

【課題】４０５ｎｍから６５６ｎｍまでの波長域で収差補正された顕微鏡対物レンズを提供する。
【解決手段】液浸系顕微鏡対物レンズは物体側より正レンズ群Ｇａと正レンズ群Ｇｂとレンズ群Ｇｃとレンズ群Ｇｄとレンズ群Ｇｅから構成される。レンズ群Ｇａは物体側が平面の平凸レンズと物体側が凹面のメニスカスレンズの接合レンズと２つの正単レンズからなる。レンズ群Ｇｂは１つの３枚接合レンズからなる。レンズ群Ｇｃは１つ以上の接合レンズを含む。レンズ群Ｇｄは像側が強い凹面のメニスカス形状である。レンズ群Ｇｅは物体側が強い凹面の負レンズを含む。Ｈ１をレンズ群Ｇｂから射出するマージナル光線高、Ｈ２をレンズ群Ｇｄに入射するマージナル光線高、ｆを対物レンズの焦点距離、ｆ（Ｇｂ）をレンズ群Ｇｂの焦点距離とすると、次式を満足する。
０．５≦Ｈ２／Ｈ１≦０．７５
７．８≦ｆ（Ｇｂ）／ｆ≦ ２０ （もっと読む）

【課題】汚染に起因する性能の劣化を抑制できる露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置は、露光光の光路を第１液体で満たすように第１液体で液浸部を形成可能な第１部材と、第１部材から離れた位置で第２液体で液浸部を形成可能な第２部材と、所定部材と第２部材との間の第２液体に振動を与える振動発生装置とを備え、第２液体を用いて所定部材をクリーニングする。 （もっと読む）

【課題】顕微鏡対物レンズを提供する。
【解決手段】レンズ系を含む対物レンズ筐体（１２）であって、レンズ系が、レンズ系の光軸（Ｏ）に沿って移動可能であり、カバーガラスの厚さを補償するレンズユニット（６０）を含む、レンズ筐体（１２）を有し、レンズユニット（６０）を調節するための調節装置をさらに有し、前記調節装置が、駆動ユニット（１４、１０２、２０２）と、駆動ユニット（１４、２０、２０２）によって駆動可能であり、レンズユニット（６０）に連結された動力伝達装置（４２、４４、４６、５２、５４、５６、６２）を含む顕微鏡対物レンズ（１０、１００、２００）が開示される。本発明によれば、駆動ユニット（１４、１０２、２０２）はモータ（３４）を有し、対物レンズ筐体（１２）に取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】複数の蛍光タグを用いて観察する場合でも最適な蛍光観察装置を提供する。
【解決手段】光源と、該光源からの光線を選択的に反射する光線分離手段と、試料を照明または観察する対物レンズと、試料を固定するステージと、該光線分離手段を通過した光線のうち所望の波長領域を選択する波長選択手段と、該波長選択手段を通過する光を検出する検出器を備えた蛍光観察装置は、２つ以上の波長で試料の照明を行ったときに得られる散乱または蛍光による２つ以上の波長を検出し、該照明における励起波長のうちで最も長波長側のものをλ１、最も短波長側のものをλ２とし、Δ１、Δ２をλ１、λ２の軸上の集光位置としたときに、以下の条件式を満たす。
λ１−λ２≧180nm
｜Δ１−Δ２｜＜0.2μｍ （もっと読む）

【課題】光学素子に対する局所的な熱による環境影響を簡単に補償することを可能にする光学結像装置および光学結像法を提供する。
【解決手段】投影パターンを有するマスクを収容するためのマスク装置と、光学素子群を有する投影装置と、基板を収容するための基板装置と、液浸ゾーン１１０とを備える、特にマイクロリソグラフィで使用するための光学結像装置である。光学素子群が、基板に投影パターンを投影するように構成されており、作動中に少なくとも一時的に液浸ゾーン１１０に隣接して配置される液浸素子を有する複数の光学素子を備える。作動中に液浸ゾーン１１０が液浸素子と基盤との間に配置され少なくとも一時的に液浸媒体１１０．１が充填される。熱減衰装置１１１が設けられており、この熱減衰装置１１１は、液浸媒体１１０．１によって液浸素子の温度分布ＴＥに誘発される変動を減じるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 光学系の内部への液体（浸液）の侵入を防いで良好な結像性能を維持することのできる液浸型の投影光学系（液浸対物光学系）に用いられる光学素子。
【解決手段】 液浸対物光学系に用いられて、液体に接触可能な一方の光学面と、気体に接する他方の光学面とを有する光学素子。他方の光学面の外周から液体側に向かって突出した形状を有する突出部を有する。突出部は、光学素子を保持するための保持部材に接触可能な被保持部を備えている。 （もっと読む）

【課題】 共焦点顕微鏡又は多光子顕微鏡による光計測を用いた走査分子計数法に於いて、観測されるべき試料溶液毎に光学調整を行う必要のない構成を提供すること。
【解決手段】本発明の発光粒子からの光を検出し分析する技術は、顕微鏡の対物レンズのレンズ表面に試料溶液を載置し、顕微鏡の光学系の光路を変更することにより試料溶液内に於いて光学系の光検出領域の位置を移動させながら、試料溶液内の発光粒子からの光を検出し、これにより、光検出領域内を横切る発光粒子を個別に検出し、発光粒子のカウンティングや発光粒子の濃度又は数密度に関する情報の取得を可能にする。 （もっと読む）

【課題】
リソグラフィック装置及びデバイス製造方法を提供すること。
【解決手段】
投影システムの最終エレメントと基板Ｗの間に配置される液浸液と共に使用するためのリソグラフィック投影装置を開示する。投影システム、基板テーブル及び液体拘束システムのコンポーネントを保護するための複数の方法を開示する。これらの方法には、投影システムの最終エレメント２０に保護コーティングを施すステップと、コンポーネントの上流側に犠牲体を提供するステップが含まれている。また、ＣａＦ_２の２コンポーネント最終光学エレメントを開示する。 （もっと読む）

【課題】対物レンズ上から除去したイマージョン液の飛沫が標本容器の表面に付着することを防止する。
【解決手段】標本Ａを収容する標本容器６に対向して配置され、標本容器６内の標本Ａからの光を集光する対物レンズ８と、該対物レンズ８と標本容器６との間の空間に供給されたイマージョン液を、圧縮空気の噴射により除去するイマージョン液除去手段１６と、標本容器６と対物レンズ８との間に挿脱可能に設けられる遮蔽板部材１７と、イマージョン液除去手段１６により圧縮空気が噴射される際に、遮蔽板部材１７を標本容器６と対物レンズ８との間に挿入する駆動機構１８とを備える顕微鏡装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】ビームが通過する液浸液内に泡が形成されるリスクを低減する。
【解決手段】液浸リソグラフィ装置では、基板テーブル上のギャップのサイズ又は領域を低減することで液浸液内の泡の形成が低減又は防止される。ギャップのサイズは、例えば、ＢＥＳ（泡抽出システム）リングとして周知のリングであってもよい縁部材を用いて低減される。例えば、望ましくは基板の縁部を圧縮することなく縁部材を適当なサイズに低減してギャップを可能な限り低減するために、基板の形状及び／又は断面寸法（例えば、直径）に関する情報、又はギャップのサイズに関する情報が縁部材を制御するコントローラへ送信される。代替的に又は追加的に、基板及び／又は基板テーブルの表面の縁部に隣接する縁部材を移動させることでギャップを低減することができる。 （もっと読む）

【課題】液浸媒体の不足を検出する技術を提供することを課題とする。
【解決手段】合焦手段は標本Ｓを含む標本ユニットＳＵに液浸対物レンズ１０ｂを合焦する。エンコーダ２１及び座標検出部２５は合焦された液浸対物レンズ１０ｂの標本Ｓに対する光軸方向の相対的な座標である合焦座標を検出し、合焦座標記録部４１は検出された合焦座標を記録する。液浸媒体充填判定部４２は合焦座標記録部４１に記録された合焦座標に基づいて標本ユニットＳＵと液浸対物レンズ１０ｂの間が液浸媒体で満たされているか否かを判定する。これにより、顕微鏡システム１は液浸媒体の不足を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】浸液を対物レンズ上に安定して保持する技術を提供する。
【解決手段】液浸対物レンズである対物レンズ５は、先端部５ａと本体部５ｂを含む。先端部５ａの側面は、光軸ＡＸ方向の異なる位置に先端平面２とのなす角が異なる側面６と側面３とを有する。先端平面２と先端平面２に接する側面６とのなす角が先端平面２と側面３とのなす角に比べて小さくなるように、側面６は形成される。 （もっと読む）

【課題】解像度が改善された代替方法及び装置を提供する。
【解決手段】パターン化されたビームを基板に投影する投影システムと、前記投影システムの最終エレメントと前記基板との間に液体を供給するための液体供給システムと、を備えたリソグラフィ投影装置であって、前記液体供給システムは、前記投影システムの画像視野周りに形成されるリザーバに前記液体を閉じ込める疎水性表面を備える、リソグラフィ投影装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】過酸化水素を含む溶液で洗浄する際にチタンが溶出しにくい、液浸用液体と接触するチタン含有部材及びその製造方法を提供する。
【解決手段】液体を介して基板を露光する際に用いる、前記液体と接するチタン含有部材の製造方法であって、前記チタン含有部材を用意することと、前記チタン含有部材を酸素を含む雰囲気中で加熱して、前記チタン含有部材の表面に酸化チタン膜を形成することを含む。液体を介して基板を露光する際に用いる、前記液体と接するチタン含有部材であって、前記チタン含有部材の表面が人工的に酸化されて形成された酸化チタン膜を備える。 （もっと読む）

【課題】液浸対物レンズに必要最少量の液体を供給可能な顕微鏡装置を廉価に提供する。
【解決手段】
液浸対物レンズおよび標本を搭載するステージを備えた倒立型顕微鏡を用いた標本観察方法、倒立型顕微鏡システムに関する発明である。
液浸対物レンズに前回液体を供給した時からの経過時間、移動距離、観察点の変更の有無を監視し、その監視結果にもとづいて液浸対物レンズに液体を供給するタイミングを決定する。 （もっと読む）